Portadores de obleas MOCVD de grafito con revestimento de SiC,Susceptores de grafitopara a epitaxia de SiC,
Susceptores de subministración de carbono, Susceptores de epitaxia de grafito, Susceptores de grafito, Susceptor MOCVD, Susceptores de obleas,

O revestimento CVD-SiC ten as características de estrutura uniforme, material compacto, resistencia a altas temperaturas, resistencia á oxidación, alta pureza, resistencia a ácidos e álcalis e reactivo orgánico, con propiedades físicas e químicas estables.

En comparación cos materiais de grafito de alta pureza, o grafito comeza a oxidarse a 400 °C, o que provocará unha perda de po debido á oxidación, o que provocará contaminación ambiental dos dispositivos periféricos e das cámaras de baleiro, e aumentará as impurezas do ambiente de alta pureza.

Non obstante, o revestimento de SiC pode manter a estabilidade física e química a 1600 graos. É amplamente utilizado na industria moderna, especialmente na industria dos semicondutores.

A nosa empresa ofrece servizos de procesos de revestimento de SiC mediante o método CVD na superficie de grafito, cerámica e outros materiais, de xeito que gases especiais que conteñen carbono e silicio reaccionan a alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superficie dos materiais revestidos, formando unha capa protectora de SIC. O SIC formado únese firmemente á base de grafito, o que lle confire propiedades especiais á base de grafito, facendo que a superficie do grafito sexa compacta, libre de porosidade, resistente a altas temperaturas, á corrosión e á oxidación.

Aplicación:

Características principais:

1. Resistencia á oxidación a altas temperaturas:

A resistencia á oxidación segue sendo moi boa cando a temperatura alcanza os 1700 °C.

2. Alta pureza: fabricado por deposición química de vapor en condicións de cloración a alta temperatura.

3. Resistencia á erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.

4. Resistencia á corrosión: ácidos, álcalis, sales e reactivos orgánicos.

Principais especificacións dos revestimentos CVD-SIC:

Capacidade de subministración:

10000 pezas por mes
Embalaxe e entrega:
Embalaxe: Embalaxe estándar e forte
Bolsa de polietileno + caixa + cartón + palé
Porto:
Ningbo/Shenzhen/Xangai
Prazo de entrega: