Ohun tí ó mú kí graphite sobusitireti wafer dimu fún PECVD

Àmì Ìmúlẹ̀ Àpò Ìdìpọ̀ Grafiti fún Àwòrán PECVD

Àpèjúwe Kúkúrú:

A ṣe àgbékalẹ̀ ohun èlò ìdìpọ̀ Graphite ti VET Energy láti mú kí ìdúróṣinṣin àti ìdúróṣinṣin wàrà wàrà wàrà wàrà wàrà wàrà wàrà náà jálẹ̀ gbogbo ìlànà PECVD, kí ó má baà ba á jẹ́, kí ó sì dín ewu ìbàjẹ́ kù. Ohun èlò ìdìpọ̀ Graphite Wafer náà pèsè pẹpẹ tó ní ààbò, tó sì dọ́gba, tó ń rí i dájú pé àwọn warà wàrà wàrà wàrà náà déédé sí plasma fún ìdúróṣinṣin tó dúró ṣinṣin àti tó dára. Pẹ̀lú agbára ooru tó ga àti agbára tó tayọ, ohun èlò ìdìpọ̀ yìí ń ran lọ́wọ́ láti mú kí iṣẹ́ gbogbogbòò àti iṣẹ́ ọjà sunwọ̀n sí i.

Fi imeeli ranṣẹ si wa Ṣe ìgbàsókè gẹ́gẹ́ bíi PDF

Àlàyé Ọjà

Àwọn àmì ọjà

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder jẹ́ ohun èlò ìtọ́jú tí a ṣe fún ìlànà PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Ohun èlò Graphite Substrate tó dára yìí ni a fi ohun èlò graphite tó mọ́ tónítóní, tó ní ìwọ̀n otutu tó ga, tó sì lágbára, tó sì ní ìdènà ìpalára tó ga, tó sì dúró ṣinṣin ní ìwọ̀n àti àwọn ànímọ́ mìíràn ṣe. Ó lè pèsè ìpìlẹ̀ ìtìlẹ́yìn tó dúró ṣinṣin fún ìlànà PECVD, ó sì lè rí i dájú pé fíìmù náà dúró ṣinṣin àti pé ó rọ̀.

Agbara VET. Tabili atilẹyin wafer ilana PECVD ni awọn abuda wọnyi:

▪Mímọ́ gíga:akoonu àìmọ́ tó kéré gan-an, yẹra fún ìbàjẹ́ fíìmù, rí i dájú pé fíìmù náà dára.

▪Iwọn iwuwo giga:iwuwo giga, agbara ẹrọ giga, le koju iwọn otutu giga ati ayika titẹ giga PECVD.

▪Iduroṣinṣin onisẹpo to dara:iyipada iwọn kekere ni iwọn otutu giga, ṣiṣe idaniloju iduroṣinṣin ilana.

▪Agbara itanna ooru to dara julọ:gbe ooru ni imunadoko lati dena ilora wafer.

▪Agbara resistance ipata:le koju ìfọ́ nipasẹ awọn gaasi onibajẹ ati pilasima.

▪Iṣẹ́ àdáni:Àwọn tábìlì ìrànlọ́wọ́ graphite tí ó ní onírúurú ìwọ̀n àti àwọ̀ lè ṣe àtúnṣe gẹ́gẹ́ bí àwọn àìní oníbàárà.

Àwọn Àǹfààní Ọjà

▪Mu didara fiimu dara si:Rí i dájú pé fíìmù náà wà ní ìpele kan náà kí ó sì mú kí fíìmù náà dára síi.

▪Mu igbesi aye ẹrọ pọ si:O tayọ resistance ipata, fa igbesi aye iṣẹ ti awọn ohun elo PECVD.

▪Din awọn idiyele iṣelọpọ:Àwọn àwo graphite tó ga jùlọ lè dín iye ìfọ́ kù kí ó sì dín iye owó ìṣẹ̀dá kù.

Ohun èlò graphite láti SGL:

Àmì tí ó wọ́pọ̀: R6510
Àtọ́ka	Iwọn idanwo	Iye	Ẹyọ kan
Iwọn ọkà apapọ	ISO 13320	10	μm
Ìwọ̀n púpọ̀	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Àwọn ihò tí ó ṣí sílẹ̀	DIN66133	10	%
Ìwọ̀n ihò àárín	DIN66133	1.8	μm
Àìníláàyè	DIN 51935	0.06	cm²/s
Líle líle Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Idaabobo itanna pataki	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Agbára ìrọ̀rùn	DIN IEC 60413/501	60	MPA
Agbára ìfúnpọ̀	DIN 51910	130	MPA
Mọ́dúlùsì ọ̀dọ́	DIN 51915	11.5×10³	MPA
Ìfẹ̀sí gbígbóná (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Igbona elekitiriki (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

A ṣe apẹrẹ rẹ̀ ní pàtó fún ṣíṣe àwọn sẹ́ẹ̀lì oorun tó lágbára, tó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ṣíṣe iṣẹ́ wafer ńlá G12. Apẹẹrẹ ẹ̀rọ tí a ṣe àtúnṣe mú kí iṣẹ́ náà pọ̀ sí i, èyí sì ń jẹ́ kí iye owó iṣẹ́ náà pọ̀ sí i, ó sì ń dín iye owó iṣẹ́ náà kù.

Ohun kan	Irú	Olùgbé nọ́mbà wafer
Ọkọ̀ ojú omi PEVCD Grephite - Àwọn ìpele 156	Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-13	144
	Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-19	216
	Ọkọ̀ ojú omi grephite 156-21	240
	Ọkọ̀ ojú omi graphite 156-23	308
Ọkọ̀ ojú omi PEVCD Grephite - Àwọn jara 125	Ọkọ̀ ojú omi grephite 125-15	196
	Ọkọ̀ ojú omi grephite 125-19	252
	Ọkọ̀ ojú omi 125-21 gífítì	280