เคลือบ SiC

VET ENERGY ผู้ผลิตชั้นนำด้านการเคลือบ CVD SIC ในประเทศจีน

วัสดุเปลี่ยนอนาคต

ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เป็นวัสดุเซมิคอนดักเตอร์แบบผสมชนิดใหม่ ซิลิคอนคาร์ไบด์มีช่องว่างพลังงานขนาดใหญ่ (ประมาณ 3 เท่าของซิลิคอน) ความแข็งแรงของสนามวิกฤตสูง (ประมาณ 10 เท่าของซิลิคอน) และการนำความร้อนสูง (ประมาณ 3 เท่าของซิลิคอน) จึงเป็นวัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นใหม่ที่สำคัญ การเคลือบ SiC ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ โดยเฉพาะอย่างยิ่ง ตัวรองรับที่ใช้ในการเจริญเติบโตแบบเอพิแทกเซียของ LED และการปลูกผลึกเดี่ยว Si แบบเอพิแทกเซีย จำเป็นต้องใช้การเคลือบ SiC เนื่องจากแนวโน้มการเติบโตอย่างแข็งแกร่งของ LED ในอุตสาหกรรมแสงสว่างและจอแสดงผล และการพัฒนาอย่างรวดเร็วของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ผลิตภัณฑ์เคลือบ SiCแนวโน้มดีมาก

ขอบเขตการประยุกต์ใช้

ภาพ8ภาพ7

การใช้งานและประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์                                                                                               การใช้งานและประโยชน์ของผลิตภัณฑ์

อุตสาหกรรมผลึกเดี่ยวซิลิคอน, ฐานรอง MOCVD แกลเลียมไนไตรด์ (GaN), อะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN), แซฟไฟร์ และวัสดุอื่นๆ - การเคลือบฐานกราไฟต์สำหรับการเจริญเติบโตแบบเอพิแทกเซียลของผลึกเดี่ยวซิลิคอน

คุณสมบัติหลัก: ความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน การนำความร้อนสูง - กระบวนการผลิต MOCVD การเคลือบฐานกราไฟต์สำหรับการเจริญเติบโตแบบเอพิแทกเซียของ GaN

ทนต่ออุณหภูมิสูง มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ

 

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
โซลาร์โฟโตโวลตาอิก

 

การนำความร้อน 250 วัตต์/เมตร °K วิธีการแฟลชเลเซอร์, RT
การขยายตัวทางความร้อน (CTE) 4.5 x 10-6°K อุณหภูมิห้องถึง 950 °C, เครื่องวัดการขยายตัวซิลิกา
       คุณสมบัติ ค่า วิธี
ความหนาแน่น 3.21 กรัม/ซีซี การจม-ลอย และมิติ
ความร้อนจำเพาะ 0.66 จูล/กรัม °K แสงเลเซอร์แบบพัลส์
ความแข็งแรงดัดงอ 450 MPa 560 MPa ข้อต่อโค้ง 4 จุด, ข้อต่อโค้ง RT4, 1300°
ความทนทานต่อการแตกหัก 2.94 MPa m1/2 การกดขนาดเล็ก
ความแข็ง 2800 กระสุน Vickers ขนาด 500 กรัม
โมดูลัสความยืดหยุ่น โมดูลัสของยัง 450 GPa 430 GPa ข้อต่อโค้ง 4 จุด, ข้อต่อโค้ง RT4 จุด, 1300 °C
ขนาดเมล็ด 2 - 10 ไมโครเมตร SEM

รูปที่13

 

ความบริสุทธิ์ โครงสร้าง SEM การวิเคราะห์ความหนาของการเคลือบ SiC

ความบริสุทธิ์ของสารเคลือบ SiC บนกราไฟต์โดยใช้ CVD สูงถึง 99.9995% โครงสร้างเป็นแบบ fcc ฟิล์ม SiC ที่เคลือบบนกราไฟต์มีการวางแนว (111) ดังแสดงในข้อมูล XRD (รูปที่ 1) ซึ่งบ่งชี้ถึงคุณภาพผลึกสูง ความหนาของฟิล์ม SiC มีความสม่ำเสมอมาก ดังแสดงในรูปที่ 2

ข้อมูล SEM ของฟิล์มบาง SiC ที่ผลิตด้วยวิธี CVD ขนาดผลึกอยู่ที่ 2~1 µm

ภาพ2

รูปที่ 2: ความหนาของฟิล์ม SiC สม่ำเสมอ

โครงสร้างผลึกของฟิล์ม SiC ที่ผลิตด้วยวิธี CVD เป็นโครงสร้างลูกบาศก์แบบมีจุดศูนย์กลางอยู่ที่หน้า และทิศทางการเติบโตของฟิล์มเกือบ 100%

