MOCVD基板ヒーター、MOCVD用加熱素子

簡単な説明:

化学グラファイト

利点:耐高温性

用途:MOCVD/真空炉/ホットゾーン

嵩密度：1.68～1.91g/cm3

曲げ強度：30～46MPa

抵抗率：7～12μΩm

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製品詳細

製品タグ

MOCVD基板ヒーター、MOCVD用加熱素子

グラファイトヒーター：
グラファイトヒーター部品は、真空環境では 2200 度、脱酸素および挿入ガス環境では 3000 度に達する高温炉で使用されます。
グラファイトヒーターの主な特徴：
1.加熱構造の均一性。
2. 優れた電気伝導性と高い電気負荷。
3. 耐食性。
4. 酸化されない性質。
5. 高い化学純度。
6. 高い機械的強度。
利点は、エネルギー効率が高く、価値が高く、メンテナンスの手間が少ないことです。
当社では、酸化防止性と長寿命性を備えたグラファイトるつぼ、グラファイト鋳型、グラファイトヒーターの全部品を生産できます。
グラファイトヒーターの主なパラメータ：

技術仕様	VET-M3
嵩密度（g/cm3）	≥1.85
灰分含有量（PPM）	≤500
ショア硬度	≥45
比抵抗（μ.Ω.m）	≤12
曲げ強度（Mpa）	≥40
圧縮強度（Mpa）	≥70
最大粒径（μm）	≤43
熱膨張係数 mm/°C	≤4.4*10-6