Li-susceptor tsa SiC graphite epitaxial tsa boleng bo holimo ka 2026 li na le bohloeki bo phahameng ba thepa, botsitso bo nepahetseng ba litekanyo, botšepehi bo tsoetseng pele ba ho roala, le ts'ebetso e ntlafalitsoeng ea mocheso. Litekanyetso tsena tsa bohlokoa li tsamaisa litlhaloso tse thata tsa epitaxy ea SiC ea moloko o latelang. Indasteri e lebelletse kholo e kholo, ka bokhoni ba 200mm ba fab bakeng sa matla le li-semiconductor tsa likoloi, ho kenyeletsoa le lisebelisoa tsa SiC, bo eketsehang ka34% pakeng tsa 2023 le 2026Katoloso ena e totobatsa tlhoko ea bohlokoa ea tsoelo-pelesesebelisoa sa graphitetheknoloji ho tšehetsa litlhoko tsa tlhahiso ea nakong e tlang.
Lintlha tsa Bohlokoa
- Li-susceptor tsa boleng bo holimo li hloka graphite e hloekileng haholo le sekoahelo se phethahetseng sa SiC. Sena se thibela lintho tse mpe ho kena ka har'a mealo ea SiC.
- TheSekoahelo sa SiCe lokela ho ba matla le ho lekana. E lokela ho khomarela hantle 'me e se ke ea tsofala habonolo. Sena se boloka ts'ebetso e hloekile ebile e tsitsitse.
- Li-susceptor li lokela ho ba boholo le sebopeho se nepahetseng hantle. Li lokela ho lula li bataletse leha li chesa haholo. Sena se thusa SiC ho hola ka ho lekana.
- Li-susceptor li lokela ho jala mocheso hantle le ho boloka mocheso o tsitsitse. Sena se etsa bonnete ba hore likarolo tsa SiC li hola hantle 'me li boleng bo holimo.
- Bahlahisi ba sebelisa liteko tse tiileng ho netefatsa hore morekisi e mong le e mong o lokile. Ba ba leka ka hloko mme ba latela ntho e 'ngoe le e 'ngoe. Sena se netefatsa hore ba sebetsa ka mokhoa o tšepahalang.
Bohloeki ba Thepa le Sebopeho sa Li-Susceptor tsa Epitaxial tsa 2026
Boleng bo phahamengLi-susceptor tsa SiC graphite epitaxialka 2026 ho hlokahala bohloeki bo ikhethang ba thepa le sebopeho se nepahetseng. Lintlha tsena li susumetsa ka kotloloho ts'ebetso le ts'epo ea lits'ebetso tsa SiC epitaxy. Bahlahisi ba tlameha ho fihlela maemo a thata ho ts'ehetsa tlhahiso e tsoetseng pele ea semiconductor.
Maemo a Graphite Substrate a Hloekileng ka ho Fetisisa
Karolo e ka tlase ea graphite e theha motheo oa li-susceptor tsa epitaxial. Bohloeki ba eona bo ama ka ho toba boleng ba likarolo tsa SiC tse holisitsoeng. Ka 2026, litekanyetso li hloka graphite e nang le molora o tlase haholo, hangata e ka tlase ho 5 ppm. Bahlahisi ba boetse ba netefatsa hore bongata bo tsitsitseng le sebopeho sa lithollo tse ntle lia tsitsa. Litšobotsi tsena li thibela ho tsoa ha khase nakong ea ts'ebetso ea mocheso o phahameng. Li boetse li boloka botšepehi ba mechini ba susceptor. Ho fihlela bohloeki bo phahameng joalo ho kenyelletsa mekhoa e tsoetseng pele ea ho hloekisa.
