Ma susceptor apamwamba kwambiri a SiC graphite epitaxial mu 2026 ali ndi kuyera kwapamwamba kwa zinthu, kukhazikika kolondola kwa mawonekedwe, kulimba kwapamwamba kwa utoto, komanso magwiridwe antchito abwino kwambiri a kutentha. Izi ndizofunikira kwambiri zomwe zimapangitsa kuti SiC epitaxy ya m'badwo wotsatira ikhale yofunika kwambiri. Makampaniwa akuyembekeza kukula kwakukulu, ndi mphamvu yopangidwa ya 200mm yamagetsi ndi ma semiconductors amagalimoto, kuphatikiza zida za SiC, ikuwonjezeka ndi34% pakati pa 2023 ndi 2026Kukula kumeneku kukuwonetsa kufunikira kwakukulu kwa zinthu zotsogolachotsukira graphiteukadaulo wothandiza pa zosowa zopangira zinthu mtsogolo.
Mfundo Zofunika Kwambiri
- Ma susceptor apamwamba kwambiri amafunikira graphite yoyera kwambiri komanso chophimba cha SiC chabwino kwambiri. Izi zimaletsa zinthu zoyipa kulowa mu zigawo za SiC.
- TheChophimba cha SiCIyenera kukhala yolimba komanso yofanana. Iyenera kumamatira bwino komanso kuti isawonongeke mosavuta. Izi zimapangitsa kuti ntchitoyi ikhale yoyera komanso yogwirizana.
- Ma susceptor ayenera kukhala ndi kukula ndi mawonekedwe oyenera. Ayenera kukhala osalala ngakhale kutentha kwambiri. Izi zimathandiza kuti SiC ikule mofanana.
- Ma susceptor ayenera kufalitsa kutentha bwino ndikusunga kutentha kokhazikika. Izi zimatsimikizira kuti zigawo za SiC zikula bwino komanso ndizabwino kwambiri.
- Opanga amagwiritsa ntchito macheke okhwima kuti atsimikizire kuti wogwiritsa ntchito aliyense ali bwino. Amawayesa mosamala ndikutsatira chilichonse. Izi zimatsimikizira kuti amagwira ntchito modalirika.
Kuyera ndi Kuphatikizika kwa Zinthu za 2026 Epitaxial Susceptors
Mapangidwe apamwambaSiC graphite epitaxial susceptorsMu 2026, zimafuna kuyera kwapadera kwa zinthu ndi kapangidwe kolondola. Zinthu izi zimakhudza mwachindunji magwiridwe antchito ndi kudalirika kwa njira za SiC epitaxy. Opanga ayenera kukwaniritsa miyezo yokhwima kuti athandizire kupanga kwapamwamba kwa semiconductor.
Miyezo Yotsika Kwambiri ya Graphite Substrate
Gawo la graphite limapanga maziko a epitaxial susceptors. Kuyera kwake kumakhudza mwachindunji ubwino wa zigawo za SiC zomwe zakula. Mu 2026, miyezo imafuna graphite yokhala ndi phulusa lochepa kwambiri, nthawi zambiri pansi pa 5 ppm. Opanga amaonetsetsanso kuti kuchuluka kwa phulusa kumakhala kofanana komanso kapangidwe kake ka tirigu wabwino. Makhalidwe amenewa amaletsa kutuluka kwa gasi panthawi yokonza kutentha kwambiri. Amasunganso umphumphu wa makina a susceptor. Kukwaniritsa kuyera kwakukulu kotereku kumaphatikizapo njira zamakono zoyeretsera.
SiC Coating Stoichiometry ndi Crystal Quality
Chophimba cha silicon carbide (SiC) chimateteza gawo la graphite ndipo chimapereka malo okulirapo. Kuchita bwino kwambiri kumafuna kulondolaChophimba cha SiCstoichiometry. Izi zikutanthauza kuti chiŵerengero cha silicon-to-carbon chiyenera kukhala 1:1. Kupatuka kulikonse kungayambitse zolakwika mu SiC epitaxial layer. Kuphatikiza apo, mtundu wa kristalo wa chophimba cha SiC ndi wofunika kwambiri. Chiyenera kuwonetsa kapangidwe ka kristalo kwambiri kopanda zolakwika zambiri, monga zolakwika zomangira kapena kusuntha. Chophimba chapamwamba kwambiri chimatsimikizira kukula kofanana kwa SiC ndikuletsa kuipitsidwa.
