ක්වාර්ට්ස් වේෆර් බෝට්ටුවඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, ප්රකාශ වෝල්ටීයතා සෛල නිෂ්පාදනය සහ උසස් ද්රව්ය පර්යේෂණ සහ සංවර්ධනය සඳහා ප්රධාන වාහක මෙවලමක් වන අතර, ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්රියාවලීන්හි ස්ථායී වේෆර් හුවමාරුව සහ ස්ථානගත කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. මෙම නිෂ්පාදනය අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් විලයන සිලිකා (SiO2) වලින් සාදා ඇති අතර, විශිෂ්ට උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක්, රසායනික ස්ථායිතාවයක් සහ අතිශය අඩු ලෝහ දූෂණ ලක්ෂණ සහිතව, විසරණ උදුන, ඔක්සිකරණ උදුන, PECVD/LPCVD සහ අනෙකුත් උපකරණ සඳහා සුදුසු වේෆර් ආලේපනය, අයන බද්ධ කිරීම, ඉහළ උෂ්ණත්ව ඇනීලිං සහ අනෙකුත් මූලික ක්රියාවලීන්හි බහුලව භාවිතා වේ.
VET එනර්ජි හි ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටුවේ මූලික වාසි:
- අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ද්රව්යයකි
සංශුද්ධතාවය ≥99.99%: අපිරිසිදු අන්තර්ගතය (Na, K, Fe, ආදිය) <5ppm, වේෆර් දූෂණය වැළැක්වීම සහ චිප් අස්වැන්න සහතික කිරීම.
අඩු වර්ෂාපතනය සහ අවශෝෂණය: අංශු ඇලවීම සහ වායු අපද්රව්ය අඩු කිරීම සඳහා මතුපිට සුපිරි ඔප දමා ඇත (Ra≤0.4μm). - ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව
උෂ්ණත්ව සීමාව: දිගුකාලීන වැඩ කරන උෂ්ණත්වය 1100℃, කෙටි කාලීන උපරිමය 1300℃, විරූපණයක් නැත, ස්ඵටික වර්ෂාපතනයක් නැත.
අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (5.5x10-7/℃), විශිෂ්ට තාප කම්පන ප්රතිරෝධය, වේගවත් උෂ්ණත්ව ඉහළ යාම සහ වැටීමේ ක්රියාවලියට අනුවර්තනය විය හැකිය (උදා: RTP වේගවත් ඇනීලිං). - නිරවද්ය ව්යුහාත්මක සැලසුම
ස්ලොට් නිරවද්යතාවය±0.1mm: 2” සිට 12” දක්වා වේෆර් ගැලපීම, පරතරය ඒකාකාර දෝෂය <0.05mm, වේෆර්වලට ඕෆ්සෙට් නොමැති බව සහතික කිරීම.
ඉහළ බර පැටවීමේ ධාරිතාව: තනි බෝට්ටුවක උපරිම බර වේෆර් 50 (12” වේෆර් අනුව), තුනී වේෆර් (≥100um) ස්ථාවර මාරු කිරීම සඳහා සහාය වේ. - රසායනික නිෂ්ක්රීය බව
විඛාදන ප්රතිරෝධය: අම්ල (HF හැර), ක්ෂාර සහ කාබනික ද්රාවක විඛාදනයට ප්රතිරෝධී, CMP පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලියට අනුකූල වේ.
විශිෂ්ට වායු තද බව: කාන්දු වීමේ අනුපාතය <5x10-10 Pa.m3/s, රික්තක සහ ආරක්ෂිත වායු පරිසරයන් සඳහා සුදුසු වේ. - දිගු ආයු කාලය සහ නඩත්තු කිරීමේ හැකියාව
ආයු අපේක්ෂාව ≥ චක්ර 5000 (සාමාන්ය සේවා තත්ත්වයන්), මතුපිට නැවත නැවතත් පිරිසිදු කර භාවිතා කළ හැකි අතර, සමස්ත පිරිවැය අඩු කරයි.
මොඩියුලර් නිර්මාණය: අර්ධ ප්රතිස්ථාපනයට සහය දක්වයි (උදා: තනි බෝට්ටු දතක්), අක්රීය කාලය අඩු කරයි.
පාරිභෝගික අවශ්යතා අනුව අපි විනිවිද පෙනෙන සහ හිම සහිත මතුපිට දෙකම පිරිනමන්නෙමු:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd යනු උසස් තත්ත්වයේ උසස් ද්රව්ය නිෂ්පාදනය සහ අලෙවිය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන අධි තාක්ෂණික ව්යවසායයකි, ග්රැෆයිට්, සිලිකන් කාබයිඩ්, පිඟන් මැටි, SiC ආලේපනය වැනි මතුපිට ප්රතිකාර, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිරොලිටික් කාබන් ආලේපනය යනාදිය, මෙම නිෂ්පාදන ප්රකාශ වෝල්ටීයතා, අර්ධ සන්නායක, නව ශක්තිය, ලෝහ විද්යාව ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ.
අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවලින් පැමිණෙන අතර, නිෂ්පාදන කාර්ය සාධනය සහ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා බහු පේටන්ට් බලපත්රලාභී තාක්ෂණයන් සංවර්ධනය කර ඇති අතර, පාරිභෝගිකයින්ට වෘත්තීය ද්රව්ය විසඳුම් ද ලබා දිය හැකිය.
