
太陽電池生産ラインのPECVDで使用されるグラファイトボート
太陽電池の製造には、テクスチャリング、拡散、エッチング、コーティング、スクリーン印刷、焼結という6つの主要プロセスが必要です。太陽電池の製造において、PECVDチューブコーティングプロセスでは、グラファイトボートを作業体として使用します。コーティングプロセスでは、プラズマ強化化学気相成長法を用いてシリコンウェーハの表面にシリコン窒化膜を堆積し、太陽光の反射とシリコンウェーハ表面の損傷を低減します。
当社のPECVDグラファイトボートの特徴:
1). 長期使用時に「カラーレンズ」が付かないように、「カラーレンズ」技術を採用しました。
2). 高純度、低不純物、高強度の輸入グラファイト材料で作られています。
3). セラミックアセンブリには、耐腐食性と耐錆性に優れた 99.9% セラミックを使用しています。
4). 精密加工設備を使用し、各部品の精度を確保します。
仕様
| アイテム | タイプ | ウエハキャリア番号 |
| PEVCD グラファイトボート --- 156シリーズ | 156-13 グラファイトボート | 144 |
| 156-19 グラファイトボート | 216 | |
| 156-21 グラファイトボート | 240 | |
| 156-23 グラファイトボート | 308 | |
| PEVCD グラファイトボート --- 125シリーズ | 125-15 グラファイトボート | 196 |
| 125-19 グラファイトボート | 252 | |
| 125-21 グラファイトボート | 280 |

寧波VETエネルギーテクノロジー株式会社は、ハイエンドの先端材料の製造と販売に重点を置くハイテク企業です。材料と技術にはグラファイト、炭化ケイ素、セラミック、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの表面処理が含まれており、これらの製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などに広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、製品の性能と品質を保証するために複数の特許技術を開発しており、お客様に専門的な材料ソリューションを提供することもできます。













