O masini epi-epitaxial SiC graphite e maualuga le tulaga i le 2026 e sili atu le mama o meafaitino, mautu lelei o le tele, atoatoa le ufiufi, ma le faʻaleleia atili o le faʻatinoga o le vevela. O nei taʻiala taua e faʻamalosia ai faʻamatalaga manaʻomia o le isi tupulaga SiC epitaxy. O loʻo faʻamoemoeina e le alamanuia se tuputupu aʻe tele, faʻatasi ai ma le 200mm le gafatia o le fab mo semiconductors eletise ma taʻavale, e aofia ai masini SiC, e faʻateleina e ala i le34% i le va o le 2023 ma le 2026. O lenei fa'alauteleina e fa'amamafa ai le mana'oga taua mo ni fa'aleleia atilimea e taofia ai le kalafitekinolosi e lagolago ai manaʻoga o gaosiga i le lumanaʻi.
Manatu Autū
- E manaʻomia e susceptors e maualuga le tulaga le graphite e matuā mama ma se ufiufi SiC atoatoa. O lenei mea e taofia ai mea leaga mai le ulu atu i vaega o le SiC.
- O leUfiufi SiCE tatau ona malosi ma tutusa. E manaʻomia ona pipii lelei ma ia lē faigofie ona masaesae. O le mea lea e faʻamamā ma tutusa ai le faiga.
- E tatau ona sa'o lelei le lapo'a ma le foliga o mea e fa'apipi'i ai le ea (susceptors). E tatau ona tumau le lamolemole tusa lava pe vevela tele. E fesoasoani lea i le tuputupu a'e tutusa o le SiC.
- E tatau i mea e fa'asao ai le vevela ona fa'asalalau lelei ma tausia le vevela mautu. O lenei mea e fa'amautinoa ai o lo'o ola lelei vaega o le SiC ma e maualuga fo'i le tulaga lelei.
- E fa'aaogā e le au gaosi oloa ni siaki fa'apitoa e fa'amautinoa ai o lo'o lelei mea uma e fa'apipi'i ai. Latou te fa'ata'ita'iina ma le fa'aeteete ma siaki mea uma. O lenei mea e fa'amautinoa ai o lo'o fa'atuatuaina a latou galuega.
Mamā o Meafaitino ma le Tuufaatasiga mo le 2026 Epitaxial Susceptors
Tulaga maualugaO mea e fa'apipi'i ai le epitaxial graphite SiCi le 2026 e manaʻomia ai le mama atoatoa o meafaitino ma le saʻo o le tuufaatasiga. O nei mea e aʻafia saʻo ai le faʻatinoga ma le faʻatuatuaina o faiga epitaxy a le SiC. E tatau i le au gaosi oloa ona ausia tulaga faʻatonuina malolosi e lagolago ai le gaosiga o semiconductor faʻaleleia.
Tulaga Fa'atonuina o le Vasega o le Graphite Mama Maualuga
O le substrate graphite e fausia ai le faavae o epitaxial susceptors. O lona mama e aʻafia saʻo ai le lelei o vaega SiC ua totoina. I le 2026, e manaʻomia e tulaga faʻatonuina le graphite e matua maualalo lava le aofaʻi o le lefulefu, e masani lava i lalo ifo o le 5 ppm. E faʻamautinoa foʻi e le au gaosi oloa le mafiafia tutusa ma le fausaga lelei o fatu. O nei meatotino e puipuia ai le alu ese o le kasa i le taimi o le gaosiga i le vevela maualuga. Latou te tausia foʻi le tulaga lelei faʻainisinia o le susceptor. O le ausiaina o sea mama maualuga e aofia ai metotia faʻamamāina faʻapitoa.