Malire Okhudzana ndi Kuipitsidwa kwa Zinthu Zotsatira
Kuipitsidwa kwa zinthu zotsalira kumaika pachiwopsezo chachikulu pakugwira ntchito kwa chipangizo cha SiC. Ngakhale kuchuluka kochepa kwa zinthu zosayenera kumatha kugwira ntchito ngati zinthu zotsalira kapena kupanga zolakwika zosafunikira mu filimu ya SiC. Mu 2026, opanga amaika malire otsika kwambiri a zinthu zotsalira zachitsulo ndi zosakhala zachitsulo. Mwachitsanzo, kuchuluka kwa chitsulo, nickel, ndi chromium kuyenera kukhalabe mu gawo lililonse la magawo biliyoni (ppb). Malire okhwima awa amaletsa kuwonongeka kwa magwiridwe antchito amagetsi mu zida zomaliza za SiC. Njira zapamwamba zowunikira zimatsimikizira kuchuluka kwa kuipitsidwa kumeneku komwe kumakhala kochepa kwambiri.
Kukhazikika Kwambiri ndi Kulimba kwa Epitaxial Susceptors
Umphumphu ndi kulimba kwaKuphimba kwa SiC pa graphite epitaxial susceptorsNdiwofunika kwambiri pa SiC epitaxy yokhazikika komanso yapamwamba. Opanga amayang'ana kwambiri zophimba zolimba zomwe zimapirira malo ovuta okonzera ndikusunga mawonekedwe awo nthawi zambiri.
Kuphimba makulidwe ofanana
Kukhuthala kofanana kwa chophimba ndikofunikira kwambiri kuti pakhale kutentha kofanana komanso kuchuluka kwa kukula kwa chivundikirocho. Ma susceptor apamwamba kwambiri a epitaxial ali ndi makulidwe osiyanasiyana.pansi pa ±2%pamwamba pa wafer yonse. Kulondola kumeneku kumatsimikizira kuti gawo lililonse la wafer limakula mofanana. Kuphatikiza apo, opanga amayesetsa kuti pakhale zolakwika zochepa. Kuchulukana kwa zolakwika sikuyenera kupitirira 0.1 zolakwika/cm² pa tinthu tating'onoting'ono toposa 0.3μm. Kuwongolera kokhwima kumeneku kumaletsa zolakwika kusamutsira ku zigawo za SiC zomwe zikukula.
Kukana Kugwirizana ndi Kusasinthasintha
Kugwirizana kwakukulu pakati pa chophimba cha SiC ndi graphite substrate ndikofunikira kuti ntchito iyende bwino kwa nthawi yayitali. Kusagwirizana bwino kungayambitse kusokonekera kwa pulasitiki, zomwe zimadetsa ndondomekoyi ndikuwononga wafer. Opanga amagwiritsa ntchito njira zosiyanasiyana kuti ayese kukhudzana. Amayesa kukhudzana ndikupanga malo osweka kuchokera ku ma test platesNjira yowononga iyi ikuwonetsa kusowa kwa kumamatira kudzera mukuphwanyika kwa chophimba pamalo osweka. Kuphatikiza apo, amawunika kumamatira pogwiritsa ntchitokugwiritsa ntchito mphamvu yamakina pamwamba pake yokutidwakuti muwone ngati pali kung'ambika kapena kudulidwa. Mayeso okhazikika amatsanzira momwe zinthu zilili padziko lapansi. Mayesowa amayesa kukana kuwonongeka, kupsinjika kwa kutentha, komanso kuwonetsedwa ndi mankhwala. Mayeso okhazikika pa kutentha amafuna zokutira kuti zisunge umphumphu wa kapangidwe kake kudzera mu kutentha kuyambira -65°C mpaka 600°C popanda kudulidwa kapena kusweka.
Kukhwima kwa Pamwamba ndi Kapangidwe kake
Kukhwima kwa pamwamba ndi mawonekedwe a chophimba cha SiC zimakhudza mwachindunji ubwino wa epitaxial layer. Malo osalala, opanda chilema amalimbikitsa nucleation yofanana ndi kukula kwa mafilimu a SiC. Opanga cholinga chawo ndi kukhwima kochepa kwambiri pamwamba, makamaka mu nanometer range. Amaonetsetsanso kuti chophimbacho chikuwonetsa mawonekedwe ofanana a kristalo. Izi zimaletsa kupangika kwa mawonekedwe osafunikira a kristalo kapena zolakwika muzinthu za SiC zomwe zakula. Malo olamulidwa bwino amachepetsa kupanga tinthu tating'onoting'ono ndikuwonjezera phindu lonse la njira ya epitaxy.
