Silisiumkarbidbelagt grafittsubstrat for halvledere, MOCVD-susceptor

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC-belagt susceptor er et høytytende produkt som er utviklet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over lengre tid. Den har supergod varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet og erosjonsmotstand, noe som gjør den til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.


  • Opprinnelsessted:Zhejiang, Kina (fastlandet)
  • Kjemisk sammensetning:SiC-belagt grafitt
  • Bøyestyrke:470 MPa
  • Termisk ledningsevne:300 W/mK
  • Kvalitet:Perfekt
  • Funksjon:CVD-SiC
  • Søknad:Halvleder / Fotovoltaisk
  • Tetthet:3,21 g/cc
  • Termisk ekspansjon:4 10-6/K
  • Aske: <5 ppm
  • Prøve:Tilgjengelig
  • HS-kode:6903100000
  • Produktdetaljer

    Produktetiketter

    VET Energy SiC Coated Susceptorer en høyytelsesløsning som er omhyggelig utformet for å levere pålitelig og konsistent ytelse over en lengre levetid, og som oppfyller de strenge kravene til halvlederproduksjon. Med eksepsjonell varmebestandighet, overlegen termisk ensartethet og høy renhet er dette produktet ideelt for MOCVD-waferbærere og andre waferbehandlingsapplikasjoner som krever stabilitet og presisjon. Den robuste erosjonsmotstanden gjør det til et førsteklasses valg for miljøer der holdbarhet og kjemisk motstandskraft er avgjørende.

    VårSiC-belagt grafittmotstandstår som en kritisk komponent i produksjonsprosessen for halvledere, og utnytter VET Energys eksklusive patenterte teknologi for å oppnå ekstremt høy renhet, overlegen beleggens ensartethet og bemerkelsesverdig termisk stabilitet. Belegget forbedrer grafittsubstratet med høy kjemisk motstand og en betydelig forlenget levetid. VET Energys dedikasjon til kvalitet har resultert i en SiC-belagt susceptor som møter de utviklende behovene i markedet for grafittwaferbærere, og setter en høy standard for SiC-belagte grafittsusceptorer som brukes iMOCVD-prosesser.

    64

    Viktige egenskaper ved SiC-belagte susceptorer:

    1. Motstand mot høy temperaturoksidasjon:Tåler temperaturer opptil 1700 ℃, noe som gjør den egnet for ekstreme prosesseringsforhold.

    2. Høy renhet og termisk ensartethet:Sikrer konsistente resultater, viktig forMOCVD-mottakereog andre presisjonsapplikasjoner.

    3. Utmerket korrosjonsbestandighet:Motstandsdyktig mot syre, alkali, salt og diverse organiske reagenser.

    4. Forbedret overflatehardhet:Kompakt overflate med fine partikler som gir høyere holdbarhet og levetid.

    5. Forlenget levetid:Konstruert for vedvarende ytelse, og overgår standard silisiumkarbidbelagte susceptorer i tøffe prosesseringsmiljøer.

     

    Som en ledende produsent spesialiserer VET Energy seg på tilpasset grafitt ogsilisiumkarbidproduktermed forskjellige beleggalternativer, inkludertSiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, og pyrolytisk karbonbelegg. Vi er stolte av å betjene halvleder- og solcelleindustrien, og leverer silisiumkarbidbelagte grafittsusceptorer som oppfyller spesifikke driftskrav.

    Vårt tekniske team, med erfaring fra ledende nasjonale forskningsinstitusjoner, er dedikert til å utvikle materialløsninger for de stadig utviklende behovene tilSiC-belagt grafittmottakermarkedet. Gjennom vår patenterte prosess har VET Energy utviklet en unik teknologi som forbedrer bindingsstyrken mellom silisiumkarbidbelegget og underlaget betydelig, noe som reduserer risikoen for løsning og forbedrer den langsiktige påliteligheten.

    1

    Bruksområder og fordeler innen halvlederprosessering

    DeSiC-belegg for MOCVDmuliggjørgrafittmottakerkomponenter for å opprettholde integriteten under høye temperaturer og korrosive miljøer, noe som er avgjørende for presisjonsproduksjon av halvledere. Disse SiC-belagte grafittkomponentene er spesielt verdsatt i prosesser som krever silisiumkarbidbelagte susceptorer forgrafittwaferbærere, som krever høy termisk stabilitet, renhet og motstand mot kjemisk erosjon.

    Med våre avanserte silisiumkarbidbeleggteknikker fortsetter VET Energy å støtte markedet for grafittwaferbærere ved å levere tilpassede, høytytende løsninger.SiC-belagte grafittmottakeresom adresserer bransjespesifikke utfordringer, fra MOCVD-prosesser til høyrenhetsapplikasjoner innen halvlederfeltet.

    284

    Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss snakke videre!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     

     


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp online chat!