เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์บนพื้นผิวของกราไฟต์นั้น ทำได้โดยการตกตะกอนไอระเหยทางกายภาพหรือทางเคมี และการพ่น ชั้นเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เตรียมไว้สามารถยึดติดกับเมทริกซ์กราไฟต์ได้อย่างแน่นหนา ทำให้พื้นผิวของฐานกราไฟต์มีความหนาแน่นและปราศจากช่องว่าง ส่งผลให้เมทริกซ์กราไฟต์มีคุณสมบัติพิเศษ เช่น ความต้านทานต่อการออกซิเดชัน ความต้านทานต่อกรดและด่าง ความต้านทานต่อการกัดเซาะ และความต้านทานต่อการกัดกร่อน เป็นต้น ปัจจุบัน การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นหนึ่งในส่วนประกอบหลักที่ดีที่สุดสำหรับการเจริญเติบโตแบบเอพิเท็กเซียของซิลิคอนคาร์ไบด์
สารกึ่งตัวนำซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุหลักของสารกึ่งตัวนำแบบแถบพลังงานกว้างที่พัฒนาขึ้นใหม่ อุปกรณ์ที่ทำจากสารกึ่งตัวนำชนิดนี้มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อแรงดันสูง ความถี่สูง กำลังสูง และทนต่อรังสี นอกจากนี้ยังมีข้อดีคือความเร็วในการสวิตช์สูงและประสิทธิภาพสูง ช่วยลดการใช้พลังงานของผลิตภัณฑ์ ปรับปรุงประสิทธิภาพการแปลงพลังงาน และลดขนาดของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมาก โดยส่วนใหญ่ใช้ในด้านการสื่อสาร 5G การป้องกันประเทศ และอุตสาหกรรมทางทหาร รวมถึงด้านคลื่นความถี่วิทยุ (RF) ที่เป็นตัวแทนโดยอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ และด้านอิเล็กทรอนิกส์กำลังที่เป็นตัวแทนโดยยานยนต์พลังงานใหม่และ "โครงสร้างพื้นฐานใหม่" ซึ่งมีโอกาสทางการตลาดที่ชัดเจนและสำคัญทั้งในภาคพลเรือนและภาคทหาร
แผ่นรองพื้นซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุหลักของสารกึ่งตัวนำที่มีช่องว่างพลังงานกว้างที่พัฒนาขึ้นใหม่ แผ่นรองพื้นซิลิคอนคาร์ไบด์ส่วนใหญ่ใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ไมโครเวฟ อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กำลัง และสาขาอื่นๆซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุหลักที่สำคัญและล้ำสมัยในห่วงโซ่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่มีช่องว่างแถบพลังงานกว้าง ซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถแบ่งออกได้เป็นสองประเภท คือ แบบกึ่งฉนวนและแบบนำไฟฟ้า ในจำนวนนี้ ซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกึ่งฉนวนมีความต้านทานสูง (ความต้านทาน ≥ 10⁵ Ω·cm) ซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกึ่งฉนวนที่รวมกับแผ่นแกลเลียมไนไตรด์แบบเอพิแทกเซียลที่ไม่เป็นเนื้อเดียวกันสามารถใช้เป็นวัสดุสำหรับอุปกรณ์ RF ซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในระบบสื่อสาร 5G การป้องกันประเทศ และอุตสาหกรรมทางทหาร ส่วนอีกประเภทหนึ่งคือ ซิลิคอนคาร์ไบด์แบบนำไฟฟ้าที่มีความต้านทานต่ำ (ช่วงความต้านทานอยู่ที่ 15 ~ 30 mΩ·cm) การปลูกผลึกแบบเอกพันธ์ของซิลิคอนคาร์ไบด์แบบนำไฟฟ้าและซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถใช้เป็นวัสดุสำหรับอุปกรณ์กำลัง สถานการณ์การใช้งานหลัก ได้แก่ ยานยนต์ไฟฟ้า ระบบไฟฟ้า และสาขาอื่นๆ
วันที่เผยแพร่: 21 กุมภาพันธ์ 2565