Otu esi ehicha ụgbọ mmiri graphite PECVD? | Ike VET

1. Nkwanye ùgwù tupu ihicha

1) MgbeỤgbọ mmiri graphite PECVD/ebu ihe karịrị ugboro 100 ruo 150, onye ọrụ kwesịrị ịlele ọnọdụ mkpuchi ahụ n'oge. Ọ bụrụ na enwere mkpuchi na-adịghị mma, ọ dị mkpa ka a hichaa ya ma kwado ya. Agba mkpuchi nkịtị nke wafer silicon dị na ụgbọ mmiri/onye na-ebu graphite bụ acha anụnụ anụnụ. Ọ bụrụ na wafer ahụ enweghị agba anụnụ anụnụ, ọtụtụ agba, ma ọ bụ ọdịiche agba dị n'etiti wafer ahụ buru ibu, ọ bụ mkpuchi na-adịghị mma, a ga-enyochakwa ihe kpatara nsogbu ahụ n'oge.
2) Mgbe usoro ahụ gasịrị, ndị ọrụ na-enyocha ọnọdụ mkpuchi nkeỤgbọ mmiri graphite PECVD/onye na-ebu, ha ga-ekpebi ma ọ dị mkpa ka a hichaa ụgbọ mmiri graphite ahụ na ma ọ dị mkpa ka a dochie ebe kaadị ahụ, a ga-enyefekwa ụgbọ mmiri/ụgbọ mmiri graphite ahụ nke kwesịrị ịsacha n'aka ndị ọrụ ngwaọrụ maka ihicha.

 

3) Mgbeụgbọ mmiri graphite/onye na-ebu ya mebiri emebi, ndị ọrụ mmepụta ga-ewepụ wafer silicon niile dị n'ụgbọ mmiri graphite ma jiri CDA (ikuku a kpọchiri akpọchi) hazie iberibe ndị dị na yaụgbọ mmiri graphiteMgbe emechara ya, ndị ọrụ akụrụngwa ga-ebuga ya n'ime tankị asịd nke e ji obere akụkụ nke ihe ngwọta HF kwadebe maka nhicha.

 

2. Nhicha nke ụgbọ mmiri graphite

A na-atụ aro ka e jiri mmiri hydrofluoric acid nke dị pasent 15-25 mee ihe maka nhicha ugboro atọ, nke ọ bụla ruo awa 4-5, ma na-agba nitrogen mgbe ụfọdụ n'oge mmiri na-amịkọrọ ma na-ehicha ya, na-agbakwunye ihe dị ka ọkara awa nke nhicha; mara: a naghị atụ aro ka e jiri ikuku ozugbo dị ka isi iyi gas maka ịfụ. Mgbe ị pịchara ya, sachaa ya na mmiri dị ọcha ruo ihe dị ka awa 10, ma jide n'aka na e hichaala ụgbọ mmiri ahụ nke ọma. Mgbe ị sachara ya, biko lelee elu ụgbọ mmiri ahụ, ebe kaadị graphite na njikọ mpempe akwụkwọ ụgbọ mmiri ahụ, na akụkụ ndị ọzọ iji hụ ma enwere ihe fọdụrụ na silicon nitride. Mgbe ahụ kpọọ nkụ dịka ihe achọrọ si dị.

3. Ihe ndị dị mkpa iji hichaa ihe

A) Ebe ọ bụ na HF acid bụ ihe na-emebi emebi nke ukwuu ma nwee mgbanwe ụfọdụ, ọ dị ize ndụ nye ndị ọrụ. Ya mere, ndị ọrụ nọ n'ebe a na-ehicha ihe ga-emerịrị ihe nchebe ma onye raara onwe ya nye ga-achịkwa ya.

B) A na-atụ aro ka a kewaa ụgbọ mmiri ahụ ma hichaa naanị akụkụ graphite n'oge nhicha, ka e wee nwee ike ihicha akụkụ kọntaktị ọ bụla nke ọma. Ugbu a, ọtụtụ ndị na-emepụta ihe n'ụlọ na-eji nhicha zuru oke, nke dị mma, mana n'ihi na HF acid na-emebi akụkụ seramiiki, nhicha zuru oke ga-eme ka ndụ ọrụ nke akụkụ ndị kwekọrọ na ya dị mkpụmkpụ.