ວິທີການກະກຽມເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນແມ່ນຫຍັງ

ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງມາດົນແລ້ວໃນຂົງເຂດການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າຕ່າງໆ ເນື່ອງຈາກມີຄວາມແຂງສູງ, ມີຄວາມແຂງແຮງສູງ, ມີສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ມີນ້ຳໜັກນຳຄວາມຮ້ອນສູງ, ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີ, ທົນທານຕໍ່ການກະແທກຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການຜຸພັງ. ນອກເໜືອໄປຈາກຄຸນລັກສະນະທີ່ກ່າວມາຂ້າງເທິງຂອງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ, ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນ, ດ້ວຍໂຄງສ້າງຮູພຸນຈຸລະທັດທີ່ເປັນເອກະລັກ, ມີທ່າແຮງການນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ໂລຫະ, ວິສະວະກຳເຄມີ, ການປົກປ້ອງສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ພະລັງງານ, ເຊິ່ງຂະຫຍາຍຂອບເຂດການນຳໃຊ້ຂອງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ຄຸນສົມບັດພິເສດຂອງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກໂຄງສ້າງທີ່ມີຮູພຸນທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນ, ເຊິ່ງປະກອບມີຄວາມพรຸນ, ຂະໜາດຂອງຮູພຸນ ແລະ ການແຈກຢາຍ, ແລະ ຮູບຮ່າງຂອງຮູພຸນ, ແລະອື່ນໆ. ດັ່ງນັ້ນ, ມັນຈຳເປັນຕ້ອງຄວບຄຸມຄວາມพรຸນ, ຂະໜາດຂອງຮູພຸນ ແລະ ການແຈກຢາຍ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບຮູບຮ່າງຂອງຮູພຸນໂດຍຜ່ານວິທີການກະກຽມເພື່ອໃຫ້ໄດ້ໂຄງສ້າງທີ່ມີຮູພຸນທີ່ຕ້ອງການ. ດັ່ງນັ້ນ, ວິທີການກະກຽມຂອງມັນຈຶ່ງເປັນຈຸດສຸມຂອງການຄົ້ນຄວ້າຂອງຄົນສະເໝີ. ບົດຄວາມນີ້ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນທົບທວນຄວາມຄືບໜ້າຂອງການຄົ້ນຄວ້າໃນວິທີການກະກຽມເຊລາມິກຊິລິໂຄນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນທັງພາຍໃນ ແລະ ຕ່າງປະເທດໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້.

1. ວິທີການທາງກາຍະພາບ

ວິທີການທາງກາຍະພາບໝາຍເຖິງຄວາມຈິງທີ່ວ່າຊ່ອງວ່າງໃນເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນແມ່ນເກີດຈາກປະກົດການທາງກາຍະພາບຫຼາຍຢ່າງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການກະກຽມ, ໂດຍບໍ່ມີການເກີດປະຕິກິລິຍາເຄມີ ຫຼື ການສ້າງສານໃໝ່. ກົນໄກຫຼັກແມ່ນການສ້າງໂຄງສ້າງທີ່ມີຮູພຸນໂດຍອາໄສຊ່ອງວ່າງທີ່ເຫຼືອຈາກການຫົດຕົວດ້ວຍຄວາມຮ້ອນຂອງສານແຂງ, ການລະເຫີຍຂອງໄລຍະແຫຼວ, ແລະການລະເຫີຍໂດຍກົງຂອງໄລຍະແຂງ. ວິທີການທົ່ວໄປປະກອບມີວິທີການວາງຊ້ອນອະນຸພາກ, ວິທີການເຮັດໃຫ້ແຫ້ງແບບແຊ່ແຂງ, ວິທີການໂຊນເຈວ, ແລະອື່ນໆ. ເຕັກໂນໂລຊີການພິມ 3D ທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້ຍັງສາມາດໃຊ້ເພື່ອພິມ ແລະ ກະກຽມໂຄງສ້າງທີ່ມີຮູພຸນໂດຍກົງໄດ້.