SiC Coating Stoichiometry le Boleng ba Crystal
Seaparo sa silicon carbide (SiC) se sireletsa substrate ea graphite mme se fana ka bokaholimo ba kholo. Tshebetso e ntle e hloka ho nepahalaSekoahelo sa SiCstoichiometry. Sena se bolela hore karolelano ea silicon-to-carbon e tlameha ho ba 1:1 hantle. Ho kheloha leha e le hofe ho ka hlahisa liphoso lera la SiC epitaxial. Ho feta moo, boleng ba kristale ba sekoahelo sa SiC bo bohlokoa haholo. E tlameha ho bontša sebopeho se kristale haholo se nang le liphoso tse fokolang, joalo ka liphoso tsa ho bokellana kapa ho falla. Seaparo sa boleng bo holimo se netefatsa kholo ea SiC e ts'oanang 'me se thibela tšilafalo.
Meeli ea Tšilafalo ea Lintho tse Latelang
Tšilafalo ea likarolo tse nyenyane e baka tšokelo e kholo ts'ebetsong ea sesebelisoa sa SiC. Esita le bongata bo bonyenyane ba litšila bo ka sebetsa e le lintho tse sa hlokeng kapa ba baka liphoso tse sa batleheng filiming ea SiC. Bakeng sa 2026, bahlahisi ba beha meeli e tlase haholo bakeng sa likarolo tse nyenyane tsa tšepe le tse seng tsa tšepe. Mohlala, maemo a tšepe, nickel le chromium a tlameha ho lula likarolong ka limilione tse likete (ppb). Meeli ena e tiileng e thibela ho senyeha ha ts'ebetso ea motlakase lisebelisoa tsa ho qetela tsa SiC. Mekhoa e tsoetseng pele ea tlhahlobo e netefatsa maemo ana a litšila a tlase haholo.
Botšepehi bo Tsoetseng Pele ba ho Koahela le ho Tšoarella ha Li-Susceptor tsa Epitaxial
Botšepehi le ho tšoarella haHo koahela SiC holim'a li-susceptor tsa graphite epitaxialke tsa bohlokoa bakeng sa SiC epitaxy e tsitsitseng le ea boleng bo holimo. Bahlahisi ba tsepamisa maikutlo holim'a masela a tiileng a mamellang maemo a thata a ts'ebetso le ho boloka thepa ea 'ona ka mekhahlelo e mengata.
Ho roala botenya Tšoanang
Botenya ba ho roala bo lekanang bo bohlokoa bakeng sa ho fihlella liprofaele tse tsitsitseng tsa mocheso le sekhahla sa kholo ho pholletsa le wafer. Li-susceptor tsa boleng bo holimo tsa epitaxial li na le mefuta e fapaneng ea botenya ba ho roala.ka tlase ho ±2%ho pholletsa le bokaholimo bohle ba wafer. Ho nepahala hona ho netefatsa hore karolo e 'ngoe le e 'ngoe ea wafer e ba le maemo a tšoanang a kholo. Ho feta moo, bahlahisi ba loanela ho ba le liphoso tse fokolang. Bongata ba liphoso ha boa lokela ho feta liphoso tse 0.1/cm² bakeng sa likaroloana tse kholo ho feta 0.3μm. Taolo ena e tiileng e thibela liphoso ho fetela ho mela e ntseng e hola ea SiC.
Ho hanyetsa le ho hanyetsa ho kheloha ha metsamao
Ho khomarela ho matla pakeng tsa sekoahelo sa SiC le substrate ea graphite ho bohlokoa bakeng sa ts'ebetso ea nako e telele. Ho khomarela ho fokolang ho ka lebisa ho qhetsoeng, e leng se silafatsang ts'ebetso le ho senya wafer. Bahlahisi ba sebelisa mekhoa e fapaneng ho lekola ho khomarela. Ba lekanya ho khomarela kaho etsa libaka tse robehileng ho tsoa lipoleiting tsa litekoMokhoa ona o senyang o senola ho hloka ho khomarela ka ho petsoha ha lesela sebakeng se robehileng. Ho feta moo, ba hlahloba ho khomarela kaho sebelisa khatello ea mechine holim'a bokaholimo bo koahetsoengho hlahloba hore na ho na le ho petsoha kapa ho qhaqhoa. Liteko tsa ho tšoarella li etsisa maemo a lefats'e la nnete. Liteko tsena li hlahloba ho hanyetsa ho tsofala, khatello ea mocheso le ho pepesehela lik'hemik'hale. Teko ea botsitso ba mocheso e hloka hore ho koaheloe ho boloka botsitso ba sebopeho ka potoloho ea mocheso ho tloha ho -65°C ho isa ho 600°C ntle le ho qhaqhoa kapa ho petsoha.
