Suportes de grafite revestidos com SiC, revestimento de SiC, substrato de grafite revestido com SiC para semicondutores.

revestido com carbeto de silícioO revestimento de grafite em disco consiste na preparação de uma camada protetora de carbeto de silício sobre a superfície do grafite por deposição física ou química de vapor e pulverização. Essa camada protetora de carbeto de silício adere firmemente à matriz de grafite, tornando a superfície da base de grafite densa e livre de vazios, conferindo à matriz de grafite propriedades especiais, incluindo resistência à oxidação, resistência a ácidos e álcalis, resistência à erosão, resistência à corrosão, etc. Atualmente, o revestimento de grafite em disco é um dos melhores componentes essenciais para o crescimento epitaxial de carbeto de silício.

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O semicondutor de carbeto de silício é o material central dos semicondutores de banda larga recentemente desenvolvidos. Seus dispositivos apresentam características como alta resistência à temperatura, alta tensão, alta frequência, alta potência e resistência à radiação. Possui as vantagens de alta velocidade de comutação e alta eficiência. Pode reduzir significativamente o consumo de energia do produto, melhorar a eficiência de conversão de energia e reduzir o volume do produto. É utilizado principalmente em comunicações 5G, defesa nacional e indústria militar. O campo de radiofrequência, representado pela indústria aeroespacial, e o campo da eletrônica de potência, representado por veículos de nova energia e "nova infraestrutura", apresentam perspectivas de mercado claras e consideráveis ​​tanto no setor civil quanto no militar.

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O substrato de carbeto de silício é o material central do semicondutor de banda proibida larga recentemente desenvolvido. O substrato de carbeto de silício é usado principalmente em eletrônica de micro-ondas, eletrônica de potência e outras áreas.O carbeto de silício está na vanguarda da cadeia produtiva de semicondutores de banda larga e é um material fundamental e de ponta. O substrato de carbeto de silício pode ser dividido em dois tipos: semi-isolante e condutor. O substrato semi-isolante de carbeto de silício possui alta resistividade (resistividade ≥ 10⁵ Ω·cm). Combinado com uma camada epitaxial heterogênea de nitreto de gálio, o substrato semi-isolante pode ser utilizado como material para dispositivos de radiofrequência (RF), principalmente nas áreas de comunicação 5G, defesa nacional e indústria militar. Já o substrato condutor de carbeto de silício apresenta baixa resistividade (na faixa de 15 a 30 mΩ·cm). A epitaxia homogênea do substrato condutor de carbeto de silício pode ser utilizada em dispositivos de potência. Seus principais cenários de aplicação incluem veículos elétricos, sistemas de energia e outros campos.


Data da publicação: 21/02/2022
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