Awọn ibeere ile-iṣẹ Semiconductor ti awọn ibeere ohun elo graphite ga julọ, iwọn patiku kekere ti graphite ni deede giga, resistance iwọn otutu giga, agbara giga, pipadanu kekere ati awọn anfani miiran, gẹgẹbi: awọn ọja graphite sintered.Nítorí pé àwọn ohun èlò graphite tí a lò nínú ilé iṣẹ́ semiconductor (pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìgbóná àti àwọn ohun èlò tí a fi ń gbóná) ni a nílò láti kojú àwọn ìlànà ìgbóná àti ìtútù lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan, láti lè mú kí iṣẹ́ àwọn ohun èlò graphite pẹ́ sí i, ó sábà máa ń jẹ́ dandan pé kí àwọn ohun èlò graphite tí a lò ní iṣẹ́ tí ó dúró ṣinṣin àti iṣẹ́ ìpalára tí ó dúró ṣinṣin.
01 Awọn ẹya ẹrọ Grafiti fun idagbasoke kirisita semiconductor
Gbogbo ilana ti a lo lati gbin awọn kirisita semiconductor n ṣiṣẹ labẹ iwọn otutu giga ati ayika ibajẹ. Agbegbe gbigbona ti ileru idagbasoke kristali ni a maa n ni awọn eroja graphite giga ti ko ni ooru ati ti ko ni ipata, gẹgẹbi awọn ohun elo ti ngbona, crucible, silinda idabobo, silinda itọsọna, elekitirodu, ohun ti n mu crucible, elekitirodu nut, ati bẹbẹ lọ.
A le ṣe gbogbo awọn ẹya graphite ti awọn ẹrọ iṣelọpọ kristali, eyiti a le pese ni ẹyọkan tabi ni awọn akojọpọ, tabi awọn ẹya graphite ti a ṣe adani ti awọn iwọn oriṣiriṣi gẹgẹbi awọn ibeere alabara. A le wọn iwọn awọn ọja lori aaye, ati akoonu eeru ti awọn ọja ti pari le dinku.ju 5ppm lọ.
02 Awọn ẹya ẹrọ Grafiti fun epitaxy semiconductor
Ìlànà Epitaxial tọ́ka sí ìdàgbàsókè ti fẹlẹfẹlẹ ohun èlò kristali kan ṣoṣo pẹ̀lú ìṣètò lattice kan náà gẹ́gẹ́ bí substrate lórí substrate kristali kan ṣoṣo. Nínú ìlànà epitaxial, a gbé wafer náà sórí disiki graphite. Iṣẹ́ àti dídára disiki graphite ṣe ipa pàtàkì nínú dídára fẹlẹfẹlẹ epitaxial ti wafer. Nínú pápá ìṣelọ́pọ́ epitaxial, a nílò ọ̀pọ̀lọpọ̀ graphite mímọ́ ultra-high àti ipilẹ graphite mímọ́ gíga pẹ̀lú ìbòrí SIC.
Ipìlẹ̀ graphite ilé-iṣẹ́ wa fún semiconductor epitaxy ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìlò, ó lè bá ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ohun èlò tí a sábà máa ń lò nínú iṣẹ́ náà mu, ó sì ní ìwẹ̀nùmọ́ gíga, ìbòrí kan náà, ìgbésí ayé iṣẹ́ tó dára, àti agbára ìdènà kẹ́míkà gíga àti ìdúróṣinṣin ooru.
03 Awọn ohun elo Grafiti fun fifi ion sori ẹrọ
Ìfilọ́lẹ̀ ion túmọ̀ sí ìlànà ìfàsẹ́yìn ìgbìn plasma ti boron, phosphorus àti arsenic sí agbára kan pàtó, lẹ́yìn náà a fi sínú ìpele ojú ohun èlò wafer láti yí àwọn ohun-ìní ohun-ìní ti ìpele ojú ilẹ̀ padà. Àwọn ohun èlò ìfilọ́lẹ̀ ion gbọ́dọ̀ jẹ́ ti àwọn ohun èlò mímọ́ gíga pẹ̀lú agbára ooru tó dára, ìfaradà ooru, ìpalára díẹ̀ tí ìgbìn ion fà àti àìmọ́ díẹ̀. Graphite mímọ́ gíga bá àwọn ohun tí a béèrè fún mu, a sì lè lò ó fún ọkọ̀ òfúrufú, onírúurú slits, electrodes, electrode cover, conduits, beam terminators, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ ti ohun èlò ìfilọ́lẹ̀ ion mu.
A kò le pese ideri aabo graphite fun ọpọlọpọ awọn ẹrọ fifi ion sii nikan, ṣugbọn a tun le pese awọn elekitirodu graphite mimọ giga ati awọn orisun ion pẹlu resistance ipata giga ti awọn pato oriṣiriṣi. Awọn awoṣe ti o wulo: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ati awọn ẹrọ miiran. Ni afikun, a tun le pese awọn ọja seramiki ti o baamu, tungsten, molybdenum, awọn ọja aluminiomu ati awọn ẹya ti a fi bo.
04 Awọn ohun elo idabobo graphite ati awọn omiiran
Àwọn ohun èlò ìdábòbò ooru tí a lò nínú ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor ni graphite hard felt, soft felt, graphite foil, graphite paper, àti graphite okùn.
Gbogbo àwọn ohun èlò aise wa ni a kó wọlé láti ilẹ̀ òkèèrè, èyí tí a lè gé gẹ́gẹ́ bí ìwọ̀n pàtó tí àwọn oníbàárà fẹ́ tàbí kí a tà wọ́n lápapọ̀.
A lo atẹ erogba-kabọn gẹ́gẹ́ bí ohun tí a fi ń gbé àwọ̀ fíìmù jáde nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá àwọn sẹ́ẹ̀lì silikoni monocrystalline ti oòrùn àti polycrystalline. Ìlànà iṣẹ́ náà ni: fi chip silikoni sínú atẹ CFC kí o sì fi ránṣẹ́ sínú páìpù iná láti ṣe àwọ̀ fíìmù náà.