Kukana Kukutha kwa Madzi ndi Kudzikundikira kwa Madzi
Zophimba za SiC zapamwamba kwambiri ziyenera kusonyeza kukana kwambiri kukokoloka ndi dzimbiri. Mphamvu imeneyi imatsimikizira kuti chotetezacho chimakhala ndi moyo wautali komanso chimasunga ukhondo wa ntchito. Malo ovuta okhala ndi mankhwala komanso kutentha kwambiri kwa SiC epitaxy kumafuna chitetezo champhamvu.
Kafukufuku akutsimikizira kuti zophimba za CVD SiC sizimawononga kwambiri. Zophimba zimenezi zimateteza bwino zinthu zoteteza graphite ku zinthu zowononga mongaammonia (NH3) ndi chlorine (Cl2) pa kutentha kwakukuluChitetezochi chimalola choteteza kuti chikhalebe cholimba nthawi yonse yomwe chikukula. Kulimba koteroko kumateteza kuwonongeka kwa zinthu ndi kuipitsidwa kwa zigawo za SiC zomwe zikukula.
Opanga amayesa mwamphamvu kulimba kwa chophimba. Amayesa kuchuluka kwa kutayika kwa unyinji ndi kusintha kwa kuuma kwa pamwamba atatha kukhudzidwa ndi zinthu zoopsa. Mwachitsanzo, zitsanzo zina za chophimba cha SiC zimasonyezakuchuluka kwa kutayika kwa unyinji kumakhala kotsika kufika pa 0.72% ndipo kukhwima kwa pamwamba kumasintha pafupifupi 11.3%. Mitundu ina ya utoto ingasonyeze kuchuluka kwa kutayika kwa unyinji, kufika pa 1.2%, kapena kusintha kwakukulu kwa makulidwe a pamwamba, kupitirira 50%. Ziwerengero izi zimathandiza mainjiniya kukonza mapangidwe a utoto kuti azitha kupirira kwambiri.
Zophimba za SiC zimadziwika chifukwa cha kukana kwawo dzimbiri kwapaderam'malo owononga kwambiri, kuphatikizapo ma asidi amphamvu ndi ma alkali. Amateteza bwino gawo lapansi ku kuwonongeka kwa mankhwala ndipo amasunga magwiridwe antchito okhazikika ngakhale m'mikhalidwe yovuta, zomwe zimathandiza kuti magwiridwe antchito a zigawo azikhala ochulukirapo komanso kuti ntchitoyo ikhale yayitali.
Kusagwira ntchito kwa mankhwala kwa SiC kumeneku kumapangitsa kuti susceptor ikhale yokhazikika. Kumaletsa zochita za mankhwala zomwe zingabweretse zinyalala kapena kusintha pamwamba pa susceptor. Pamapeto pake, kukokoloka bwino komanso kukana dzimbiri zimathandiza mwachindunji kuti susceptor ikhale yabwino komanso kuti ikhale ndi nthawi yayitali yogwira ntchito.
Kulondola Kwambiri ndi Kukhazikika kwa Makina a Epitaxial Susceptors
Mapangidwe apamwambaSiC graphite epitaxial susceptorsMu 2026 zimafuna kulondola kwapadera komanso kukhazikika kwa makina. Zinthu izi zimakhudza mwachindunji kufanana ndi kudalirika kwa njira ya SiC epitaxy. Opanga amayang'ana kwambiri madera awa kuti akwaniritse zofunikira zolimba za kupanga ma semiconductor apamwamba.
Kulekerera Kolimba Kwambiri
Miyeso yolondola ndi yofunika kwambiri kuti susceptor igwire bwino ntchito. Opanga amaonetsetsa kuti pali kulekerera kolimba kwambiri pazigawo monga m'mimba mwake, makulidwe, ndi kusalala. Mwachitsanzo, kusalala pamwamba pa susceptor kuyenera kukhala mkati mwa ma micrometer angapo. Kuwongolera kokhwima kumeneku kumatsimikizira kutentha kofanana komanso kuyenda kwa mpweya kosasinthasintha mu wafer yonse. Kupatuka kulikonse mu miyeso kungayambitse kufalikira kwa kutentha kosagwirizana. Izi zimapangitsa kuti kukula kwa SiC kusasinthasintha komanso kuchepa kwa kukolola kwa chipangizocho. Njira zamakono zopangira ndi kuyeza zimakwaniritsa miyezo yolondola iyi.