Stoichiometry o le SiC Coating ma le Tulaga Lelei o le Crystal
O le ufiufi silicon carbide (SiC) e puipuia ai le graphite substrate ma maua ai le fogāeleele e tuputupu aʻe ai. O le faʻatinoga sili ona lelei e manaʻomia ai le saʻo leleiUfiufi SiCstoichiometry. O lona uiga e tatau ona tutusa lelei le fua faatatau o le silicon-i-carbon ma le 1:1. So'o se fa'aletonu e mafai ona fa'aofi ai ni fa'aletonu i totonu o le vaega epitaxial o le SiC. E le gata i lea, e taua tele le tulaga lelei o le tioata o le ufiufi SiC. E tatau ona fa'aalia se fausaga tioata maualuga ma ni fa'aletonu laiti, e pei o fa'aletonu o le fa'aputuga po'o le fa'aletonu. O se ufiufi maualuga e fa'amautinoa ai le tuputupu a'e tutusa o le SiC ma puipuia ai le fa'aleagaina.
Tapula'a o le Fa'aleagaina o Elemene La'ititi
O le fa'aleagaina o elemene laiti e mafua ai se lamatiaga tele i le fa'atinoga o le masini SiC. E o'o lava i ni nai mea leaga e mafai ona avea o ni mea e fa'aopoopo i ai pe fa'atupuina ai ni fa'aletonu e le mana'omia i le ata SiC. Mo le 2026, ua fa'atulaga e le au gaosi ni tapula'a maualalo tele mo elemene u'amea ma mea e le o ni u'amea. Mo se fa'ata'ita'iga, e tatau ona tumau pea le maualuga o le u'amea, nickel, ma le chromium i le vaega i le piliona (ppb). O nei tapula'a fa'apitoa e puipuia ai le fa'aleagaina o le fa'atinoga eletise i masini SiC mulimuli. O metotia fa'apitoa o su'esu'ega e fa'amaonia ai nei tulaga maualalo tele o le fa'aleagaina.
Fa'amausaliina o le Ufiufi Maualuga ma le Tumau o Epitaxial Susceptors
O le tulaga lelei ma le tumau o leUfiufi SiC i luga o le graphite epitaxial susceptorse sili ona taua mo le maualuga ma le tumau o le SiC epitaxy. E taulaʻi atu le au gaosi oloa i ni ufiufi malolosi e tatalia ai siosiomaga faigata o le faʻagasologa ma faʻatumauina o latou meatotino i le tele o taʻamilosaga.
Ogatusa o le mafiafia o le ufiufi
E taua tele le mafiafia tutusa o le ufiufi mo le ausiaina o ni faʻasologa tutusa o le vevela ma le fua faatatau o le tuputupu aʻe i luga o le wafer. O epitaxial susceptors e maualuga le lelei e iai ni eseesega o le mafiafia o le ufiufii lalo ifo o le ±2%i luga o le fogāeleele atoa o le wafer. O lenei sa'o e fa'amautinoa ai o vaega ta'itasi o le wafer e o'o i ai tulaga tutusa o le tuputupu a'e. E le gata i lea, e taumafai le au gaosi oloa mo ni fa'aletonu laiti. E le tatau ona sili atu le mafiafia o fa'aletonu i le 0.1 fa'aletonu/cm² mo vaega e sili atu i le 0.3μm. O lenei pulea lelei e puipuia ai fa'aletonu mai le sosolo atu i vaega SiC o lo'o tuputupu a'e.
Tete'e i le Pipii ma le Delamination
E taua tele le pipii malosi i le va o le ufiufi SiC ma le graphite substrate mo le faʻatinoga umi. O le pipii lelei e mafai ona oʻo atu ai i le delamination, lea e faʻaleagaina ai le faiga ma faʻaleagaina ai le wafer. E faʻaaogaina e le au gaosi oloa auala eseese e iloilo ai le pipii. Latou te fuaina le pipii e ala ifatuina o luga o malepelepe mai papatusi fa'ata'ita'i. O lenei metotia fa'aleagaina e fa'aalia ai le leai o se pipii e ala i le malepelepe o le ufiufi i le vaega ua gau. E le gata i lea, latou te iloiloina le pipii e ala ifa'aaogāina o le fa'ama'i fa'amekanika i luga o le mea ua ufiufiinae siaki ai pe ua ma'e'e pe ua solo ese. O suega tumau e fa'ata'ita'i ai tulaga moni o le lalolagi. O nei suega e iloilo ai le tete'e atu i le ofuina, fa'alavelave fa'avevela, ma le a'afia i vaila'au. O suega mautu fa'avevela e mana'omia ai vali e fa'atumauina ai le tulaga lelei o le fausaga e ala i le ta'amilosaga o le vevela mai le -65°C i le 600°C e aunoa ma le solo ese pe māvaevae.
