Epitaxy GaN stèidhichte air silicon

Tuairisgeul an toraidh

Bidh a’ chompanaidh againn a’ toirt seachad seirbheisean pròiseas còmhdach SiC leis an dòigh CVD air uachdar grafait, ceirmeag agus stuthan eile, gus am bi gasaichean sònraichte anns a bheil carbon agus silicon ag ath-fhreagairt aig teòthachd àrd gus moileciuilean SiC àrd-ghlan fhaighinn, moileciuilean air an tasgadh air uachdar nan stuthan còmhdaichte, a’ cruthachadh còmhdach dìon SIC.

Prìomh fheartan:

1. Frith-aghaidh ocsaididh teòthachd àrd:

Tha an aghaidh oxidation fhathast glè mhath nuair a tha an teòthachd cho àrd ri 1600 C.

2. Glanachd àrd: air a dhèanamh le tasgadh ceò ceimigeach fo chumha clòraineachaidh teòthachd àrd.

3. Frith-aghaidh creimeadh: cruas àrd, uachdar dlùth, mìrean mìne.

4. Frith-aghaidh creimeadh: searbhag, alcalan, salann agus ath-bheachdan organach.

Prìomh Shònrachaidhean Còmhdach CVD-SIC