
太陽電池製造ラインのPECVDで使用されるグラファイトボート
太陽電池の製造には、テクスチャリング、拡散、エッチング、コーティング、スクリーン印刷、焼結の 6 つの主要プロセスが必要です。太陽電池の製造において、PECVD チューブコーティングプロセスでは、グラファイトボートを作業体として使用します。このコーティングプロセスでは、プラズマ強化化学気相成長法を使用してシリコンウェーハの前面に窒化シリコン膜を堆積し、太陽光の反射とシリコンウェーハの表面を低減します。
当社のPECVDグラファイトボートの特徴:
1) 「カラーレンズ」技術を排除し、長期プロセス中に「カラーレンズ」が発生しないようにする技術を採用しました。
2) 高純度、低不純物含有量、高強度の輸入黒鉛素材を使用しています。
3) 耐食性と耐破裂性に優れた99.9%セラミックをセラミックアセンブリに使用する。
4) 精密加工装置を使用して、各部品の精度を確保する。
仕様
| アイテム | タイプ | 番号ウェハーキャリア |
| PEVCDグラファイトボート --- 156シリーズ | 156-13 グラファイトボート | 144 |
| 156-19 グラファイトボート | 216 | |
| 156-21 グラファイトボート | 240 | |
| 156-23 グラファイトボート | 308 | |
| PEVCDグラファイトボート --- 125シリーズ | 125-15 グラファイトボート | 196 |
| 125-19 グラファイトボート | 252 | |
| 125-21 グラファイトボート | 280 |

寧波VETエネルギーテクノロジー株式会社は、ハイエンド先端材料の製造・販売に特化したハイテク企業です。グラファイト、炭化ケイ素、セラミックス、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの表面処理を含む材料と技術を取り扱っており、これらの製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などの分野で幅広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、製品の性能と品質を保証するための複数の特許技術を開発しています。また、お客様に専門的な材料ソリューションを提供することも可能です。