Bokgoni ba Bokaholimo le Sebopeho sa Bona
Ho ba thata le sebopeho sa bokaholimo ba sekoahelo sa SiC li susumetsa ka ho toba boleng ba lera la epitaxial. Bokaholimo bo boreleli, bo se nang sekoli bo khothalletsa nucleation e tšoanang le kholo ea lifilimi tsa SiC. Bahlahisi ba ikemiselitse ho ba thata haholo bokaholimong, hangata ho latela nanometer. Ba boetse ba netefatsa hore sekoahelo se bontša sebopeho se tsitsitseng sa kristale. Sena se thibela ho thehoa ha litsela tse sa batleheng tsa kristale kapa likoli thepa ea SiC e holisitsoeng. Bokaholimo bo laoloang hantle bo fokotsa tlhahiso ea likaroloana 'me bo ntlafatsa chai e akaretsang ea ts'ebetso ea epitaxy.
Ho Hanela Khoholeho ea Moroallo le ho Silafala ha Maru
Liaparo tsa SiC tsa boleng bo holimo li tlameha ho bontša ho hanyetsa khoholeho le mafome ka tsela e ikhethang. Bokhoni bona bo netefatsa hore susceptor e phela nako e telele 'me e boloka bohloeki ba ts'ebetso. Litikoloho tse thata tsa lik'hemik'hale le mocheso o phahameng oa SiC epitaxy li hloka tšireletso e matla.
Lithuto li tiisa ho hanyetsa ho hoholo ha lipeipi tsa CVD SiC. Lipeipi tsena li sireletsa ka katleho li-susceptor tsa graphite ho lintho tse senyang tse kangammonia (NH3) le chlorine (Cl2) mochesong o phahamengTšireletso ena e lumella susceptor ho boloka botsitso ba eona nakong eohle ea kholo ea epitaxial. Ho mamella ho joalo ho thibela ho senyeha ha thepa le tšilafalo ea likarolo tse ntseng li hola tsa SiC.
Bahlahisi ba leka ka thata ho tšoarella ha sekoahelo. Ba lekola sekhahla sa tahlehelo ea boima le liphetoho ho hlabang ha bokaholimo ka mor'a ho pepesehela maemo a mabifi. Mohlala, lisampole tse ling tsa sekoahelo sa SiC li bontšasekhahla sa tahlehelo ea boima se tlase ho 0.72% mme ho teteana ha bokaholimo ho fetoha ho ka bang 11.3%. Diphetoho tse ding tsa ho roala di ka bontsha sekgahla se hodimo sa tahlehelo ya boima, se fihlang ho 1.2%, kapa diphetoho tse kgolo tsa ho ba le bokahodimo, tse fetang 50%. Dipalo tsena di thusa baenjiniere ho ntlafatsa dibopeho tsa ho roala bakeng sa kganyetso e hodimo.
Liaparo tsa SiC li tsejoa ka ho hanyetsa ha tsona mafome ka tsela e ikhethanglibakeng tse senyang haholo, ho kenyeletsoa le li-acid tse matla le li-alkali. Li sireletsa substrate ka katleho khoholehong ea lik'hemik'hale 'me li boloka ts'ebetso e tsitsitseng esita le tlas'a maemo a thata, li tlatsetsa ts'ebetsong e ntlafetseng ea likarolo le bophelo bo bolelele ba ts'ebeletso.
