ဆီလီကွန်အခြေခံ GaN Epitaxy

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

ကျွန်ုပ်တို့ကုမ္ပဏီသည် ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များနှင့် အခြားပစ္စည်းများ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် CVD နည်းလမ်းဖြင့် SiC အပေါ်ယံလွှာ လုပ်ငန်းစဉ်ဝန်ဆောင်မှုများကို ပေးဆောင်သောကြောင့် ကာဗွန်နှင့် ဆီလီကွန်ပါဝင်သော အထူးဓာတ်ငွေ့များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ဓာတ်ပြုပြီး မြင့်မားသောသန့်စင်မှု SiC မော်လီကျူးများ၊ အပေါ်ယံလွှာပါ မော်လီကျူးများကို ရရှိစေကာ SIC အကာအကွယ်အလွှာကို ဖွဲ့စည်းပေးပါသည်။

အဓိကအင်္ဂါရပ်များ:

၁။ အပူချိန်မြင့် အောက်ဆီဒေးရှင်းဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း-

အပူချိန် 1600 C အထိ မြင့်မားသော်လည်း အောက်ဆီဒေးရှင်း ခံနိုင်ရည် အလွန်ကောင်းမွန်ပါသည်။

၂။ မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု- မြင့်မားသော အပူချိန်တွင် ကလိုရင်းဓာတ်ပါဝင်မှု အခြေအနေအောက်တွင် ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။

၃။ တိုက်စားမှုဒဏ်ခံနိုင်မှု- မာကျောမှုမြင့်မားခြင်း၊ ကျစ်လစ်သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်၊ အမှုန်အမွှားငယ်များ။

၄။ ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ် ဓါတ်ကူပစ္စည်းများ။

CVD-SIC အလွှာ၏ အဓိကသတ်မှတ်ချက်များ