Barcă de cuarț de înaltă puritate pentru prelucrarea napolitanelor

Barcă cu napolitană din cuarțeste un instrument cheie de transport în fabricarea semiconductorilor, producția de celule fotovoltaice și cercetarea și dezvoltarea de materiale avansate, conceput pentru transferul și poziționarea stabilă a napolitanelor în procese la temperaturi ridicate. Acest produs este fabricat din silice topită (SiO2) de puritate ultra-înaltă, cu rezistență excelentă la temperatură, stabilitate chimică și caracteristici de contaminare metalică ultra-scăzută, potrivit pentru cuptoare de difuzie, cuptoare de oxidare, PECVD/LPCVD și alte echipamente, utilizat pe scară largă în acoperirea napolitanelor, implantarea ionică, recoacerea la temperaturi înalte și alte procese de bază.

Principalele avantaje ale bărcii de cuarț de la VET Energy:

• Material de puritate ultra-înaltă
  Puritate ≥99,99%: Conținut de impurități (Na, K, Fe etc.) <5 ppm, evitând contaminarea plachetelor și garantând randamentul cipului.
  Precipitații și adsorbție reduse: suprafața este super-lustruită (Ra≤0.4μm) pentru a reduce aderența particulelor și reziduurile de gaz.
• Stabilitate la temperaturi ridicate
  Limită de temperatură: Temperatură de funcționare pe termen lung de 1100 ℃, vârf pe termen scurt de 1300 ℃, fără deformare, fără precipitare de cristale.
  Coeficient de dilatare termică scăzut (5,5x10-7/℃), rezistență excelentă la șocuri termice, adaptabil la procese de creștere și scădere rapidă a temperaturii (de exemplu, recoacere rapidă RTP).
• Proiectare structurală precisă
  Precizia slotului ±0,1 mm: potrivire napolitană de la 2” la 12”, eroare de uniformitate a spațierii <0,05 mm, asigurând că napolitanele nu au decalaj.
  Capacitate mare de încărcare: Încărcare maximă de 50 de napolitane (în termeni de napolitane de 12”) într-o singură nacelă, ceea ce permite transferul stabil al napolitanelor subțiri (≥100 µm).
• Inerție chimică
  Rezistență la coroziune: Rezistent la acid (cu excepția HF), alcali și coroziunea solvenților organici, compatibil cu procesul de curățare CMP.
  Etanșeitate excelentă la gaze: Rată de scurgere <5x10⁻¹⁵ Pa.m³/s, potrivită pentru medii în vid și cu gaz protector.
• Durată lungă de viață și mentenabilitate
  Durata de viață ≥ 5000 de cicluri (condiții normale de lucru), suprafața poate fi curățată și utilizată în mod repetat, reducând costul total.
  Design modular: permite înlocuirea parțială (de exemplu, un singur dinte al ambarcațiunii), reducând timpul de nefuncționare.

Oferim atât suprafețe transparente, cât și mate, conform cerințelor clientului:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd este o întreprindere de înaltă tehnologie axată pe producția și vânzarea de materiale avansate de înaltă calitate, materiale și tehnologii precum grafit, carbură de siliciu, ceramică, tratamente de suprafață precum acoperiri cu SiC, acoperiri cu TaC, acoperiri cu carbon vitros, acoperiri cu carbon pirolitic etc., aceste produse fiind utilizate pe scară largă în fotovoltaică, semiconductori, energie nouă, metalurgie etc.

Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare de top din țară și a dezvoltat multiple tehnologii brevetate pentru a asigura performanța și calitatea produselor, putând oferi, de asemenea, clienților soluții profesionale în materie de materiale.