Ho se sebetse hantle ha SiC ka lik'hemik'hale ho netefatsa hore susceptor e lula e tsitsitse. E thibela liketso tsa lik'hemik'hale tse ka hlahisang litšila kapa tsa fetola bokaholimo ba susceptor. Qetellong, khoholeho e phahameng le ho hanyetsa mafome li tlatsetsa ka ho toba boleng bo tsitsitseng ba wafer le nako e telele ea ts'ebetso ea susceptor.
Ho nepahala ha Dimensional le Botsitso ba Mekaniki ba Li-Susceptor tsa Epitaxial
Boleng bo phahamengLi-susceptor tsa SiC graphite epitaxialka 2026 ho hlokahala ho nepahala ho ikhethang ha litekanyo le botsitso bo matla ba mechini. Litšobotsi tsena li susumetsa ka ho toba ho ts'oana le ho tšepahala ha ts'ebetso ea SiC epitaxy. Bahlahisi ba tsepamisa maikutlo libakeng tsena ho fihlela litlhoko tse thata tsa tlhahiso e tsoetseng pele ea semiconductor.
Mamello e Tebileng ea Tekanyo
Litekanyo tse nepahetseng ke tsa bohlokoa bakeng sa ts'ebetso e ntle ea susceptor. Bahlahisi ba netefatsa mamello e thata haholo bakeng sa liparamente tse kang bophara, botenya le ho ba bataletseng. Mohlala, ho ba bataletseng holim'a bokaholimo ba susceptor ho tlameha ho lula ka har'a li-micrometer tse 'maloa. Litaolo tsena tse tiileng li netefatsa ho futhumatsa ho ts'oanang le phallo e tsitsitseng ea khase ho pholletsa le wafer eohle. Ho kheloha leha e le hofe ha litekanyo ho ka lebisa kabong ea mocheso e sa lekanang. Sena se fella ka kholo e sa tsitsang ea lera la SiC le ho fokotseha ha chai ea sesebelisoa. Mekhoa e tsoetseng pele ea ho sebetsa le ho lekanya e fihlela litekanyetso tsena tse thata.
Ho bapisa Katoloso ea Thermal
Koefficient ea katoloso ea mocheso ea sekoahelo sa SiC e tlameha ho tšoana hantle le ea substrate ea graphite. Ho hokahanya hona ho bohlokoa ho thibela ho bokellana ha khatello nakong ea potoloho e potlakileng ea ho futhumatsa le ho pholisa. Haeba li-coefficient li fapana haholo, khatello ea mocheso e ka etsa hore sekoahelo sa SiC se petsohe kapa se arohane le graphite. Liphoso tse joalo li beha botšepehi ba susceptor kotsing 'me li silafatsa ts'ebetso ea epitaxial. Baenjiniere ba khetha thepa ka hloko 'me ba ntlafatsa lits'ebetso tsa ho roala ho fihlela ho lumellana hona ha bohlokoa ha katoloso ea mocheso. Sena se netefatsa ho tšoarella ha nako e telele ha li-susceptor tsa epitaxial.
Khanyetso ea Warpage le Deformation
Li-susceptor tsa Epitaxial li tlameha ho boloka sebopeho sa tsona se nepahetseng esita le tlas'a mocheso o feteletseng oa ts'ebetso, hangata li feta 1600°C. Ka hona, ho hanyetsa warpage le ho fetoha ha sebopeho hoa hlokahala. Warpage e ka lebisa ho futhumatseng ha wafer ho sa lekanang, ho thella ha wafer, le ho se tšoane hantle ha filimi. Bahlahisi ba sebelisa maemo a phahameng a graphite, a isotropic graphite le mekhoa e tsoetseng pele ea ho roala ea SiC ho ntlafatsa ho tiea ha sebopeho. Lisebelisoa le lits'ebetso tsena li fokotsa khatello ea ka hare le ho thibela liphetoho tsa sebopeho nakong ea ho pepesehela mocheso o phahameng nako e telele. Sena se netefatsa maemo a ts'ebetso a tsitsitseng le likarolo tsa SiC epitaxial tsa boleng bo holimo.
