Ohrievač substrátu MOCVD, vykurovacie telesá pre MOCVD

Ohrievač substrátu MOCVD, vykurovacie prvky pre MOCVD, obrázok

Stručný popis:

Chemický grafit

Výhoda: Odolnosť voči vysokým teplotám

Použitie: MOCVD/vákuová pec/horúca zóna

Objemová hustota: 1,68 – 1,91 g/cm3

Pevnosť v ohybe: 30-46 MPa

Rezistivita: 7-12μΩm

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detaily produktu

Značky produktov

Ohrievač substrátu MOCVD, vykurovacie telesá pre MOCVD

Grafitový ohrievač:
Grafitové ohrievače sa používajú vo vysokoteplotnej peci s teplotou dosiahnutou 2200 stupňov vo vákuovom prostredí a 3000 stupňov v deoxidovanom a vstrekovanom plynnom prostredí.
Hlavné vlastnosti grafitového ohrievača:
1. rovnomernosť vykurovacej štruktúry.
2. dobrá elektrická vodivosť a vysoké elektrické zaťaženie.
3. odolnosť voči korózii.
4. neoxidovateľnosť.
5. vysoká chemická čistota.
6. vysoká mechanická pevnosť.
Výhodou je energetická účinnosť, vysoká hodnota a nízke nároky na údržbu.
Vieme vyrobiť antioxidačný a dlhotrvajúci grafitový téglik, grafitovú formu a všetky časti grafitového ohrievača.
Hlavné parametre grafitového ohrievača:

Technická špecifikácia	VET-M3
Objemová hustota (g/cm3)	≥1,85
Obsah popola (PPM)	≤500
Tvrdosť podľa Shorea	≥45
Merný odpor (μΩ.m)	≤12
Pevnosť v ohybe (MPa)	≥40
Pevnosť v tlaku (MPa)	≥70
Max. veľkosť zrna (μm)	≤43
Koeficient tepelnej rozťažnosti mm/°C	≤4,4*10⁻⁶

Grafitový ohrievač pre elektrickú pec má vlastnosti ako tepelná odolnosť, odolnosť proti oxidácii, dobrá elektrická vodivosť a lepšia mechanická odolnosť. Dokážeme obrábať rôzne typy grafitových ohrievačov podľa návrhov zákazníkov.