Ọkọ oju-omi ayaworan ti a lo ninu PECVD ti laini iṣelọpọ sẹẹli
Ṣiṣejade awọn sẹẹli oorun nilo awọn ilana pataki mẹfa: texturing, itankale, etching, bo, titẹ iboju ati sintering. Ninu iṣelọpọ ti awọn sẹẹli oorun, ilana ti a bo tube PECVD nlo ọkọ oju omi graphite bi ara ti n ṣiṣẹ. Ilana ti a bo naa nlo ifitonileti pilasima ti o ni ilọsiwaju pilasima lati ṣafipamọ fiimu nitride silikoni kan ni iwaju wafer ohun alumọni lati dinku iṣaro oju-oorun ati oju ti wafer silikoni.
Awọn ẹya ti ọkọ oju omi graphite PECVD wa:
1). Ti gba lati yọkuro “awọn lẹnsi awọ” imọ-ẹrọ, lati rii daju laisi “awọn lẹnsi coloe” lakoko ilana igba pipẹ.
2). Ti a ṣe ti ohun elo graphite ti o wọle pẹlu mimọ giga, akoonu aimọ kekere ati agbara giga.
3). Lilo seramiki 99.9% fun apejọ seramiki pẹlu iṣẹ sooro ipata ti o lagbara ati ẹri ikunra.
4). Lilo awọn konge processing ẹrọ lati rii daju awọn išedede ti kọọkan awọn ẹya ara.
Sipesifikesonu
| Nkan | Iru | Nọmba wafer ti ngbe |
| Ọkọ oju omi PEVCD Graphite --- Awọn 156 jara | 156-13 lẹẹdi ọkọ | 144 |
| 156-19 lẹẹdi ọkọ | 216 | |
| 156-21 lẹẹdi ọkọ | 240 | |
| 156-23 lẹẹdi ọkọ | 308 | |
| Ọkọ oju omi PEVCD Graphite --- Awọn 125 jara | 125-15 lẹẹdi ọkọ | 196 |
| 125-19 lẹẹdi ọkọ | 252 | |
| 125-21 lẹẹdi ọkọ | 280 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd jẹ ile-iṣẹ imọ-ẹrọ giga ti o ni idojukọ lori iṣelọpọ ati tita awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju giga, awọn ohun elo ati imọ-ẹrọ pẹlu graphite, silikoni carbide, awọn ohun elo amọ, itọju dada bii ibora SiC, ibora TaC, ideri carbon glass, pyrolytic carbon bo, ati bẹbẹ lọ, awọn ọja wọnyi ni lilo pupọ ni photovoltaic, semikondokito, agbara tuntun, metallurgy.
Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, ati pe o ti ni idagbasoke awọn imọ-ẹrọ itọsi pupọ lati rii daju iṣẹ ṣiṣe ati didara, tun le pese awọn alabara pẹlu awọn solusan ohun elo ọjọgbọn.