Fa'aletonu ma le Morphology o le Foliga
O le ma'a'a o le fogāeleele ma le foliga o le ufiufi SiC e a'afia sa'o ai le lelei o le vaega epitaxial. O se fogāeleele lamolemole ma leai ni fa'aletonu e fa'aleleia atili ai le tutusa o le fa'aputuga ma le tuputupu a'e o ata tifaga SiC. E taumafai le au gaosi oloa mo le ma'a'a maualalo tele o le fogāeleele, e masani lava i le laina nanometer. Latou te fa'amautinoa fo'i o lo'o fa'aalia e le ufiufi se foliga tutusa o le crystalline. O lenei mea e puipuia ai le fausiaina o ni fa'atulagaga tioata e le mana'omia po'o ni fa'aletonu i le mea SiC ua totoina. O se fogāeleele e pulea lelei e fa'aitiitia ai le gaosiga o vaega ma fa'aleleia atili ai le aofa'i o le fua o le epitaxy.
Tete'e atu i le 'Erosion ma le Corrosion
E tatau i vali SiC maualuga le tulaga lelei ona faʻaalia le teteʻe tulaga ese i le solo ma le ele. O lenei gafatia e faʻamautinoa ai le umi o le susceptor ma faʻatumauina le mama o le faʻagasologa. O siosiomaga faʻakemikolo malolosi ma le vevela maualuga o le SiC epitaxy e manaʻomia ai le puipuiga malosi.
Ua fa'amaonia e su'esu'ega le maualuga o le tete'e atu o vali CVD SiC i le 'ele. O nei vali e puipuia lelei ai mea e taofia ai le graphite mai mea e 'ele ai e pei oammonia (NH3) ma le chlorine (Cl2) i le vevela maualugaO lenei puipuiga e mafai ai e le susceptor ona faatumauina lona tulaga atoatoa i le faagasologa atoa o le tuputupu aʻe o le epitaxial. O lea maufetuunaʻi e puipuia ai le faaleagaina o meafaitino ma le faaleagaina o vaega SiC o loo tuputupu aʻe.
E matuā suʻesuʻeina e le au gaosi oloa le tumau o le vali. Latou te iloiloina le fua faatatau o le leiloa o le mamafa ma suiga i le maʻaleʻale o le fogaeleele pe a uma ona faʻaalia i tulaga faigata. Mo se faʻataʻitaʻiga, o nisi faʻataʻitaʻiga o le vali SiC o loʻo faʻaalia aifua faatatau o le leiloa o le mamafa e maualalo e pei o le 0.72% ma suiga o le mageso o le fogaeleele e tusa ma le 11.3%. O isi suiga o ufiufi atonu e faaalia ai le maualuga o le fua faatatau o le leiloa o le mamafa, e oo atu i le 1.2%, pe sili atu foi suiga taua o le maaleale o le fogaeleele, e sili atu i le 50%. O nei fua faatatau e fesoasoani i inisinia e faaleleia atili ai le faatulagaina o ufiufi mo le tete'e maualuga.
E lauiloa vali SiC ona o lo latou tete'e atu i le 'ele'elei siosiomaga e matuā ʻeleʻelea, e aofia ai ʻasi ma alkali malolosi. Latou te puipuia lelei le mea e faʻaaogaina mai le faʻaleagaina o vailaʻau ma faʻatumauina le faʻatinoga mautu e tusa lava pe i lalo o tulaga faigata, e fesoasoani i le faʻaleleia atili o le faʻatinoga o vaega ma faʻalauteleina ai le ola tautua.
