சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்ஸி

தயாரிப்பு விளக்கம்

எங்கள் நிறுவனம், கிராஃபைட், செராமிக்ஸ் மற்றும் பிற பொருட்களின் மேற்பரப்பில் CVD முறையின் மூலம் SiC பூச்சு செயல்முறை சேவைகளை வழங்குகிறது. இச்செயல்முறையில், கார்பன் மற்றும் சிலிக்கான் அடங்கிய சிறப்பு வாயுக்கள் உயர் வெப்பநிலையில் வினைபுரிந்து, உயர் தூய்மையான SiC மூலக்கூறுகளைப் பெறுகின்றன. இந்த மூலக்கூறுகள், பூசப்பட்ட பொருட்களின் மேற்பரப்பில் படிந்து, SiC பாதுகாப்பு அடுக்கை உருவாக்குகின்றன.

முக்கிய அம்சங்கள்:

1. உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு:

1600°C போன்ற உயர் வெப்பநிலையிலும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புத்திறன் மிகவும் சிறப்பாக உள்ளது.

2. உயர் தூய்மை : உயர் வெப்பநிலை குளோரினேற்ற நிலையில் இரசாயன ஆவிப் படிவு மூலம் தயாரிக்கப்பட்டது.

3. அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு, நுண்ணிய துகள்கள்.

4. அரிமான எதிர்ப்புத்திறன்: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம வினைப்பொருட்கள்.

CVD-SIC பூச்சின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்