1.1 ວິທີການວາງຊ້ອນກັນຂອງອະນຸພາກ

ວິທີການເຜົາຜະນຶກແບບຫຸ້ມຫໍ່ອະນຸພາກແມ່ນວິທີທີ່ງ່າຍທີ່ສຸດໃນການກະກຽມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນ. ຫຼັກການຂອງວິທີການນີ້ແມ່ນເພື່ອນໍາໃຊ້ປະສິດທິພາບການເຜົາຜະນຶກຂອງອະນຸພາກເຊລາມິກເອງເພື່ອສ້າງຄໍເຜົາຜະນຶກລະຫວ່າງອະນຸພາກ SiC ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ການສະສົມຂອງອະນຸພາກສາມາດປະກອບເປັນເຊລາມິກທີ່ມີຮູພຸນໄດ້. ເພື່ອຫຼຸດອຸນຫະພູມການເຜົາຜະນຶກ, ປະລິມານຂອງສານຍຶດຕິດທີ່ມີຈຸດລະລາຍຕ່ຳມັກຈະຖືກເພີ່ມເຂົ້າເພື່ອສ້າງການເຊື່ອມຕໍ່ລະຫວ່າງອະນຸພາກ SiC ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ເນື່ອງຈາກຮູພຸນທັງໝົດໃນວິທີການເຜົາຜະນຶກແບບຫຸ້ມຫໍ່ອະນຸພາກຖືກປ່ຽນຈາກຊ່ອງຫວ່າງການຫຸ້ມຫໍ່ລະຫວ່າງອະນຸພາກ SiC, ຄວາມพรຸນ ແລະ ຂະໜາດຮູພຸນຂອງເຊລາມິກທີ່ມີຮູພຸນສຳເລັດຮູບສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ໂດຍການປ່ຽນແປງຂະໜາດຜົງ, ປະເພດ ແລະ ປະລິມານການເພີ່ມຂອງສານຍຶດຕິດ, ແລະ ພາລາມິເຕີການເຜົາຜະນຶກ.

ການກະກຽມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນໂດຍວິທີການວາງຊ້ອນອະນຸພາກບໍ່ຈຳເປັນຕ້ອງເພີ່ມຕົວແທນສ້າງຮູພຸນເພີ່ມເຕີມ. ຂະບວນການແມ່ນງ່າຍດາຍ ແລະ ຂ້ອນຂ້າງງ່າຍຕໍ່ການຄວບຄຸມ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຄວາມพรຸນຂອງເຊລາມິກທີ່ມີຮູພຸນທີ່ກະກຽມໂດຍວິທີການນີ້ແມ່ນຕໍ່າໂດຍທົ່ວໄປ. ຮູບຮ່າງ, ຂະໜາດຮູພຸນ ແລະ ຄວາມพรຸນຂອງຮູພຸນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຖືກກຳນົດໂດຍຮູບຮ່າງ, ຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ ແລະ ການແຈກຢາຍຂອງອະນຸພາກວັດຖຸດິບ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບລະດັບຂອງການເຜົາ.

1.2 ວິທີການອົບແຫ້ງແບບແຊ່ແຂງ

ການອົບແຫ້ງແບບແຊ່ແຂງແມ່ນວິທີການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການປະສົມສ່ວນປະກອບເຊລາມິກກັບນໍ້າ ຫຼື ຕົວລະລາຍອິນຊີຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີໃນປະລິມານທີ່ເໝາະສົມຂອງສານກະຈາຍ ຫຼື ສານຍຶດຕິດເພື່ອສ້າງເປັນນ້ຳຢາງ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ນ້ຳຢາງທີ່ປະສົມເຂົ້າກັນດີຈະຖືກຖອກໃສ່ແມ່ພິມ ແລະ ແຊ່ແຂງຢ່າງໄວວາໃນອຸນຫະພູມຕໍ່າ, ຊ່ວຍໃຫ້ເມທຣິກຂອງແຫຼວແຂງຕົວໄດ້ໄວເປັນຂອງແຂງ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ໄລຍະຂອງແຂງທີ່ແຂງຕົວຈະຖືກລະເຫີຍ ແລະ ກຳຈັດອອກຜ່ານການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມດັນ ຫຼື ການອົບແຫ້ງດ້ວຍສູນຍາກາດ. ວິທີການໃນການໄດ້ຮັບວັດຖຸສີຂຽວທີ່ມີໂຄງສ້າງຮູຂຸມຂົນທີ່ຈັດລຽງທິດທາງປະໄວ້ພາຍໃນນ້ຳຢາງ ແລະ ສຸດທ້າຍກໍ່ເຜົາມັນເພື່ອຜະລິດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູຂຸມຂົນ.

1.3 ວິທີການພິມ 3D

ວິທີການພິມ 3D ສຳລັບການກະກຽມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນແມ່ນຂະບວນການກະກຽມປະເພດໃໝ່ທີ່ໄດ້ພັດທະນາຂຶ້ນໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້. ຂະບວນການນີ້ອີງໃສ່ຮູບແບບຂໍ້ມູນສາມມິຕິທີ່ອອກແບບດ້ວຍການຊ່ວຍເຫຼືອຂອງຄອມພິວເຕີ. ຜ່ານຫົວພິມ, ສານຍຶດຕິດຈະຖືກສີດພົ່ນເພື່ອວາງຊັ້ນຜົງວັດຖຸດິບເປັນຊັ້ນໆເຂົ້າໄປໃນໂຄງສ້າງເຄືອຂ່າຍສາມມິຕິ. ການປະສົມປະສານຂອງການພິມ 3D ແລະຂະບວນການເຜົາປະຕິກິລິຍາສາມາດບັນລຸການຜະລິດທີ່ບໍ່ມີເຊື້ອລາ ແລະ ການສ້າງຂະໜາດເກືອບສຸດທິຂອງເຊລາມິກທີ່ມີຮູບຮ່າງສັບສົນ.

ວິທີການພິມ 3D ສຳລັບການກະກຽມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນມີຂະບວນການຂຶ້ນຮູບງ່າຍໆ, ປະສິດທິພາບໃນການກະກຽມ ແລະ ການປະມວນຜົນສູງ, ແລະ ບໍ່ຈຳເປັນຕ້ອງໃຊ້ແມ່ພິມ. ມັນບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດໃຊ້ເພື່ອກະກຽມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນທີ່ມີຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ, ໂຄງສ້າງຈຸລະພາກທີ່ເປັນເອກະພາບ ແລະ ການເຊື່ອມຕໍ່ຮູພຸນທີ່ດີເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງສາມາດຄວບຄຸມ ແລະ ປັບຄວາມพรຸນ ແລະ ຂະໜາດຮູພຸນຂອງເຊລາມິກທີ່ມີຮູພຸນໄດ້. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ວິທີການນີ້ຍັງຢູ່ໃນຂັ້ນຕອນການຄົ້ນຄວ້າສຳຫຼວດໃນປະຈຸບັນ, ແລະ ຕົວກຳນົດຂະບວນການຍັງຕ້ອງໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ດີທີ່ສຸດຕື່ມອີກ. ນອກຈາກນັ້ນ, ວິທີການນີ້ຍາກທີ່ຈະກະກຽມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຄວາມແຂງແຮງສູງໃນຂັ້ນຕອນດຽວ. ມັນຕ້ອງການຄວາມຊ່ວຍເຫຼືອຈາກຂະບວນການອື່ນໆເພື່ອຜະລິດຜະລິດຕະພັນທີ່ຕ້ອງການ, ເຊິ່ງມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ຂ້ອນຂ້າງສູງ.

1.4 ການເປັນຟອງ

ວິທີການສ້າງຟອງປະກອບດ້ວຍການເພີ່ມອາຍແກັສ ຫຼື ສານທີ່ສາມາດຜະລິດອາຍແກັສຜ່ານການປຸງແຕ່ງຕໍ່ມາໃສ່ກັບວັດຖຸສີຂຽວເຊລາມິກ ຫຼື ສານຕັ້ງຕົ້ນ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນກໍ່ເຜົາມັນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນ. ບໍ່ເຫມືອນກັບວິທີການກະກຽມອື່ນໆ, ວິທີການສ້າງຟອງແມ່ນຂະບວນການທີ່ມີປະສິດທິພາບສໍາລັບການກະກຽມເຊລາມິກຈຸລັງປິດ.

