Vysoko čistá kremenná loď na spracovanie oblátok

Kremeňová oblátková loďkaje kľúčovým nosným nástrojom vo výrobe polovodičov, výrobe fotovoltaických článkov a pokročilom výskume a vývoji materiálov, určený pre stabilný prenos a umiestnenie doštičiek vo vysokoteplotných procesoch. Tento produkt je vyrobený z ultra čistého taveného oxidu kremičitého (SiO2) s vynikajúcou teplotnou odolnosťou, chemickou stabilitou a ultra nízkou kontamináciou kovmi, vhodný pre difúzne pece, oxidačné pece, PECVD/LPCVD a ďalšie zariadenia, široko používaný pri poťahovaní doštičiek, iónovej implantácii, vysokoteplotnom žíhaní a iných jadrových procesoch.

Hlavné výhody kremenného člna od spoločnosti VET Energy:

• Materiál s ultra vysokou čistotou
  Čistota ≥99,99 %: Obsah nečistôt (Na, K, Fe atď.) <5 ppm, čím sa zabráni kontaminácii doštičiek a zaručí sa výťažnosť čipu.
  Nízke zrážanie a adsorpcia: povrch je superleštený (Ra ≤ 0,4 μm), aby sa znížila adhézia častíc a zvyšky plynu.
• Stabilita pri vysokých teplotách
  Teplotný limit: Dlhodobá pracovná teplota 1100 ℃, krátkodobý vrchol 1300 ℃, žiadna deformácia, žiadne zrážanie kryštálov.
  Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti (5,5x10-7/℃), vynikajúca odolnosť voči tepelným šokom, prispôsobivosť rýchlemu nárastu a poklesu teploty (napr. rýchle žíhanie RTP).
• Presný konštrukčný návrh
  Presnosť drážky ±0,1 mm: zhoda 2” až 12” doštičiek, chyba rovnomernosti rozstupu <0,05 mm, zabezpečuje, že doštičky nemajú žiadny posun.
  Vysoká nosnosť: Maximálne zaťaženie 50 waferov (v prepočte na 12” wafery) v jednej lodičke, čo podporuje stabilný prenos tenkých waferov (≥100 μm).
• Chemická inertnosť
  Odolnosť voči korózii: Odolná voči korózii kyselinami (okrem HF), zásadami a organickými rozpúšťadlami, kompatibilná s čistiacim procesom CMP.
  Vynikajúca plynotesnosť: Miera úniku <5x10-10 Pa.m3/s, vhodné pre vákuové a ochranné plynové prostredia.
• Dlhá životnosť a udržiavateľnosť
  Životnosť ≥ 5000 cyklov (bežné pracovné podmienky), povrch je možné opakovane čistiť a používať, čo znižuje celkové náklady.
  Modulárny dizajn: umožňuje čiastočnú výmenu (napr. jeden zub lode), čím sa skracujú prestoje.

Ponúkame priehľadné aj matné povrchy podľa požiadaviek zákazníka:

Spoločnosť Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. je high-tech podnik zameraný na výrobu a predaj špičkových pokročilých materiálov. Medzi materiály a technológie patrí grafit, karbid kremíka, keramika, povrchové úpravy ako SiC povlak, TaC povlak, sklovitý uhlíkový povlak, pyrolytický uhlíkový povlak atď. Tieto produkty sa široko používajú vo fotovoltaike, polovodičoch, novej energii, metalurgii atď.

Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a vyvinul viacero patentovaných technológií na zabezpečenie výkonu a kvality produktov a zároveň môže zákazníkom poskytnúť profesionálne materiálové riešenia.