Supporti per wafer MOCVD con rivestimento in grafite SiC,Suscettori di grafiteper l'epitassia SiC,
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Il rivestimento CVD-SiC presenta le seguenti caratteristiche: struttura uniforme, materiale compatto, resistenza alle alte temperature, resistenza all'ossidazione, elevata purezza, resistenza agli acidi e agli alcali e reagente organico, con proprietà fisiche e chimiche stabili.

Rispetto ai materiali in grafite ad elevata purezza, la grafite inizia a ossidarsi a 400 °C, il che provoca una perdita di polvere dovuta all'ossidazione, con conseguente inquinamento ambientale dei dispositivi periferici e delle camere a vuoto e aumento delle impurità nell'ambiente ad elevata purezza.

Tuttavia, il rivestimento in SiC riesce a mantenere la stabilità fisica e chimica a 1600 gradi, ed è ampiamente utilizzato nell'industria moderna, in particolar modo nell'industria dei semiconduttori.

La nostra azienda fornisce servizi di rivestimento in SiC mediante il metodo CVD sulla superficie di grafite, ceramiche e altri materiali, in modo che gas speciali contenenti carbonio e silicio reagiscano ad alta temperatura per ottenere molecole di SiC ad elevata purezza, che si depositano sulla superficie dei materiali rivestiti formando uno strato protettivo in SiC. Il SiC formato si lega saldamente alla base di grafite, conferendole proprietà speciali e rendendo la superficie della grafite compatta, priva di porosità, resistente alle alte temperature, alla corrosione e all'ossidazione.

Applicazione:

Caratteristiche principali:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura:

la resistenza all'ossidazione è ancora molto buona anche a temperature elevate, fino a 1700 °C.

2. Elevata purezza: ottenuto mediante deposizione chimica da vapore in condizioni di clorazione ad alta temperatura.

3. Resistenza all'erosione: elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.

4. Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.

Specifiche principali dei rivestimenti CVD-SIC:

Capacità di fornitura:

10000 pezzi al mese
Imballaggio e consegna:
Imballaggio: imballaggio standard e resistente
Sacchetto di polietilene + scatola + cartone + pallet
Porta:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Tempi di consegna: