DeKvartsovnsrører sentrale forbruksvarer innen halvlederproduksjon, solcelleindustrien, materialvarmebehandling og laboratorieforskning. De er laget av høyrent smeltet silika (SiO2) med utmerket termisk stabilitet, kjemisk inertitet og optisk gjennomsiktighet. Dette produktet er designet for høytemperaturprosesser (som diffusjon, oksidasjon, CVD, gløding osv.), og kan tilpasses en rekke rørovner og PECVD-utstyr, som er mye brukt i waferprosessering, belegg av solceller, LED-epitaksialvekst og andre høypresisjonsfelt.
Kjernefordelene med VET Energy kvartsrør:
-Materiale med ultrahøy renhet
Bruk av 99,99 % eller mer kvartsand med høy renhet, urenhetsinnhold (Na, K, Fe, etc.) <10 ppm, for å unngå forurensning av sensitivt prosessmiljø.
Overflatefinish Ra≤0,8 μm, noe som reduserer partikkeladhesjon og garanterer beleggjevnhet.
-Utmerket temperaturbestandighet
Langtids driftstemperatur: 1200 ℃ (kontinuerlig bruk); korttids temperaturtopp: 1450 ℃ (≤2 timer).
Lav termisk ekspansjonskoeffisient (5,5x10-7/℃), utmerket termisk sjokkmotstand, tåler rask temperaturøkning og -fall (≤10 ℃/min).
-Nøyaktig størrelseskontroll
Toleranse for indre diameter ±0,5 mm, retthetsfeil <1 mm/m, for å sikre en tett samsvar med ovnshuset.
Støtter ikke-standard tilpasning, indre diameterområde 20 mm-500 mm, lengde 100 mm-3000 mm.
-Kjemisk inertitet og korrosjonsbestandighet
Bestandig mot sterke syrer (unntatt HF), sterke alkalier og de fleste organiske løsemidler, noe som forlenger levetiden.
Utmerket gasstetthet, lekkasjerate <<1x10-9Pa.m3/s, egnet for vakuum eller beskyttende gassmiljø.
-Tilpasset tjeneste
Støtteåpninger, flenser, flerkanaler, formede strukturer og andre design for å oppfylle spesielle prosesskrav.
Kan forhåndsbelegges med silisiumkarbid (SiC)-belegg for å forbedre krystalliseringsmotstanden.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en høyteknologisk bedrift som fokuserer på utvikling og produksjon av avanserte materialer i høy kvalitet. Materialene og teknologien inkluderer grafitt, silisiumkarbid, keramikk, overflatebehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Disse produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og har utviklet flere patenterte teknologier for å sikre produktets ytelse og kvalitet, og kan også gi kundene profesjonelle materialløsninger.