2. ວິທີການທາງເຄມີ

ວິທີການທາງເຄມີໝາຍເຖິງໂຄງສ້າງທີ່ມີຮູພຸນໃນເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນແມ່ນເກີດຈາກການເນົ່າເປື່ອຍ ຫຼື ປະຕິກິລິຍາຂອງເກືອອະນົງຄະທາດ ຫຼື ສານອິນຊີທີ່ເພີ່ມເຂົ້າມາ, ເຮັດໃຫ້ມີບ່ອນວ່າງຢູ່ໃນຕຳແໜ່ງເດີມ. ວິທີການທາງເຄມີທົ່ວໄປສຳລັບການກະກຽມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນປະກອບມີວິທີການເພີ່ມຕົວແທນສ້າງຮູພຸນ, ວິທີການເຮັດໃຫ້ໂຟມອິນຊີຊຸ່ມຊື່ນ, ແລະ ວິທີການແມ່ແບບຊີວະພາບ, ແລະອື່ນໆ.

2.1 ການເຄືອບໂຟມອິນຊີ

ວິທີການເຮັດໃຫ້ໂຟມອໍແກນິກອີ່ມຕົວນັ້ນກ່ຽວຂ້ອງກັບການໃຊ້ໂຟມອໍແກນິກເປັນແມ່ແບບ, ເຄືອບເຊລາມິກທີ່ກຽມໄວ້ໃຫ້ທົ່ວແມ່ແບບ ຫຼື ຈຸ່ມແມ່ແບບລົງໃນນໍ້າຢາເພື່ອລະບາຍອາກາດ, ຮັບປະກັນວ່ານໍ້າຢາຈະຕິດກັບແມ່ແບບໂຟມອໍແກນິກຢ່າງທົ່ວເຖິງ. ຈາກນັ້ນ, ຜ່ານການອົບແຫ້ງ ແລະ ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ, ແມ່ແບບອໍແກນິກຈະຖືກກຳຈັດອອກ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງໄດ້ເຊລາມິກທີ່ມີຮູພຸນ.

ຂໍ້ເສຍປຽບທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດຂອງວິທີການນີ້ແມ່ນມັນບໍ່ສາມາດຜະລິດຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຮູຂຸມຂົນນ້ອຍປິດໄດ້. ຮູບຮ່າງມີຂໍ້ຈຳກັດ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງ preform ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຈາກວັດຖຸດິບ. ຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມແຂງແຮງຂອງວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ມີຮູຂຸມຂົນທີ່ກຽມໄວ້ກໍ່ຍາກທີ່ຈະຄວບຄຸມ.

2.2 ວິທີການເພີ່ມຕົວແທນສ້າງຮູຂຸມຂົນ

ການກະກຽມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູຂຸມຂົນໂດຍການເພີ່ມຕົວແທນສ້າງຮູຂຸມຂົນກ່ຽວຂ້ອງກັບການເພີ່ມຕົວແທນສ້າງຮູຂຸມຂົນໃສ່ຜົງຊິລິກອນຄາໄບ ຫຼື ສານຕັ້ງຕົ້ນ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນກຳຈັດຕົວແທນສ້າງຮູຂຸມຂົນຜ່ານຂະບວນການຕໍ່ໆມາ. ດັ່ງນັ້ນ, ຕຳແໜ່ງທີ່ເດີມຄອບຄອງໂດຍຕົວແທນສ້າງຮູຂຸມຂົນຈະສ້າງຮູຂຸມຂົນ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການເຜົາແມ່ນປະຕິບັດເພື່ອສ້າງເຊລາມິກທີ່ມີຮູຂຸມຂົນ. ດັ່ງນັ້ນ, ການປ່ຽນແປງປະເພດ ແລະ ປະລິມານຂອງຕົວແທນສ້າງຮູຂຸມຂົນສາມາດຄວບຄຸມຄວາມพรຸນ, ຮູບຮ່າງຂອງຮູຂຸມຂົນ, ຂະໜາດຂອງຮູຂຸມຂົນ ແລະ ການແຈກຢາຍຂອງເຊລາມິກທີ່ມີຮູຂຸມຂົນສຳເລັດຮູບໄດ້ຢ່າງສະດວກ. ປະເພດຂອງຕົວແທນສ້າງຮູຂຸມຂົນແມ່ນກວ້າງຂວາງຫຼາຍ, ລວມທັງໂພລີເມີອິນຊີທຳມະຊາດ ຫຼື ສັງເຄາະ, ຂອງແຫຼວ, ເກືອ, ເຊລາມິກ ຫຼື ຜົງອື່ນໆ, ແລະອື່ນໆ. ຂະບວນການກຳຈັດຕົວແທນສ້າງຮູຂຸມຂົນທີ່ແຕກຕ່າງກັນແຕກຕ່າງກັນ. ຕົວແທນສ້າງຮູຂຸມຂົນໂພລີເມີອິນຊີມັກຈະຖືກກຳຈັດອອກໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການຍ່ອຍສະຫຼາຍ, ຕົວແທນສ້າງຮູຂຸມຂົນຂອງແຫຼວສາມາດກຳຈັດອອກໄດ້ຜ່ານການຕົກແຕ່ງ ແລະ ການລະເຫີຍ, ເກືອສາມາດກຳຈັດອອກໄດ້ໂດຍການກັ່ນຕອງນ້ຳ, ແລະ ຜົງເຊລາມິກສາມາດກຳຈັດອອກໄດ້ໂດຍການກັ່ນຕອງສານລະລາຍທີ່ເໝາະສົມ.

