ភាពបរិសុទ្ធនៃម្សៅ SiC នឹងប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់គុណភាព និងដំណើរការនៃគ្រីស្តាល់តែមួយ SiC ដែលដាំដុះដោយវិធីសាស្ត្រ PVT ហើយវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់រៀបចំម្សៅ SiC គឺម្សៅ Si ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងម្សៅ C ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយភាពបរិសុទ្ធនៃម្សៅ C នឹងប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ភាពបរិសុទ្ធនៃម្សៅ SiC។
វត្ថុធាតុដើមដែលប្រើក្នុងការផលិតម្សៅព្រីនធឺរជាធម្មតារួមមាន ក្រាហ្វីតបន្ទះ កូកាកូឡាប្រេង និងទឹកថ្នាំថ្មមីក្រូគ្រីស្តាលីន។ ភាពបរិសុទ្ធនៃក្រាហ្វីតកាន់តែខ្ពស់ តម្លៃប្រើប្រាស់កាន់តែខ្ពស់។ វិធីសាស្ត្របន្សុទ្ធក្រាហ្វីតអាចបែងចែកជាវិធីសាស្ត្ររូបវន្ត និងវិធីសាស្ត្រគីមី។ វិធីសាស្ត្របន្សុទ្ធរូបវន្តរួមមាន ការអណ្តែត និងការបន្សុទ្ធនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយវិធីសាស្ត្របន្សុទ្ធគីមីរួមមានវិធីសាស្ត្រអាស៊ីត-បាស វិធីសាស្ត្រអាស៊ីតអ៊ីដ្រូហ្វ្លុយអូរីក និងវិធីសាស្ត្រអាំងក្លរួ។ ក្នុងចំណោមនោះ វិធីសាស្ត្របន្សុទ្ធសីតុណ្ហភាពខ្ពស់អាចប្រើប្រាស់ចំណុចរលាយខ្ពស់ (3773K) និងចំណុចរំពុះនៃក្រាហ្វីតដើម្បីសម្រេចបាន 4N5 និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ជាងមុន ដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការហួត និងការបញ្ចេញភាពមិនបរិសុទ្ធដែលមានចំណុចរំពុះទាប ដើម្បីសម្រេចបាននូវគោលបំណងនៃការបន្សុទ្ធ [6]។ បច្ចេកវិទ្យាសំខាន់នៃម្សៅព្រីនធឺរភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់គឺការដកយកភាពមិនបរិសុទ្ធដែលនៅសេសសល់ចេញ។ រួមផ្សំជាមួយនឹងលក្ខណៈនៃការបន្សុទ្ធគីមី និងការបន្សុទ្ធនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដំណើរការបន្សុទ្ធកម្ដៅគីមីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់សមាសធាតុដែលមានផ្នែកតែមួយគត់ត្រូវបានអនុម័តដើម្បីសម្រេចបាននូវការបន្សុទ្ធសម្ភារៈម្សៅព្រីនធឺរភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយភាពបរិសុទ្ធនៃផលិតផលអាចលើសពី 6N។
ប្រសិទ្ធភាព និងលក្ខណៈពិសេសនៃផលិតផល៖
1, ភាពបរិសុទ្ធនៃផលិតផល≥៩៩,៩៩៩៩% (៦N);
2, ស្ថេរភាពម្សៅកាបូនភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់, កម្រិតខ្ពស់នៃក្រាហ្វីត, ភាពមិនបរិសុទ្ធតិចជាង;
៣, ភាពលម្អិត និងប្រភេទអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងតាមអ្នកប្រើប្រាស់។
ការប្រើប្រាស់សំខាន់ៗនៃផលិតផល៖
■ ការសំយោគម្សៅ SiC ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងសម្ភារៈកាបូនសំយោគដំណាក់កាលរឹងផ្សេងទៀត
■ ដាំពេជ្រ
■ សម្ភារៈថ្មីសម្រាប់ផលិតផលអេឡិចត្រូនិកដែលមានចរន្តកម្ដៅ
■ សម្ភារៈកាតូតថ្មលីចូមកម្រិតខ្ពស់
■ សមាសធាតុលោហៈដ៏មានតម្លៃក៏ជាវត្ថុធាតុដើមផងដែរ







