Gịnị mere Crucibles Graphite nke SiC ji ekpebi mmepụta oke siri ike?

N'usoro mmepụta kristal SiC, ọtụtụ ndị injinia na-elekwasị anya na nhazi mpaghara ọkụ, usoro njikwa okpomọkụ, na nhazi ntụ ntụ. Ma mgbe mgbanwe mmepụta bilitere, ihe kpatara ya na-alaghachi azụ na otu ihe ahụ - ihe mkpuchi ahụ. Ọ naghị ewepụta ìhè, ọ naghị atụgharị, ọ naghịkwa apụta dị ka "isi paramita" na eserese. Mana ọ bụrụ na oyi akwa agbapụta n'elu, kristal na-etolite n'ebe na-ezighi ezi, ma ọ bụ obere carbon na-esi n'akụkụ pụta, ntụpọ ndị a na-enweta n'ofe boule ahụ dum na-eme ka otu ihe doo anya: ihe a abụghị ọrụ nkwado.

Ọnụnọ na-abawanye nkeIgwe graphite a kpụchara SiCN'ime ọkụ semiconductor, e nwere nkọwa dị mfe: okpomọkụ, ikuku, na ike njem ihe dị na mpaghara uto na-eme ka ihe rụọ ọrụ nke ọma. Graphite dị mma n'ihe gbasara iguzogide okpomọkụ, ike igwe, na nnyefe okpomọkụ - mana ọ na-abịa na àgwà nke ya: mgbanwe, ikike ịbanye n'ime ihe - na-eme ka ihe ghara ịdị irè., Mmeghachi omume kemịkalụ na ụdị uzuoku ma ọ bụ ihe na-adịghị ọcha, yana ihe egwu a na-apụghị izere ezere nke ntụ ntụ na mmepụta ihe. Mkpuchi SiC na-arụ ọrụ dị ka ihe mgbochi siri ike megide kpọmkwem ebe ihe mgbu ndị a.

Gịnị mere e ji eji mkpuchi SiC na Graphite Crucibles?

Isi ihe atọ kpatara ya:

1. Belata mgbanwe carbon na mmeghachi omume

Graphite na-amalite ịmịpụta n'okpuru okpomọkụ dị elu, ọbụlagodi n'okpuru gas na-adịghị arụ ọrụ. Kabọn a na-ewepụta na-agbanwe kemistri nke usoro uzuoku n'oge uto PVT, na-egbochi kinetics deposition ma na-akwalite nhazi ntụpọ ma ọ bụ usoro uto na-adịghị agbanwe agbanwe.

2. Kpachapụ anya ebe mmetọ na-esi apụta

Ọbụna graphite dị ọcha nke a na-agbanye n'ime ihe dị iche iche nwere obere oghere na ọchịchọ nke ịmịnye ụdị dị iche iche dịka ihe ndị na-ebute uzuoku, ihe ndị sitere na ya, ma ọ bụ mmiri mmiri. Enwere ike ịhapụ ha ma emechaa n'oge okpomọkụ dị elu, na-emebi ịdị ọcha kristal. Mkpuchi SiC na-emechi oghere ndị ahụ ma na-eme ka ịdị ọcha gburugburu ebe obibi ka mma.

3. Mee ka ndụ dịkwuo ogologo ma gbochie mgbasa ọbara

Mgbe ọtụtụ ugboro gasịrị, elu graphite na-emebi emebi: ntụ ntụ, ịkpụpụ, obere mgbawa, na nkwụchi ihe. Ihe ndị a na-ebute mmetọ ihe na mbelata mmepụta ihe. Mkpuchi SiC siri ike nwere ike igbu oge nke ukwuu n'usoro ọdịda dị otú ahụ, na-eme ka elu ahụ dị ọcha ma nwee ntụkwasị obi.

Njikwa Usoro Mkpuchi Na-ekpebi Ntụkwasị Obi nke Crucible

Usoro mkpuchi bụ isi bụ CVD(Ntinye Mmiri Kemịkal) nke SiC polycrystalline. Ọ tozuru oke ma kwụsie ike n'ọkụ. Agbanyeghị, inwe mkpuchi ezughị ezu - ọdịiche dị n'ezie na arụmọrụ ubi dabere na nkọwa dị mma dịka:

● Ịhazi ọkpụrụkpụ mkpuchi

Jiometrị dị mgbagwoju anya nke a na-akpọ crucible crucible—steps, grooves, fillets—na-emepụta ebe ndị nwere onyinyo ma ọ bụ obere ebe ọkpụrụkpụ mkpuchi nwere ike ịda n'okpuru nkọwapụta. Mpaghara ndị a dị gịrịgịrị na-aghọ nke mbụ na-emebi emebi n'okpuru nrụgide okpomọkụ.

Ngwọta:Onye na-eweta mkpuchi ahụ ga-enwerịrị njikwa usoro mmiri 3D ziri ezi yana sistemụ ntụgharị ike iji hụ na mkpuchi otu nha ahụ ọbụlagodi na akụkụ ndị dị mgbagwoju anya.

● Mwepụ njupụta mkpuchi na oghere pinhole

Ọ bụrụ na a naghị achịkwa paramita CVD (mgbanwe okpomọkụ, oke gas, oge obibi) nke ọma, oghere pere mpe nwere ike ịpụta. Ndị a na-aghọ ebe mmalite ọdịda ka carbon na-agbapụ ma na-emebi ihe n'ógbè ahụ.

Nchọpụta:Okpukpu na nlele anya ezughi oke. Jiri ule ntapu helium ma ọ bụ nnwale mbelata ibu fọdụrụ n'ọtụtụ usoro okpomọkụ iji chọpụta porosity zoro ezo.

● Ike nrapado na iguzogide nrụgide okpomọkụ

SiC na graphite nwere oke dị iche iche nke mgbasawanye okpomọkụ. Ọ bụrụ na nrụgide fọdụrụ na mkpuchi ahụ ebelataghị, ma ọ bụ na-eme ka elu dị nro/ọgwụgwọ tupu oge eruo ezughi oke, delamination nwere ike ime n'oge usoro okpomọkụ.

Omume kacha mma:Nyochaa nhicha grit-blast na ultrasonic tupu ị tee ya, ma gosi na ị na-enwe ike ịnagide nrụgide okpomọkụ site na iji ezigbo igwe ọkụ.

Ụdị Mmebi Ndị A Na-ahụkarị na Mmetụta Kristal Ha

N'ime mmepụta, ozugbo ihe mkpuchi ahụ dara, mmetụta ya na-abụkarị ọ bụghị naanị ppm ole na ole, kama ọ na-efunahụ oke ogbe na ọtụtụ izu nke mmebi ikike. Nke a abụghị naanị nsogbu dị mkpa—ọ bụ nsogbu nkwụsi ike sistemụ.