Ọkọ̀ ojú omi Quartz Waferjẹ́ irinṣẹ́ pàtàkì nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, iṣẹ́dá sẹ́ẹ̀lì photovoltaic àti ìwádìí àti ìdàgbàsókè ohun èlò tó ga, tí a ṣe fún gbígbé wafer tó dúró ṣinṣin àti àyè nínú àwọn ilana iwọ̀n otútù gíga. A ṣe ọjà yìí láti inú silica tí a fi ultra-high fused cleanness (SiO2), pẹ̀lú resistance iwọ̀n otútù tó dára, ìdúróṣinṣin kẹ́míkà àti àwọn ànímọ́ ìbàjẹ́ irin tó kéré gan-an, ó dára fún fíffusion inflation furnace, oxidation infusion, PECVD/LPCVD àti àwọn ohun èlò míràn, tí a lò fún ìbòrí wafer, ìfilọ́lẹ̀ ion, ìtújáde iwọ̀n otútù gíga àti àwọn ilana mojuto míràn.
Àwọn Àǹfààní Pàtàkì ti ọkọ̀ ojú omi quartz ti VET Energy:
- Ohun elo mimọ giga-giga
Ìmọ́tótó ≥99.99%: Àkóónú àìmọ́ (Na, K, Fe, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) <5ppm, ó yẹra fún ìbàjẹ́ wafer àti ìdánilójú pé ó ń mú kí ìyọrísí ërún pọ̀ sí i.
Ìrọ̀sílẹ̀ àti ìfàmọ́ra díẹ̀: ojú ilẹ̀ náà jẹ́ dídán gan-an (Ra≤0.4μm) láti dín ìdìpọ̀ pàtákì àti àṣẹ́kù gaasi kù. - Iduroṣinṣin iwọn otutu giga
Ààlà ìwọ̀n otútù: Ìwọ̀n otútù iṣẹ́ ìgbà pípẹ́ ti 1100℃, òṣùwọ̀n tó ga jùlọ fún ìgbà kúkúrú ti 1300℃, kò sí ìyípadà, kò sí òjò kírísítàlì.
Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru kékeré (5.5x10-7/℃), ìdènà ìgbóná tó dára, tó ṣeé yípadà sí ìgbésẹ̀ ìgbóná àti ìrọ̀lẹ́ kíákíá (fún àpẹẹrẹ RTP kíákíá ìfàsẹ́yìn). - Apẹrẹ eto gangan
Ìlànà ìpele ± 0.1mm: ìbáramu àwọn wafer 2” sí 12”, àṣìṣe ìṣọ̀kan àlàfo <0.05mm, rírí dájú pé àwọn wafer kò ní àtúnṣe kankan.
Agbara ẹrù gíga: Ẹrù tó pọ̀ jùlọ ti 50 wafers (ní ìbámu pẹ̀lú 12” wafers) nínú ọkọ̀ ojú omi kan ṣoṣo, èyí tó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìyípadà tó dúró ṣinṣin ti àwọn wafers tín-tín (≥100um). - Ailewu kemikali
Àìlera ìbàjẹ́: Ó dúró ṣinṣin sí ásíìdì (yàtọ̀ sí HF), ìbàjẹ́ alkali àti organic solvent, tó bá ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ CMP mu.
Ìdènà gaasi tó dára jùlọ: Ìwọ̀n jíjò <5x10-10 Pa.m3/s, ó dára fún àyíká afẹ́fẹ́ àti gáàsì ààbò. - Igbesi aye pipẹ ati itọju
Ireti igbesi aye ≥ Awọn iyipo 5000 (awọn ipo iṣẹ deede), a le fọ oju ilẹ naa leralera ki a si lo o, eyi ti yoo dinku iye owo gbogbogbo.
Apẹrẹ modulu: ṣe atilẹyin fun rirọpo apakan (fun apẹẹrẹ ehin ọkọ oju omi kan), idinku akoko isinmi.
A n pese awọn oju ilẹ ti o han gbangba ati ti o tutu gẹgẹbi awọn ibeere alabara:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd jẹ́ ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga kan tí ó ń dojúkọ iṣẹ́ àti títà àwọn ohun èlò ìdàgbàsókè gíga, àwọn ohun èlò àti ìmọ̀-ẹ̀rọ pẹ̀lú graphite, silicon carbide, seramiki, ìtọ́jú ojú ilẹ̀ bí ìbòrí SiC, ìbòrí TaC, ìbòrí carbon gilasi, ìbòrí carbon pyrolytic, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, àwọn ọjà wọ̀nyí ni a ń lò ní photovoltaic, semiconductor, agbára tuntun, metallurgy, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Àwọn ẹgbẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ wa wá láti àwọn ilé ìwádìí tó ga jùlọ ní orílẹ̀-èdè wa, wọ́n sì ti ṣe àgbékalẹ̀ ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìmọ̀ ẹ̀rọ tí a fọwọ́ sí láti rí i dájú pé ọjà náà ṣiṣẹ́ dáadáa, wọ́n sì tún lè fún àwọn oníbàárà ní àwọn ohun èlò tó dára.