ภาพ1

ภาพ SEM และ XRD ของฟิล์มเบต้า-SiC บนกราไฟต์

ภาพ1

ฐานเอพิแท็กเซียลซิลิคอนผลึกเดี่ยว

ประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์และโอกาสในการใช้งาน

เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)ฐานรองเป็นฐานรองที่ดีที่สุดสำหรับการปลูกผลึกซิลิคอนและแกลเลียมไนไตรด์แบบผลึกเดี่ยว ซึ่งเป็นส่วนประกอบหลักของเตาเผาสำหรับการปลูกผลึก ฐานรองเป็นอุปกรณ์เสริมที่สำคัญในการผลิตซิลิคอนผลึกเดี่ยวสำหรับวงจรรวมขนาดใหญ่ มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน มีความแน่นหนาของอากาศที่ดี และคุณลักษณะของวัสดุที่ยอดเยี่ยมอื่นๆ

การใช้งานและการประยุกต์ใช้ผลิตภัณฑ์

สารเคลือบฐานกราไฟต์สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกซิลิคอนแบบเอพิแท็กเซีย เหมาะสำหรับเครื่อง Aixtron และอื่นๆ ความหนาของสารเคลือบ: 90~150 ไมโครเมตร เส้นผ่านศูนย์กลางของหลุมบนเวเฟอร์คือ 55 มิลลิเมตร

โซลาร์โฟโตโวลตาอิก

GAupidpelitcubaetiaonnd

การเคลือบเบ้าหลอมกราไฟต์สำหรับซิลิคอนผลึกเดี่ยวโดยวิธีดึงตรง

รูปที่15

การผลิตซิลิคอนผลึกเดี่ยวในระดับอุตสาหกรรมโดยวิธีดึงตรงเบ้าหลอมสามกลีบท่อส่งเป็นชิ้นส่วนรับอุณหภูมิสูงและนำความร้อนได้สม่ำเสมอ ใช้เป็นช่องทางการหมุนเวียนของก๊าซไอเสีย ท่อส่งเป็นชิ้นส่วนนำความร้อน ใช้เป็นช่องทางการหมุนเวียนของก๊าซไอเสีย
รูปที่16รูปที่17
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์
ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน อายุการใช้งานยาวนาน สามารถปรับปรุงคุณภาพและผลผลิตของเวเฟอร์ได้ มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการสึกหรอสูง เป็นฉนวนที่ดี มีเสถียรภาพทางเคมีที่ดี สีม่วงอมแดง และแสงที่มองเห็นได้จากภายนอกสามารถทะลุผ่านได้
          ภาพ20 ภาพ19 รูปที่18

ทำไมต้องเลือกเรา

อุปกรณ์ระดับมืออาชีพและทีมงาน

โรงงานปลอดฝุ่นระดับ 1000

*โรงงานปลอดฝุ่นระดับ 1000 ขนาดกว่า 3,000 ตารางเมตร

*ทีมวิจัยและพัฒนาร่วมของสถาบันวิทยาศาสตร์แห่งประเทศจีน

*อุปกรณ์การผลิตเฉพาะทางและอุปกรณ์ทดสอบความแม่นยำสูง

*กำลังการผลิตที่เพียงพอและมีคุณภาพสูง86b0afaa78106ff600d26e97300491b

3132

3034

บริการด่วน

สำหรับการสอบถามก่อนสั่งซื้อ ทีมขายมืออาชีพของเราสามารถตอบคำถามของคุณได้ภายใน 50-100 นาทีในช่วงเวลาทำการ และภายใน 12 ชั่วโมงในช่วงเวลาปิดทำการ การตอบกลับที่รวดเร็วและเป็นมืออาชีพจะช่วยให้คุณชนะใจลูกค้าด้วยตัวเลือกที่สมบูรณ์แบบและมีประสิทธิภาพสูง

ในขั้นตอนการผลิต ทีมบริการมืออาชีพของเราจะถ่ายรูปทุกๆ 3-5 วัน เพื่อให้คุณได้รับข้อมูลอัปเดตเกี่ยวกับการผลิตอย่างต่อเนื่อง และจะจัดส่งเอกสารภายใน 36 ชั่วโมงเพื่อแจ้งความคืบหน้าการจัดส่ง เราให้ความสำคัญอย่างยิ่งต่อบริการหลังการขาย

สำหรับบริการหลังการขาย ทีมบริการของเราจะติดต่อกับคุณอย่างใกล้ชิดและพร้อมให้บริการคุณเสมอ บริการหลังการขายระดับมืออาชีพของเรายังรวมถึงการส่งวิศวกรไปช่วยคุณแก้ไขปัญหาถึงที่อีกด้วย การรับประกันของเราคือ 12 เดือนนับจากวันที่ส่งมอบสินค้า