O lenei le gaoioi fa'akemikolo o le SiC e fa'amautinoa ai o lo'o tumau pea le mautu o le susceptor. E taofia ai ni fa'alavelave fa'akemikolo e ono fa'atupuina ai ni mea leaga pe suia ai fo'i le fogā'ele'ele o le susceptor. O le mea moni, o le tete'e atu i le 'ele ma le 'ele e fesoasoani sa'o lava i le tumau pea o le tulaga lelei o le wafer ma le umi o le ola o le susceptor.
Sa'o o le Fua ma le Mausali Fa'amekanika o Epitaxial Susceptors
Tulaga maualugaO mea e fa'apipi'i ai le epitaxial graphite SiCi le 2026 e manaʻomia ai le saʻo lelei o le fua ma le mautu malosi o le faʻainisinia. O nei uiga e aʻafia saʻo ai le tutusa ma le faʻatuatuaina o le faʻagasologa o le epitaxy a le SiC. E taulaʻi atu le au gaosi oloa i nei vaega e faʻafetaui ai manaʻoga faigata o le gaosiga o semiconductor faʻapitoa.
Fa'apalepale Fa'atusatusa
O fua sa'o e taua tele mo le fa'atinoga sili ona lelei o le susceptor. E fa'amautinoa e le au gaosi oloa ni fa'atagaga matua'i mausali mo fa'atulagaga e pei o le lautele, mafiafia, ma le lamolemole. Mo se fa'ata'ita'iga, o le lamolemole i luga o le susceptor e tatau ona tumau i totonu o ni nai micrometers. O nei fa'atonuga fa'amalosi e fa'amautinoa ai le fa'avevela tutusa ma le tafe tutusa o le kesi i luga o le wafer atoa. So'o se eseesega i fua e mafai ona o'o atu ai i le le tutusa o le tufatufaina o le vevela. O lenei mea e mafua ai le tuputupu a'e tutusa o le SiC layer ma fa'aitiitia ai le gaosiga o masini. O metotia fa'aonaponei o masini ma le fuaina e ausia ai nei tulaga fa'atonuina.
Fa'atusatusaga o le Fa'alauteleina o le Vevela
E tatau ona tutusa lelei le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela o le ufiufi SiC ma le mea e fa'apipi'i ai le graphite. O lenei fa'atulagaina taua e taofia ai le fa'aputuina o le atuatuvale i le taimi o le fa'avevela vave ma le fa'amālūlūina. Afai e matua'i eseese lava fua fa'atatau, e mafai e le atuatuvale o le vevela ona mafua ai ona malepe pe vavae ese le ufiufi SiC mai le graphite. O ia fa'aletonu e fa'aleagaina ai le tulaga lelei o le susceptor ma fa'aleagaina ai le faiga epitaxial. E filifili ma le fa'aeteete e inisinia meafaitino ma fa'aleleia atili faiga o le ufiufi ina ia ausia ai lenei fetaui taua o le fa'alauteleina o le vevela. O lenei mea e fa'amautinoa ai le tumau umi o susceptors epitaxial.
Tete'e atu i le Pi'o ma le Fa'aleagaina
E tatau i epitaxial susceptors ona tausia lo latou foliga sa'o e tusa lava pe i lalo o le vevela tele o le fa'agaioiga, e masani ona sili atu i le 1600°C. O le mea lea e taua tele ai le tete'e atu i le pi'o ma le fa'aleagaina. E mafai e le pi'o ona o'o atu ai i le le tutusa o le vevela o le wafer, le se'e o le wafer, ma le le tutusa lelei o le ata tifaga. E fa'aogaina e le au gaosi oloa ni vasega graphite maualuga, isotropic ma ni metotia fa'apitoa o le ufiufi SiC e fa'aleleia atili ai le malosi o le fausaga. O nei meafaitino ma faiga e fa'aitiitia ai le mamafa i totonu ma puipuia ai suiga o foliga i le taimi e umi ai ona fa'aalia i le vevela maualuga. O lenei mea e fa'amautinoa ai tulaga tutusa o le faiga ma ni vaega epitaxial SiC maualuga le lelei.
