6 inch N Ụdị SiC Wafer

Nkọwa dị mkpirikpi:

Ụdị 6 inch N SiC Wafer sitere na VET Energy bụ mkpụrụ na-arụ ọrụ dị elu emebere maka ngwa semiconductor dị elu, na-enye conductivity thermal dị elu na arụmọrụ ike. VET Energy na-eji teknụzụ na-egbutu ọnụ iji mepụta wafers dị elu nke na-egbo mkpa siri ike nke ngwa eletrọnịkị ọgbara ọhụrụ, na-eme ka ntụkwasị obi na ịdịte aka na ngwaọrụ ike.

Zitere anyị email Budata dị ka PDF

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Nke a 6 Inch N Ụdị SiC Wafer bụ nke a na-emezi maka ịrụ ọrụ na-arụ ọrụ na ọnọdụ dị oke egwu, na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ dị mma maka ngwa ndị chọrọ ike dị elu na nkwụsị okpomọkụ. Ngwaahịa ndị dị mkpa jikọtara na wafer a gụnyere Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, na Sin Substrate. Ihe ndị a na-eme ka arụmọrụ dị mma na usoro mmepụta ihe dị iche iche nke semiconductor, na-enye ngwaọrụ ndị na-arụ ọrụ ike ma na-adịgide adịgide.

Maka ụlọ ọrụ na-arụ ọrụ na Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, Cassette, ma ọ bụ AlN Wafer, VET Energy's 6 Inch N Ụdị SiC Wafer na-enye ntọala dị mkpa maka mmepe ngwaahịa ọhụrụ. Ma ọ bụ n'igwe eletrọnịkị dị elu ma ọ bụ nke kachasị ọhụrụ na teknụzụ RF, wafers ndị a na-eme ka arụmọrụ dị mma na obere nguzogide okpomọkụ, na-akwalite oke arụmọrụ na arụmọrụ.

Nkọwapụta WAFERING

*n-Pm=n-ụdị Pm-Grade,n-Ps=n-ụdị Ps-Grade,Sl=Ọkara ala.

Ihe	8-anụ ọhịa	6-anụ ọhịa			4-anụ ọhịa
Ihe	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6um	≤6um
Ụta(GF3YFCD)-Uru zuru oke	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp(GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV (SBIR) -10mmx10mm	<2μm
Wafer Edge	Beveling

IMEcha elu elu

*n-Pm=n-ụdị Pm-Grade,n-Ps=n-ụdị Ps-Grade,Sl=Ọkara ala.

Ihe	8-anụ ọhịa	6-anụ ọhịa			4-anụ ọhịa
	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
Emecha elu elu	Akụkụ abụọ Optical Polish, Si- Face CMP
Ọdịdị elu	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Ihu Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Ihu Ra≤0.5nm
ibe ibe	Ọnweghị nke ekwenyere (ogologo na obosara≥0.5mm)
Indents	Ọnweghị nke ekwenyere
Scratches (Si-Ihu)	Qty.≤5,Nchịkọta Ogologo≤0.5 × dayameta wafer	Qty.≤5,Nchịkọta Ogologo≤0.5 × dayameta wafer			Qty.≤5,Nchịkọta Ogologo≤0.5 × dayameta wafer
Mgbawa	Ọnweghị nke ekwenyere
Mwepu ihu	3mm