Kufananiza Kutentha kwa Kutentha
Kuchuluka kwa kutentha kwa chophimba cha SiC kuyenera kufanana ndi kwa graphite substrate. Kulinganiza kofunikira kumeneku kumaletsa kusungunuka kwa kupsinjika panthawi yotenthetsera mwachangu komanso yozizira. Ngati ma coefficients amasiyana kwambiri, kupsinjika kwa kutentha kungayambitse kuti chophimba cha SiC chisweke kapena kufalikira kuchokera ku graphite. Zolakwika zotere zimawononga umphumphu wa susceptor ndikuipitsa njira ya epitaxial. Mainjiniya amasankha mosamala zipangizo ndikukonza njira zophikira kuti akwaniritse kuyanjana kofunikira kwa kutentha kumeneku. Izi zimatsimikizira kuti ma susceptors a epitaxial azikhala olimba kwa nthawi yayitali.
Kukana kwa Warpage ndi Kusintha kwa Maonekedwe
Ma susceptor a Epitaxial ayenera kusunga mawonekedwe awo enieni ngakhale kutentha kwambiri, nthawi zambiri kupitirira 1600°C. Chifukwa chake, kukana kupotoza ndi kusintha kwa zinthu ndikofunikira. Kupotoza kungayambitse kutentha kwa wafer kosagwirizana, kutsetsereka kwa wafer, komanso kufanana kwa filimu. Opanga amagwiritsa ntchito njira zapamwamba kwambiri, ma graphite a isotropic komanso njira zapamwamba zokutira za SiC kuti awonjezere kulimba kwa kapangidwe kake. Zipangizo ndi njirazi zimachepetsa kupsinjika kwamkati ndikuletsa kusintha kwa mawonekedwe panthawi yotentha kwambiri. Izi zimatsimikizira kuti zinthu zikuyenda bwino komanso zigawo zapamwamba za SiC epitaxial zimakhala zapamwamba.
Kugwira Ntchito Kwabwino Kwambiri kwa Ma Epitaxial Susceptors
Mapangidwe apamwambaSiC graphite epitaxial susceptorsMu 2026, kutentha kwa SiC epitaxy kuyenera kuwonetsa bwino. Izi zimatsimikizira kuti kutentha kwa SiC epitaxy kumakhala koyenera komanso kogwira mtima. Opanga amaika patsogolo zinthu zomwe zimathandiza kuwongolera kutentha molondola komanso kukhazikika panthawi yokukula.
Kutentha ndi Kufanana kwa Kutentha
Kupereka mphamvu yabwino kwambiri ya kutentha ndikofunikira kwambiri kuti kutentha kusamutsidwe bwino mkati mwa susceptor. Izi zimathandiza kuti kutentha kuzizire mwachangu komanso mozungulira. Zimathandizanso kuti kutentha kukhale kokhazikika pa wafer. CVD 3C–SiC, chinthu chodziwika bwino cha susceptors ya wafer mu kukula kwa semiconductor, chikuwonetsa mphamvu ya kutentha kwambiri. Kafukufuku pa <111>-oriented CVD 3C–SiC akuwonetsa kuti mphamvu yake ya kutentha imatha kuchepa kuchokera146.4 W/m·K mpaka 122.3 W/m·Kpamene kukula kwa tinthu tating'onoting'ono kukuyandikira 11.04 μm. Chophimba china cha β-SiC, chopangidwa kudzera mu CVD, chikuwonetsa kutentha kwa3.2 W/m·K. Chida ichi chimasunga kusalala kwa ±0.2mm ngakhale pa 1600 °C, kusonyeza kukhazikika kwake pa kutentha kwakukulu kwa epitaxy process. Kutentha kwambiri kumaletsa malo otentha ndi malo ozizira, zomwe zingayambitse kukula kwa filimu yosagwirizana.
Kufanana kwa Kutentha Kudutsa pa Susceptor
Kukwaniritsa ndi kusunga kutentha kofanana pamwamba pa susceptor yonse ndikofunikira kwambiri. Kutentha kosagwirizana kumapangitsa kusiyana kwa kukula ndi mawonekedwe a zinthu pa SiC wafer. Opanga amapanga susceptors okhala ndi geometries yapadera ndi kugawa kwa zinthu kuti alimbikitse kugawa kutentha kofanana. Zipangizo zamakono zoyezera kutentha ndi zoyeserera zimathandiza kukonza mapangidwe awa. Izi zimatsimikizira kuti gawo lililonse la wafer limakhala ndi kutentha komweko. Kufanana kwa kutentha nthawi zonse kumatanthauza mwachindunji kuti wafer ikhale ndi mphamvu zambiri komanso magwiridwe antchito abwino a chipangizocho.
Kukhazikika kwa Emissivity
Kutulutsa mpweya, kuthekera kwa pamwamba kutulutsa mphamvu ya kutentha, kumachita gawo lofunika kwambiri pakulamulira kutentha. Kutulutsa mpweya kokhazikika kumatsimikizira kuyeza kutentha kolondola pogwiritsa ntchito ma pyrometer. Zimathandizanso kuti kutentha kusamutsidwe nthawi zonse mkati mwa reactor. Zophimba za SiC nthawi zambiri zimakhala ndi kutulutsa mpweya wambiri.
| Zinthu Zofunika | Kutulutsa mpweya |
|---|---|
| SiC | 0.8 |
| TaC | 0.3 |
Ma susceptor apamwamba kwambiri amakhala ndi mphamvu zokhazikika zotulutsa mpweya nthawi zambiri. Izi zimalepheretsa kusinthasintha kwa kutentha ndipo zimapangitsa kuti zinthu zibwererenso. Kuwonongeka kwa utoto kapena kusintha kwa pamwamba kumatha kusintha kutulutsa mpweya, zomwe zimapangitsa kuti zinthu zisagwirizane. Chifukwa chake, opanga amayang'ana kwambiri zophimba zokhazikika zomwe zimasunga mawonekedwe awo a kuwala nthawi yonse yomwe amagwira ntchito.
Kuwongolera Kupanga ndi Kutsimikizira Ubwino wa Ma Epitaxial Susceptors
Opanga amagwiritsa ntchito njira zowongolera mwamphamvu komanso zotsimikizira khalidwe kuti akhale ndi khalidwe labwino kwambiriSiC graphite epitaxial susceptorsMachitidwe amenewa amatsimikizira kudalirika kwa zinthu ndi magwiridwe antchito okhazikika. Amakwaniritsa zofunikira zofunika kwambiri popanga zinthu zapamwamba za semiconductor.
Kubwerezabwereza ndi Kugwirizana kwa Batch-to-Batch
Kuberekanso n'kofunika kwambiri popanga zinthu zapamwamba kwambiri. Opanga amapanga njira zowongolera zokhwima. Izi zimatsimikizira kuti zinthuzo zimakhala ndi makhalidwe abwino komanso magwiridwe antchito abwino pamitundu yonse yopanga. Amagwiritsa ntchito njira zowerengera (SPC) kuti aziyang'anira magawo ofunikira. Izi zikuphatikizapo kapangidwe ka zinthu, makulidwe a zokutira, ndi kulekerera kwa miyeso. Kupeza zinthu zobiriwira nthawi zonse kumachitanso gawo lofunika kwambiri. Kumachepetsa kusiyana kwa zinthu zomaliza. Njira yosamala iyi imatsimikizira kuti munthu aliyense amachita zinthu mofanana.
Ma Protocol Oyesera Osawononga
Ma protocol oyesa osawononga (NDT) amatsimikiza mtundu wa susceptor popanda kuwononga. Kuyang'ana kowoneka bwino kumazindikira zolakwika kapena zolakwika pamwamba. Kuyesa kwa Eddy current kumazindikira zolakwika pansi pa nthaka ndi mavuto a umphumphu wa kupaka. Kuyesa kwa Ultrasound kumatha kuwulula mipata yamkati kapena madera. Kuyang'ana kwa X-ray kumapereka kusanthula kwatsatanetsatane kwa kapangidwe ka mkati. Mayeso awa amatsimikizira kuti susceptor akukwaniritsa zofunikira zamtundu wokhwima. Amaletsa zinthu zolakwika kulowa mu unyolo woperekera. Njira yodziwira izi imasunga kudalirika kwakukulu kwa zinthu.
