MOCVD-substratvarmer, varmeelementer for MOCVD

Kort beskrivelse:

Kjemisk grafitt

Fordel: Høy temperaturmotstand

Bruksområde: MOCVD/Vakuumovn/Varm sone

Bulktetthet: 1,68–1,91 g/cm3

Bøyestyrke: 30–46 MPa

Resistivitet: 7–12 μΩm

Send e-post til oss Last ned som PDF

Produktdetaljer

Produktetiketter

MOCVD-substratvarmer, varmeelementer for MOCVD

Grafittvarmer:
Grafittvarmerkomponentene brukes i høytemperaturovnen med en temperatur på 2200 grader i vakuummiljø og 3000 grader i deoksidert og innsatt gassmiljø.
Hovedfunksjoner til grafittvarmer:
1. ensartethet i varmestrukturen.
2. god elektrisk ledningsevne og høy elektrisk belastning.
3. korrosjonsbestandighet.
4. uoksiderbarhet.
5. høy kjemisk renhet.
6. høy mekanisk styrke.
Fordelen er energieffektivitet, høy verdi og lite vedlikehold.
Vi kan produsere antioksidant og lang levetid grafittdigel, grafittform og alle deler av grafittvarmer.
Hovedparametere for grafittvarmer:

Teknisk spesifikasjon	VET-M3
Bulktetthet (g/cm3)	≥1,85
Askeinnhold (PPM)	≤500
Shore Hardhet	≥45
Spesifikk motstand (μΩ.m)	≤12
Bøyestyrke (Mpa)	≥40
Trykkfasthet (Mpa)	≥70
Maks. kornstørrelse (μm)	≤43
Termisk ekspansjonskoeffisient Mm/°C	≤4,4*10⁻⁶

Grafittvarmere for elektriske ovner har egenskaper som varmebestandighet, oksidasjonsmotstand, god elektrisk ledningsevne og bedre mekanisk intensitet. Vi kan maskinere ulike typer grafittvarmere i henhold til kundenes design.