รายละเอียดบรรจุภัณฑ์

ae1aab73834b4523bdce18357735486

ภาพ5

บริษัท Ningbo VET Energy Technology จำกัด เป็นผู้ผลิตชิ้นส่วนกราไฟต์มืออาชีพ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการพัฒนาวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ใหม่ และมุ่งเน้นการวิจัยและพัฒนาการเคลือบ SiC ผลิตภัณฑ์หลักของบริษัทคือตัวรองรับการเคลือบ SiC สำหรับอุตสาหกรรม LED และอุตสาหกรรมซิลิคอนผลึกเดี่ยว ฟิล์ม SiC ที่ใช้ในอุตสาหกรรม LED และอุตสาหกรรมซิลิคอนผลึกเดี่ยวเป็นเฟสลูกบาศก์ ซึ่งมีโครงสร้างแลตติสเดียวกันกับเพชร และมีความแข็งเทียบเท่ากับเพชร ซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ที่มีช่องว่างแถบพลังงานกว้างที่พัฒนามาอย่างดีที่สุด และมีโอกาสในการใช้งานอย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ ซิลิคอนคาร์ไบด์ยังมีค่าการนำความร้อนสูง ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทนต่ออุณหภูมิสูง (ประมาณ 2700 องศาเซลเซียส) และทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ผลิตภัณฑ์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของบริษัทยังถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์ พลังงานนิวเคลียร์ รถไฟความเร็วสูง ยานยนต์ และอุตสาหกรรมอื่นๆ

คำถามที่พบบ่อย

คุณมีปริมาณการสั่งซื้อขั้นต่ำหรือไม่?

ใช่ค่ะ เรากำหนดให้คำสั่งซื้อจากต่างประเทศทุกรายการต้องมีปริมาณการสั่งซื้อขั้นต่ำอย่างต่อเนื่อง

คุณสามารถส่งเอกสารที่เกี่ยวข้องได้หรือไม่?

ใช่ เราสามารถจัดหาเอกสารส่วนใหญ่ให้ได้ รวมถึงใบรับรองการวิเคราะห์/การตรวจสอบมาตรฐาน; ประกันภัย; ใบรับรองแหล่งกำเนิดสินค้า และเอกสารส่งออกอื่นๆ ตามที่ต้องการ

ระยะเวลานำส่งโดยเฉลี่ยคือเท่าไร?

สำหรับตัวอย่างสินค้า ระยะเวลาดำเนินการประมาณ 7 วัน สำหรับการผลิตจำนวนมาก ระยะเวลาดำเนินการ 15-25 วันหลังจากได้รับเงินมัดจำ ระยะเวลาดำเนินการจะมีผลเมื่อเราได้รับเงินมัดจำและได้รับการอนุมัติขั้นสุดท้ายจากคุณสำหรับผลิตภัณฑ์ของคุณ ในทุกกรณี เราจะพยายามตอบสนองความต้องการของคุณ และในกรณีส่วนใหญ่เราสามารถทำได้

คุณรับชำระเงินด้วยวิธีใดบ้าง?

คุณสามารถชำระเงินเข้าบัญชีธนาคารของเรา, Western Union หรือ PayPal ได้:
ชำระเงินมัดจำล่วงหน้า 30% และชำระส่วนที่เหลือ 70% ก่อนการจัดส่งหรือเมื่อได้รับสำเนาใบตราส่งสินค้า (B/L)

ผลิตภัณฑ์นี้มีการรับประกันอย่างไร?

เรารับประกันวัสดุและฝีมือการผลิตของเรา ความมุ่งมั่นของเราคือความพึงพอใจของคุณในผลิตภัณฑ์ของเรา ไม่ว่าจะเป็นในช่วงระยะเวลารับประกันหรือไม่ก็ตาม วัฒนธรรมของบริษัทเราคือการแก้ไขปัญหาของลูกค้าทุกรายให้เป็นที่พึงพอใจของทุกคน

คุณรับประกันการจัดส่งสินค้าอย่างปลอดภัยและเชื่อถือได้หรือไม่?

ใช่ค่ะ เราใช้บรรจุภัณฑ์ส่งออกคุณภาพสูงเสมอ นอกจากนี้เรายังใช้บรรจุภัณฑ์พิเศษสำหรับสินค้าอันตราย และกล่องขนส่งแช่เย็นที่ได้รับการรับรองสำหรับสินค้าที่ไวต่ออุณหภูมิ บรรจุภัณฑ์แบบพิเศษและบรรจุภัณฑ์ที่ไม่เป็นไปตามมาตรฐานอาจมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติม

แล้วค่าจัดส่งล่ะ?

ค่าขนส่งขึ้นอยู่กับวิธีการที่คุณเลือกรับสินค้า การขนส่งด่วนมักจะเร็วที่สุด แต่ก็แพงที่สุดเช่นกัน การขนส่งทางเรือเป็นวิธีที่ดีที่สุดสำหรับสินค้าปริมาณมาก เราสามารถแจ้งอัตราค่าขนส่งที่แน่นอนได้ก็ต่อเมื่อเราทราบรายละเอียดของปริมาณ น้ำหนัก และวิธีการขนส่ง โปรดติดต่อเราเพื่อขอข้อมูลเพิ่มเติม

ติดต่อเรา

โทรศัพท์, WeChat และ WhatsApp: +86 18069220752Contact email: sales001@china-vet.com 


แชทออนไลน์ผ่าน WhatsApp!