MOCVD基板ヒーター、MOCVD用発熱体

簡単な説明：

化学グラファイト

利点：高温耐性

用途：MOCVD/真空炉/ホットゾーン

かさ密度：1.68～1.91g/cm³

曲げ強度：30～46MPa

抵抗率：7～12μΩm

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製品詳細

商品タグ

MOCVD基板ヒーター、MOCVD用発熱体

グラファイトヒーター：
グラファイトヒーター部品は、真空環境下で2200℃、脱酸素・導入ガス環境下で3000℃に達する高温炉で使用される。
グラファイトヒーターの主な特徴：
1. 加熱構造の均一性。
2. 優れた電気伝導性と高い電気負荷。
3. 耐食性。
4. 不酸化性。
5. 高い化学的純度。
6. 高い機械的強度。
利点は、エネルギー効率が高く、価値が高く、メンテナンスの手間が少ないことです。
当社では、抗酸化性と長寿命に優れた黒鉛るつぼ、黒鉛鋳型、および黒鉛ヒーターのあらゆる部品を製造できます。
グラファイトヒーターの主なパラメータ：

技術仕様	VET-M3
かさ密度（g/cm³）	≥1.85
灰分含有量（ppm）	≤500
ショア硬度	45歳以上
比抵抗（μΩ・m）	≤12
曲げ強度（MPa）	40歳以上
圧縮強度（MPa）	70歳以上
最大粒径（μm）	≤43
熱膨張係数（mm/℃）	≤4.4×10⁻⁶