2.3 ວິທີການແມ່ແບບທາງຊີວະພາບ

ໂຄງສ້າງຮູຂຸມຂົນຂະໜາດຈຸລະທັດໃນວັດສະດຸຊີວະພາບແຕກຕ່າງກັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຈາກວັດສະດຸສັງເຄາະ. ເນື່ອງຈາກໂຄງສ້າງທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນ, ການກະກຽມວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ມີຮູຂຸມຂົນທີ່ມີໂຄງສ້າງຄ້າຍຄືກັນໂດຍໃຊ້ສິ່ງມີຊີວິດເປັນແມ່ແບບໄດ້ຮັບຄວາມສົນໃຈຢ່າງກວ້າງຂວາງ [10]. ວິທີການແມ່ແບບຊີວະພາບ ແລະ ວິທີການເຮັດໃຫ້ຊຸ່ມດ້ວຍໂຟມອິນຊີມີຄວາມຄ້າຍຄືກັນ. ວິທີການເຮັດໃຫ້ຊຸ່ມດ້ວຍໂຟມອິນຊີໃຊ້ຟອງນໍ້າທຽມເປັນແມ່ແບບ, ໃນຂະນະທີ່ວິທີການແມ່ແບບຊີວະພາບໃຊ້ສິ່ງມີຊີວິດທຳມະຊາດເປັນແມ່ແບບ.

ວິທີການແມ່ແບບຊີວະພາບສຳລັບການກະກຽມເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນມີຂໍ້ດີຄືຂະບວນການທີ່ງ່າຍດາຍ ແລະ ຕົ້ນທຶນຕໍ່າ. ມັນສາມາດຜະລິດເຊລາມິກທີ່ມີຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ ແລະ ສາມາດສຳເນົາໂຄງສ້າງຂອງວັດສະດຸຊີວະພາບທຳມະຊາດໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ແມ່ແບບຊີວະພາບມັກຈະແຕກໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຄາບອນໄນເຊຊັນທີ່ອຸນຫະພູມສູງ, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກຂອງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ໂຄງສ້າງຮູພຸນຂອງເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຮູພຸນທີ່ກະກຽມສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຂຶ້ນກັບໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຂອງແມ່ແບບຊີວະພາບເອງ, ແລະ ການອອກແບບຂອງມັນບໍ່ດີ. ນອກຈາກນັ້ນ, ວິທີການນີ້ຍັງມີຂໍ້ເສຍປຽບບາງຢ່າງ, ເຊັ່ນ: ປະສິດທິພາບການປ່ຽນ SiC ທີ່ຂ້ອນຂ້າງຕໍ່າ, ການຫຼົ່ນຊັ້ນປະຕິກິລິຍາ SiC ງ່າຍ, ແລະ ວົງຈອນການກະກຽມທີ່ຍາວນານ.