Tshebetso e Ntlafalitsoeng ea Thermal ea Li-Susceptors tsa Epitaxial
Boleng bo phahamengLi-susceptor tsa SiC graphite epitaxialka 2026 e tlameha ho bonts'a ts'ebetso e ntlafalitsoeng ea mocheso. Sena se netefatsa SiC epitaxy e tsitsitseng le e sebetsang hantle. Bahlahisi ba beha pele thepa e thusang taolo e nepahetseng ea mocheso le botsitso nakong ea ts'ebetso ea kholo.
Ho Tsamaisa Mocheso le ho Tšoana
Ho tsamaisa mocheso hantle ho bohlokoa bakeng sa phetiso e sebetsang hantle ea mocheso ka har'a susceptor. Thepa ena e lumella lipotoloho tse potlakileng tsa ho futhumatsa le ho pholisa. E boetse e thusa ho boloka mocheso o tsitsitseng ho pholletsa le wafer. CVD 3C–SiC, thepa e tloaelehileng bakeng sa susceptors ea wafer kholong ea semiconductor, e bonts'a ho tsamaisa mocheso ho phahameng. Lithuto ho CVD 3C–SiC e shebaneng le <111> li bontša hore ho tsamaisa mocheso oa eona oa kantle ho naha ho ka fokotseha ho tloha ho146.4 W/m·K ho isa ho 122.3 W/m·Kha boholo ba koro bo atamela 11.04 μm. Seaparo se seng sa β-SiC, se hlahisitsoeng ka CVD, se bonts'a ho tsamaisa mocheso ha3.2 W/m·K. Thepa ena e boloka ho ba bataletse ha ± 0.2mm esita le ho 1600 °C, e leng se bontšang botsitso ba eona mochesong o phahameng oa ts'ebetso ea epitaxy. Ho khanna ho phahameng ha mocheso ho thibela libaka tse chesang le libaka tse batang, tse ka lebisang kholong ea filimi e sa lekanang.
Ho Tšoana ha Mocheso ho Pholletsa le Susceptor
Ho fihlella le ho boloka mocheso o ts'oanang holim'a bokaholimo bohle ba susceptor ke habohlokoa haholo. Lithempereichara tse sa ts'oanang li baka liphetoho tsa sekhahla sa kholo le thepa ea thepa ho pholletsa le wafer ea SiC. Bahlahisi ba rala susceptors tse nang le li-geometri tse ikhethileng le kabo ea thepa ho khothaletsa kabo e lekanang ea mocheso. Lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa ho etsa mohlala oa mocheso le tsa ketsiso li thusa ho ntlafatsa meralo ena. Sena se netefatsa hore karolo e 'ngoe le e 'ngoe ea wafer e ba le tikoloho e tšoanang ea mocheso. Ho tšoana ha mocheso ho tsitsitseng ho fetolela ka ho toba tlhahiso e phahameng ea wafer le ts'ebetso e ntlafetseng ea sesebelisoa.
Ho tsitsa ha moea
Ho ntša metsi, bokhoni ba bokaholimo ba ho ntša matla a mocheso, bo phetha karolo ea bohlokoa taolong ea mocheso. Ho ntša mocheso ho tsitsitseng ho netefatsa tekanyo e nepahetseng ea mocheso ka li-pyrometer. E boetse e thusa phetisong e tsitsitseng ea mocheso ka har'a reactor. Liaparo tsa SiC hangata li bontša ho ntša mocheso ho phahameng.
