Kvartswaferbåter et sentralt bæreverktøy innen halvlederproduksjon, produksjon av solceller og avansert materialforskning og -utvikling, designet for stabil waferoverføring og -posisjonering i høytemperaturprosesser. Dette produktet er laget av smeltet silika (SiO2) med ultrahøy renhet, med utmerket temperaturbestandighet, kjemisk stabilitet og ultralave metallforurensningsegenskaper, egnet for diffusjonsovner, oksidasjonsovner, PECVD/LPCVD og annet utstyr, mye brukt i waferbelegg, ioneimplantasjon, høytemperaturgløding og andre kjerneprosesser.
Kjernefordelene med VET Energys kvartsbåt:
- Materiale med ultrahøy renhet
Renhet ≥99,99 %: Urenhetsinnhold (Na, K, Fe, etc.) <5 ppm, noe som unngår waferforurensning og garanterer chiputbytte.
Lav nedbør og adsorpsjon: overflaten er superpolert (Ra≤0,4 μm) for å redusere partikkeladhesjon og gassrester. - Høy temperaturstabilitet
Temperaturgrense: Langsiktig arbeidstemperatur på 1100 ℃, kortsiktig topp på 1300 ℃, ingen deformasjon, ingen krystallutfelling.
Lav termisk ekspansjonskoeffisient (5,5 x 10⁻⁶/℃), utmerket termisk sjokkmotstand, tilpasningsdyktig til raske temperaturøkninger og -fall (f.eks. RTP-hurtiggløding). - Presis strukturell design
Sporpresisjon ± 0,1 mm: matchende wafere fra 2” til 12” med ensartethetsfeil på < 0,05 mm, noe som sikrer at wafere ikke har noen forskyvning.
Høy lastekapasitet: Maksimal belastning på 50 wafere (i form av 12-tommers wafere) i én båt, noe som støtter stabil overføring av tynne wafere (≥100µm). - Kjemisk inertitet
Korrosjonsbestandighet: Bestandig mot syre- (unntatt HF-), alkali- og organisk løsemiddelkorrosjon, kompatibel med CMP-rengjøringsprosessen.
Utmerket gasstetthet: Lekkasjerate <5x10⁻⁴ Pa.m3/s, egnet for vakuum og beskyttende gassmiljøer. - Lang levetid og vedlikeholdsvennlighet
Forventet levetid ≥ 5000 sykluser (normale arbeidsforhold), overflaten kan rengjøres og brukes gjentatte ganger, noe som reduserer den totale kostnaden.
Modulær design: støtter delvis utskifting (f.eks. én båttann), noe som reduserer nedetid.
Vi tilbyr både transparente og frostede overflater i henhold til kundens krav:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en høyteknologisk bedrift som fokuserer på produksjon og salg av avanserte materialer i høy kvalitet. Materialene og teknologien inkluderer grafitt, silisiumkarbid, keramikk, overflatebehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Disse produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og har utviklet flere patenterte teknologier for å sikre produktets ytelse og kvalitet, og kan også gi kundene profesjonelle materialløsninger.