Fa'aleleia atili o le Fa'atinoga Fa'avevela o Epitaxial Susceptors
Tulaga maualugaO mea e fa'apipi'i ai le epitaxial graphite SiCi le 2026 e tatau ona faʻaalia le faʻatinoga sili ona lelei o le vevela. O lenei mea e faʻamautinoa ai le tutusa ma le lelei o le epitaxy SiC. E faʻamuamua e le au gaosi oloa meatotino e faʻafaigofie ai le pulea saʻo o le vevela ma le mautu i le taimi o le faagasologa o le tuputupu aʻe.
Fa'avevela ma le Tutusa
E taua tele le lelei o le fa'avevela mo le fesiitaiga lelei o le vevela i totonu o le susceptor. O lenei meatotino e mafai ai ona vave fa'avevela ma fa'amālūlūina ta'amilosaga. E fesoasoani fo'i e fa'atumauina se vevela mautu i luga o le wafer. O le CVD 3C–SiC, o se mea masani mo wafer susceptors i le tuputupu a'e o semiconductor, e fa'aalia ai le maualuga o le fa'avevela. O su'esu'ega i luga o le <111>-oriented CVD 3C–SiC e fa'aalia ai e mafai ona fa'aitiitia lona fa'avevela i fafo atu o le vaalele mai le146.4 W/m·K i le 122.3 W/m·Ka'o latalata atu le lapo'a o le fatu i le 11.04 μm. O le isi ufiufi β-SiC, na gaosia e ala i le CVD, e fa'aalia ai le fa'avevela o le3.2 W/m·K. O lenei mea e faatumauina lona lamolemole o le ±0.2mm e tusa lava pe 1600 °C, e faailoa mai ai lona tumau i le vevela maualuga o le faagasologa o le epitaxy. O le maualuga o le conductivity thermal e puipuia ai vaega vevela ma vaega malulu, lea e mafai ona taitai atu ai i le tuputupu aʻe o le ata tifaga e le tutusa.
Tutusa o le Vevela i le Susceptor
O le ausiaina ma le tausia o le vevela tutusa i luga o le fogāeleele atoa o le susceptor e matuā tāua tele. O le le tutusa o le vevela e mafua ai ona fesuisuiaʻi le saoasaoa o le tuputupu aʻe ma meatotino o meafaitino i luga o le SiC wafer. E mamanuina e le au gaosi oloa ni susceptors ma ni geometries patino ma ni tufatufaga o meafaitino e faʻalauiloa ai le tufatufaina tutusa o le vevela. O meafaigaluega faʻataʻitaʻiga ma faʻataʻitaʻiga faʻavevela e fesoasoani e faʻaleleia atili nei mamanu. O lenei mea e faʻamautinoa ai o vaega uma o le wafer e oʻo i le siosiomaga vevela tutusa. O le tutusa o le vevela tutusa e faʻaliliu saʻo atu ai i le maualuga o le fua o le wafer ma le faʻaleleia atili o le faʻatinoga o le masini.
Mausali o le Emissivity
Fa'asalalauina, o le gafatia o se fogāeleele e faʻasalalau atu ai le malosi o le vevela, e taua tele i le puleaina o le vevela. O le emissivity mautu e faʻamautinoa ai le saʻo o le fuaina o le vevela e ala i pyrometers. E fesoasoani foʻi i le fesiitaiga faifai pea o le vevela i totonu o le reactor. O ufiufi SiC e masani ona faʻaalia ai le maualuga o le emissivity.
| Meafaitino | Fa'asalalauina |
|---|---|
| SiC | 0.8 |
| TaC | 0.3 |
O susceptors e maualuga le tulaga e tausia ai le mautu o le emissivity i le tele o taamilosaga epitaxy. O lenei mea e taofia ai le fesuia'iga o faitauga o le vevela ma fa'amautinoa ai le toe faia o tulaga o le faagasologa. O le fa'aleagaina o le ufiufi po'o suiga o le luga e mafai ona suia ai le emissivity, ma i'u ai i le le tutusa o le faagasologa. O le mea lea, e taula'i atu ai le au gaosi oloa i ufiufi tumau e taofia ai o latou meatotino vaaia i le olaga atoa o lo latou fa'agaioiga.