Chitsimikizo ndi Kutsata
Satifiketi ndi kutsata bwino zinthu zimapereka chitsimikizo chofunikira cha khalidwe. Opanga amatsatira miyezo yapadziko lonse lapansi monga ISO 9001. Izi zikusonyeza kudzipereka kwawo ku machitidwe oyang'anira khalidwe. Wogulitsa aliyense amalandira chizindikiritso chapadera. Izi zimathandiza kuti zinthu zitsatidwe bwino kuyambira pa zopangira mpaka pa chinthu chomaliza. Zimalemba mwatsatanetsatane njira zopangira, zotsatira za kuwunika, ndi komwe zinthuzo zinachokera. Zolemba zonsezi zimatsimikizira kuti munthu ali ndi udindo. Zimathandizanso kuthetsa mavuto mwachangu ngati pabuka mavuto. Satifiketi ndi kutsata bwino zinthu zimalimbitsa chidaliro pa khalidwe ndi magwiridwe antchito a chinthucho.
Ma susceptor apamwamba kwambiri a SiC graphite epitaxial mu 2026 adzakwaniritsa zofunikira zolimba za kuyera kwa zinthu, kulimba kwa utoto, kulondola kwa mawonekedwe, komanso magwiridwe antchito a kutentha. Kupita patsogolo kumeneku kumalola kupita patsogolo kwa zamagetsi zamagetsi a SiC ndi ntchito zina zofunika.Njira zapamwamba zophikira za SiCkumawonjezera kukana kutentha kwambiri ndi zochita za mankhwala panthawi ya MOCVD, kukulitsa magwiridwe antchito ndi kulimba kwa zinthu. Kapangidwe kabwino ka susceptor kamaonetsetsa kuti kutentha kumafalikira mofanana, ndikukweza mwachindunji khalidwe la filimu ya semiconductor. Izi zimapangitsa kuti zipangizo za semiconductor zigwire bwino ntchito komanso kuti zipangizo za semiconductor zigwire ntchito bwino.Mphamvu yamakina komanso kutentha kwabwinozimathandizanso kuti ntchito ikhale yayitali komanso kuchepetsa kuipitsidwa.
FAQ
Kodi SiC graphite epitaxial susceptor ndi chiyani?
Ndi gawo lofunika kwambiri mu SiC epitaxy. Limasunga wafer panthawi yokulira kutentha kwambiri. Lili ndi graphite substrate yokhala ndi SiC yoteteza. Kapangidwe kameneka kamaonetsetsa kuti kutentha kukhale kofanana komanso kupewa kuipitsidwa.
N’chifukwa chiyani kuyera kwa zinthu zakuthupi n’kofunika kwambiri kwa anthu oterewa?
Kuyera kwambiri kwa zinthu kumaletsa kuipitsidwa kwa SiC epitaxial layer. Zinthu zotsatizana zimatha kugwira ntchito ngati zinthu zosafunikira. Zimapanga zolakwika mu semiconductor material. Graphite yoyera kwambiri komanso stoichiometry yolondola ya SiC coating ndizofunikira kwambiri.
Kodi umphumphu wa kupaka umakhudza bwanji magwiridwe antchito a susceptor?
Kuphimba bwino kumateteza ku kulimba komanso kusinthasintha kwa ntchito. Kukhuthala kofanana, kumamatira mwamphamvu, komanso kusalimba kwa pamwamba kumateteza zolakwika. Zimathandizanso kutha kwa nthaka ndi dzimbiri. Izi zimateteza susceptor pakapita nthawi.
Kodi magwiridwe antchito a kutentha amagwira ntchito bwanji pa khalidwe la susceptor?
Kutentha koyenera kumathandizira kuti kutentha kugawike mofanana pa wafer. Kutentha kwambiri komanso kutulutsa mpweya wabwino ndikofunikira kwambiri. Izi zimapangitsa kuti SiC ikule bwino nthawi zonse. Zimathandizanso kuti zigawo za epitaxial zikhale bwino.
Kodi opanga amaonetsetsa bwanji kuti ma epitaxial susceptors ndi abwino?
Opanga amagwiritsa ntchito njira zowongolera mosamala komanso kutsimikizira khalidwe. Amakhazikitsa njira zoyesera zosawononga. Amasunganso chitsimikizo chokwanira komanso kutsata. Njirazi zimatsimikizira kuti zinthuzo zimabweranso komanso kuti zimagwira ntchito bwino nthawi zonse kwa wogwiritsa ntchito aliyense.
Nthawi yotumizira: Novembala-12-2025