| Thepa | Ho ntša metsi |
|---|---|
| SiC | 0.8 |
| TaC | 0.3 |
Li-susceptor tsa boleng bo holimo li boloka boleng bo tsitsitseng ba ho ntša metsi nakong ea lipotoloho tse ngata tsa epitaxy. Sena se thibela ho thella ha lipalo tsa mocheso 'me se netefatsa maemo a ts'ebetso a ka phetoang. Ho senyeha ha sekoaelo kapa liphetoho tsa bokaholimo ho ka fetola ho ntša metsi, e leng se lebisang ho se lumellaneng ha ts'ebetso. Ka hona, bahlahisi ba tsepamisa maikutlo ho likoaelo tse tšoarellang tse bolokang thepa ea tsona ea mahlo nakong eohle ea ts'ebetso ea bona.
Taolo ea Tlhahiso le Tiisetso ea Boleng bakeng sa Li-Susceptor tsa Epitaxial
Bahlahisi ba kenya tshebetsong taolo e matla le mehato ya netefatso ya boleng bakeng sa boleng bo hodimoLi-susceptor tsa SiC graphite epitaxialMekhoa ena e netefatsa botšepehi ba sehlahisoa le ts'ebetso e tsitsitseng. E fihlela litlhoko tse thata tsa tlhahiso e tsoetseng pele ea semiconductor.
Ho Ikatisa Hape le ho Tsitsisa ho Batch-to-Batch
Ho ikatisa hape ho bohlokoa bakeng sa ho etsa li-susceptor tsa boleng bo holimo. Bahlahisi ba theha taolo e tiileng ea ts'ebetso. Litaolo tsena li netefatsa thepa e tsitsitseng ea thepa le ts'ebetso ho pholletsa le lihlopha tsohle tsa tlhahiso. Ba sebelisa taolo ea ts'ebetso ea lipalo-palo (SPC) ho lekola liparamente tsa bohlokoa. Sena se kenyelletsa sebopeho sa thepa, botenya ba ho roala, le mamello ea litekanyo. Ho fumana thepa e tala ka mokhoa o tsitsitseng le hona ho bapala karolo ea bohlokoa. E fokotsa liphapang sehlahisoa sa ho qetela. Mokhoa ona o hlokolosi o tiisa hore susceptor e 'ngoe le e 'ngoe e sebetsa ka mokhoa o tšoanang o phahameng.
Mekhoa ea Teko e sa Senyeheng
Mekhoa ea liteko tse sa senyeheng (NDT) e netefatsa boleng ba susceptor ntle le ho baka tšenyo. Litlhahlobo tse bonahalang li khetholla liphoso tsa bokaholimo kapa ho se phethahale. Teko ea hona joale ea Eddy e lemoha liphoso tsa bokaholimo le mathata a botšepehi ba ho koahela. Teko ea Ultrasonic e ka senola likheo tsa ka hare kapa ho arohana. Tlhahlobo ea X-ray e fana ka tlhahlobo e qaqileng ea sebopeho sa ka hare. Liteko tsena li netefatsa hore susceptor e fihlela litlhaloso tse thata tsa boleng. Li thibela lihlahisoa tse nang le liphoso ho kena ketane ea phepelo. Mokhoa ona oa ho sebetsa ka thata o boloka ts'epo e phahameng ea sehlahisoa.
Setifikeiti le ho Latela Moralo
Setifikeiti le ho sala morao ho fana ka netefatso ea bohlokoa ea boleng. Bahlahisi ba latela maemo a machaba joalo ka ISO 9001. Sena se bontša boitlamo litsamaisong tsa tsamaiso ea boleng. Mohlahisi e mong le e mong o fumana sesupo se ikhethang. Sena se lumella ho sala morao ho felletseng ho tloha thepa e tala ho ea sehlahisoa sa ho qetela. Se tlaleha lits'ebetso tsa tlhahiso ka botlalo, liphetho tsa tlhahlobo le tšimoloho ea thepa. Litokomane tsena tse felletseng li netefatsa boikarabello. E boetse e nolofalletsa ho rarolla mathata kapele haeba ho hlaha mathata. Setifikeiti le ho sala morao ho haha kholiseho boleng le ts'ebetso ea sehlahisoa.
