
Bàta Wafer Quartz'S e inneal giùlain cudromach a th' ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, cinneasachadh cheallan photovoltaic agus rannsachadh is leasachadh stuthan adhartach, air a dhealbhadh airson gluasad is suidheachadh seasmhach wafer ann am pròiseasan àrd-teòthachd. Tha an toradh seo air a dhèanamh de shilica leaghte fìor-ghlan (SiO2), le strì an aghaidh teòthachd sàr-mhath, seasmhachd cheimigeach agus feartan truailleadh meatailt fìor ìosal, freagarrach airson àmhainn sgaoilidh, àmhainn ocsaididh, PECVD/LPCVD agus uidheamachd eile, air a chleachdadh gu farsaing ann an còmhdach wafer, implantachadh ian, annealing àrd-teòthachd agus pròiseasan bunaiteach eile.
Prìomh Bhuannachdan Bàta Cuartais VET Energy:
- Stuth fìor-ghlan
Purrachd ≥99.99%: Susbaint neo-ghlainead (Na, K, Fe, msaa.) <5ppm, a’ seachnadh truailleadh wafer agus a’ gealltainn toradh chip.
Sileadh is adsorption ìosal: tha an uachdar air a shnasadh gu mòr (Ra≤0.4μm) gus greamachadh mìrean agus fuigheall gas a lughdachadh. - Seasmhachd teòthachd àrd
Crìoch teòthachd: Teòthachd obrach fad-ùine de 1100 ℃, teòthachd obrach geàrr-ùine de 1300 ℃, gun deformachadh, gun sileadh criostail.
Co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal (5.5x10-7/℃), strì an aghaidh clisgeadh teirmeach sàr-mhath, freagarrach airson pròiseas àrdachadh is tuiteam teòthachd luath (me. annealing luath RTP). - Dealbhadh structarail mionaideach
Cruinneas slot ± 0.1mm: a’ maidseadh wafers 2” gu 12”, mearachd cunbhalachd eadar-ama <0.05mm, a’ dèanamh cinnteach nach eil cothromachadh aig wafers.
Comas luchdaidh àrd: Luchd as motha de 50 wafer (a thaobh wafers 12”) ann an aon bhàta, a’ toirt taic do ghluasad seasmhach de wafers tana (≥100um). - Neo-sheasmhachd cheimigeach
An aghaidh creimeadh: An aghaidh creimeadh searbhag (ach a-mhàin HF), alcalan agus fuasglaidhean organach, co-chòrdail ri pròiseas glanaidh CMP.
Teannachd gas sàr-mhath: Ìre aodion <5x10-10 Pa.m3/s, freagarrach airson àrainneachdan falamh agus gas dìona. - Beatha fhada agus seasmhachd
Dùil-beatha ≥ 5000 cearcall (suidheachaidhean obrach àbhaisteach), faodar an uachdar a ghlanadh agus a chleachdadh a-rithist is a-rithist, a’ lughdachadh a’ chosgais iomlan.
Dealbhadh modúlach: a’ toirt taic do ath-chur pàirteach (me fiacail aon bhàta), a’ lughdachadh ùine downt.
Bidh sinn a’ tabhann uachdaran follaiseach agus reòta a rèir riatanasan an neach-ceannach:

’S e iomairt àrd-theicneòlais a th’ ann an Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd a tha ag amas air cinneasachadh agus reic stuthan adhartach àrd-inbhe, nam measg grafait, carbide silicon, ceirmeag, làimhseachadh uachdar leithid còmhdach SiC, còmhdach TaC, còmhdach gualain glainneach, còmhdach gualain pyrolytic, msaa., agus tha na toraidhean sin air an cleachdadh gu farsaing ann am photovoltaic, semiconductor, lùth ùr, meatailteachd, msaa.
Tha an sgioba theicnigeach againn a’ tighinn bho phrìomh ionadan rannsachaidh dachaigheil, agus tha iad air iomadh teicneòlas peutant a leasachadh gus dèanamh cinnteach à coileanadh agus càileachd toraidh, agus faodaidh iad fuasglaidhean stuthan proifeasanta a thoirt do luchd-ceannach cuideachd.
-
Ceirmeag SiC Silicon Carbide porous
-
Stuthan consumichte uidheamachd leth-sheoltaiche alumina cer ...
-
Cer alùmana a tha an aghaidh teòthachd àrd agus caitheamh ...
-
Chuck falamh ceirmeach porous adhartach
-
Muinchill electrode leth-sheoltaiche ceirmeach alùmana
-
Eileamaid teasachaidh AlN Alumina teasadair ceirmeach