Puleaina o Gaosiga ma le Fa'amautinoaga o le Tulaga Lelei mo Epitaxial Susceptors
E faʻatino e le au gaosi oloa ni faiga faʻatonutonu ma le faʻamautinoaina o le lelei mo le maualuga o le tulaga leleiO mea e fa'apipi'i ai le epitaxial graphite SiC. O nei faiga e faʻamautinoa ai le faʻatuatuaina o oloa ma le faʻatinoga faifai pea. Latou te faʻataunuʻuina manaʻoga faigata o le gaosiga o semiconductor faʻapitoa.
Toe gaosia ma le Tumau o le Vaega-i-le-Vaega
E taua tele le toe gaosia mo le gaosiga o mea e sili ona lelei. E fa'atulaga e le au gaosi oloa ni faiga fa'atonutonu ma'oti. O nei faiga fa'atonutonu e fa'amautinoa ai le tutusa o meatotino ma le fa'atinoga o meafaitino i vaega uma o gaosiga. Latou te fa'aogaina le fa'atonutonuina o faiga fa'amaumauga (SPC) e mata'ituina ai fa'asologa autu. E aofia ai le tu'ufa'atasiga o meafaitino, le mafiafia o le ufiufi, ma le fa'atagaina o fua. O le sailia pea o meafaitino mata e iai sona sao taua. E fa'aitiitia ai suiga i le oloa mulimuli. O lenei auala fa'aeteete e fa'amautinoa ai o lo'o fa'atinoina e mea uma e tutusa le tulaga maualuga.
Fa'atulagaga o Su'ega e Lē Fa'aleagaina
O faiga fa'atino o su'ega e le fa'aleagaina (NDT) e fa'amaonia ai le lelei o le susceptor e aunoa ma le fa'aleagaina. O su'esu'ega va'aia e fa'ailoa ai ni fa'aletonu po'o ni mea e le tutusa i luga. O su'ega o le Eddy current e iloa ai ni fa'aletonu i lalo o le fogaeleele ma fa'afitauli o le tumau o le ufiufi. O su'ega ultrasonic e mafai ona fa'aalia ai ni avanoa i totonu po'o ni vaega e vaeluaina. O le su'esu'ega X-ray e maua ai se au'ili'iliga auiliili o le fausaga i totonu. O nei su'ega e fa'amautinoa ai o lo'o ausia e susceptors tulaga lelei ma'oti. Latou te puipuia oloa leaga mai le ulufale atu i le filifili sapalai. O lenei auala fa'atino e fa'atumauina ai le maualuga o le fa'atuatuaina o oloa.
Fa'amaoniga ma le Su'esu'eina
O le fa'amaoniga ma le mafai ona su'eina e maua ai le fa'amautinoaga taua o le lelei. E tausisia e le au gaosi oloa tulaga fa'avaomalo e pei o le ISO 9001. O lenei mea e fa'aalia ai le tautino atu i faiga fa'atautaia o le lelei. E maua e tagata ta'itasi se fa'ailoga tulaga ese. O lenei mea e mafai ai ona su'eina atoatoa mai mea mata e o'o atu i le oloa mulimuli. Fa'amaumauina auiliiliga o faiga o gaosiga, taunuuga o asiasiga, ma le amataga o meafaitino. O lenei pepa atoatoa e fa'amautinoa ai le tali atu. E fa'afaigofieina ai fo'i le vave fo'ia o fa'afitauli pe a tula'i mai ni fa'afitauli. O le fa'amaoniga ma le mafai ona su'eina e fausia ai le mautinoa i le lelei ma le fa'atinoga o le oloa.