Li-susceptor tsa SiC graphite epitaxial tsa boleng bo holimo ka 2026 li tla fihlela litekanyetso tse thata tsa bohloeki ba thepa, botšepehi ba ho koahela, ho nepahala ha boholo le ts'ebetso ea mocheso. Tsoelo-pele ena e nolofalletsa tsoelo-pele ea lisebelisoa tsa motlakase tsa SiC le lits'ebetso tse ling tsa bohlokoa.Mekhoa e tsoetseng pele ea ho koahela SiCho eketsa ho hanyetsa mocheso o phahameng le dikarabelo tsa dikhemikhale nakong ya MOCVD, ho ntlafatsa bokgoni ba sehlahiswa le ho tshwarella. Moralo o ntlafaditsweng wa susceptor o netefatsa kabo e tshwanang ya mocheso, ho ntlafatsa boleng ba filimi ya semiconductor ka ho toba. Sena se lebisa tshebetsong e betere le tlhahiso e phahameng bakeng sa disebediswa tsa semiconductor.Matla a ntlafalitsoeng a mechini le ho tsamaisa mochesohape e tlatsetsa bophelong bo bolelele ba ts'ebetso le ho fokotsa tšilafalo.
LBH
Sesebelisi sa SiC graphite epitaxial susceptor ke eng?
Ke karolo ea bohlokoa ho SiC epitaxy. E tšoara wafer nakong ea lits'ebetso tsa kholo ea mocheso o phahameng. E na le substrate ea graphite e nang le sekoahelo se sireletsang sa SiC. Moralo ona o netefatsa ho futhumala ho tšoanang le ho thibela tšilafalo.
Ke hobane'ng ha bohloeki ba lintho tse bonahalang bo le bohlokoa bakeng sa batšoasi bana?
Bohloeki bo phahameng ba thepa bo thibela tšilafalo ea lera la SiC epitaxial. Lintho tse ka morao li ka sebetsa e le lintho tse sa batleheng. Li baka likoli thepa ea semiconductor. Graphite e hloekileng haholo le stoichiometry e nepahetseng ea ho koahela SiC lia hlokahala.
Botšepehi ba ho koahela bo ama ts'ebetso ea susceptor joang?
Ho tšepahala ha ho koahela ho netefatsa ho tšoarella le maemo a ts'ebetso a tsitsitseng. Botenya bo ts'oanang, ho khomarela ho matla, le ho se be le bokaholimo bo tlase ho thibela liphoso. E boetse e hanela khoholeho le mafome. Sena se boloka ts'ebetso ea tšireletso ea susceptor ha nako e ntse e ea.
Tshebetso ea mocheso e bapala karolo efe boleng ba susceptor?
Tshebetso e ntlafetseng ya mocheso e netefatsa kabo e tshwanang ya mocheso ho pholletsa le wafer. Ho tsamaisa mocheso ka matla le ho ntsha metsi ka botsitso ke tsa bohlokwa. Sena se lebisa ditefellong tse tsitsitseng tsa kgolo ya SiC. Hape se ntlafatsa boleng ba dikarolo tsa epitaxial.
Bahlahisi ba netefatsa boleng ba li-susceptor tsa epitaxial joang?
Bahlahisi ba sebelisa taolo e tiileng ea ts'ebetso le netefatso ea boleng. Ba kenya tšebetsong mekhoa ea liteko e sa senyeheng. Ba boetse ba boloka setifikeiti se felletseng le ho latelwa ha eona. Mehato ena e netefatsa ho ikatisa hape le ts'ebetso e phahameng e tsitsitseng bakeng sa mohanyetsi e mong le e mong.
Nako ea poso: Pulungoana-12-2025