-
Prečo je konzolová lopatka SiC kritická pre moderné spracovanie v peci LPCVD
Keďže sa výroba polovodičov vyvíja smerom k menším geometriám zariadení, vyššej priepustnosti doštičiek a čoraz prísnejším štandardom kontroly kontaminácie, zariadenia na tepelné spracovanie čelia bezprecedentným technickým výzvam. Procesy ako LPCVD, tepelná oxidácia, difúzia dopantov, ...Čítať ďalej -
Čo je difúzna trubica SiC? Funkcie, materiály a aplikácie v polovodičových procesoch
Pri výrobe polovodičov je vysokoteplotné tepelné spracovanie nevyhnutné pre kroky výroby doštičiek, ako je oxidácia, difúzia, žíhanie a LPCVD depozícia. Tieto procesy sa zvyčajne vykonávajú vo vnútri polovodičových pecí pracujúcich pri teplote medzi 800 °C a 1200 °C, kde sa temperovanie...Čítať ďalej -
Čo je pórovitý grafit? Vlastnosti, aplikácie a výhody polovodičov
Úvod: Prečo je pórovitý grafit dôležitý pri výrobe polovodičov Keďže sa výroba polovodičov posúva smerom k pokročilým uzlom a zloženým polovodičom (ako napríklad SiC), požiadavky na materiály sa stávajú čoraz prísnejšími. Stabilita pri vysokých teplotách, ultra vysoká čistota a presné dávkovanie plynu...Čítať ďalej -
Aké sú aplikácie grafitovej plsti v polovodičových procesoch?
Výroba polovodičov funguje na priesečníku extrémnej presnosti a extrémnych prostredí. Procesy ako epitaxia, rast kryštálov a vysokoteplotné žíhanie bežne prekračujú 1000 °C, kde aj malé tepelné výkyvy sa môžu prejaviť merateľnými zmenami hrúbky filmu...Čítať ďalej -
Ako fungujú grafitové bipolárne platne v palivových článkoch?
I. Ústredná úloha grafitových bipolárnych platní v priemyselnom boome Na pozadí cieľov „duálneho uhlíka“ a rýchleho rozvoja vodíkovej ekonomiky prechádzajú palivové články (najmä palivové články PEM) z demonštračnej fázy do rozsiahleho využitia. Od osobných...Čítať ďalej -
Aké sú aplikácie grafitovej plsti v technológii palivových článkov?
V neustále sa vyvíjajúcich elektrochemických energetických systémoch vyniká grafitová plsť ako všestranný materiál na báze uhlíka s jedinečnými štrukturálnymi, elektrickými a chemickými vlastnosťami. Hoci nie všetky architektúry palivových článkov univerzálne používajú grafitovú plsť, jej úloha – najmä v pokročilých palivových článkoch ...Čítať ďalej -
Polovodičové grafitové upínacie prípravky: Kritické procesné komponenty pri výrobe polovodičov
V procese výroby polovodičov mnoho kľúčových materiálov a komponentov určuje stabilitu procesu a výťažnosť produktu. Hoci sa polovodičovým grafitovým upínacím prvkom nevenuje taká pozornosť ako doštičkám alebo terčom, neustále zohrávajú dôležitú úlohu pri vysokoteplotnom spracovaní, epitaxii...Čítať ďalej -
Prečo je zaostrovací krúžok s CVD povlakom na leptanie kritický pre vysoko presné leptanie polovodičov?
Fokusovacie krúžky s CVD povlakom zohrávajú kľúčovú úlohu v modernom leptaní polovodičov stabilizáciou hraníc plazmy a zabezpečením rovnomerného rozloženia iónov v celom doštičke. Tento článok vysvetľuje, prečo sú nevyhnutné pre pokročilé uzly, pričom zdôrazňuje ich vplyv na rovnomernosť leptania, kontrolu CD, kontamináciu...Čítať ďalej -
Jadro pece na rast monokryštálov: Odhaľovanie tajomstiev tepelných polí vysoko čistého grafitu
Jadro pece na rast monokryštálov je kľúčovým zariadením pri výrobe kryštálov a jeho dizajn tepelného poľa priamo ovplyvňuje čistotu a kvalitu kryštálu. Ako ústredná zložka pece ponúka tepelné pole z vysoko čistého grafitu vynikajúcu tepelnú vodivosť, vysokú...Čítať ďalej