O le a ausia e le SiC graphite epitaxial susceptors maualuga le tulaga lelei i le 2026 tulaga manaʻomia mo le mama o meafaitino, le atoatoa o le ufiufi, le saʻo o le fua, ma le faʻatinoga o le vevela. O nei alualu i luma e mafai ai ona faʻaleleia atili le faʻaaogaina o le eletise eletise SiC ma isi faʻaoga taua.Tomai fa'apitoa o le ufiufiina o le SiCfa'aleleia atili le tete'e atu i le vevela maualuga ma fa'agasologa fa'akemikolo i le taimi o le MOCVD, fa'aleleia atili ai le lelei ma le tumau o le oloa. O le mamanu fa'aleleia atili o le susceptor e fa'amautinoa ai le tufatufaina tutusa o le vevela, fa'aleleia tu'usa'o ai le lelei o le ata tifaga semiconductor. O lenei mea e tau atu ai i le fa'atinoga sili atu ma le maualuga o le fua mo masini semiconductor.Fa'aleleia atili le malosi fa'amekanika ma le fa'avevela o le vevelae fesoasoani fo'i i le umi o le ola fa'agaoioia ma fa'aitiitia ai le fa'aleagaina.
Fesili e Masani Ona Fesiligia
O le ā le SiC graphite epitaxial susceptor?
O se vaega taua tele lea i le epitaxy a le SiC. E taofia ai le wafer i taimi o faagasologa o le tuputupu aʻe i le vevela maualuga. O loʻo i ai se mea e fai ai le graphite ma se ufiufi puipuia o le SiC. O lenei mamanu e faʻamautinoa ai le faʻavevela tutusa ma puipuia ai le faʻaleagaina.
Aiseā e tāua tele ai le mama o meafaitino mo nei mea e fa'aosofia ai le fe'au?
O le maualuga o le mama o meafaitino e puipuia ai le faʻaleagaina o le vaega epitaxial o le SiC. E mafai e trace elements ona avea o ni dopants e le manaʻomia. Latou te faʻatupuina ni faʻaletonu i meafaitino semiconductor. E taua tele le graphite e matua maualuga le mama ma le stoichiometry saʻo o le ufiufi o le SiC.
E fa'apefea ona a'afia le fa'atinoga o le susceptor ona o le tumau o le ufiufi?
O le tumau lelei o le vali e fa'amautinoa ai le tumau ma le tutusa o tulaga o le fa'agasologa. O le mafiafia tutusa, le pipii malosi, ma le maualalo o le ma'a'a o le fogā'ele'ele e puipuia ai mea sese. E tete'e atu fo'i i le soloia ma le 'ele. O lenei mea e fa'atumauina ai le puipuiga a le susceptor i le aluga o taimi.
O le ā le matafaioi a le faatinoga o le vevela i le lelei o le susceptor?
O le fa'aleleia atili o le fa'atinoga o le vevela e fa'amautinoa ai le tufatufaina tutusa o le vevela i totonu o le wafer. O le maualuga o le conductivity o le vevela ma le mautu o le emissivity e taua tele. O lenei mea e tau atu ai i le tuputupu a'e tutusa o le SiC. E fa'aleleia atili ai fo'i le lelei o vaega epitaxial.
E faʻapefea ona faʻamautinoa e le au gaosi oloa le lelei o epitaxial susceptors?
E fa'aaogā e le au gaosi oloa ni fa'atonutonuga fa'apitoa o le fa'agasologa ma le fa'amautinoaga o le lelei. Latou te fa'atinoina ni faiga fa'ata'ita'i e le fa'aleagaina ai mea. Latou te tausia fo'i le fa'amaoniga atoatoa ma le mafai ona su'eina. O nei fuafuaga e fa'amautinoa ai le toe gaosia ma le fa'atinoga maualuga e tutusa mo masini ta'itasi.
Taimi na lafoina ai: 12-Nov-2025