Nke mbụ, anyị kwesịrị ịmaPECVD(Mbelata ikuku kemịkalụ nke Plasma). Plasma bụ mmụba nke mmegharị okpomọkụ nke molekul ihe. Nkụkọ dị n'etiti ha ga-eme ka molekul gas bụrụ ionized, ihe ahụ ga-aghọkwa ngwakọta nke ion dị mma, elektrọn na ihe ndị na-anọpụ iche nke na-emekọrịta ihe n'otu n'otu.
A na-eme atụmatụ na ọnụego mfu nke ìhè na elu silicon dị elu ruo ihe dị ka 35%. Ihe nkiri mgbochi ntụgharị uche nwere ike ime ka ọsọ ojiji nke ìhè anyanwụ site na sel batrị dịkwuo mma nke ukwuu, nke na-enyere aka ịbawanye njupụta ọkụ eletrik emepụtara ma si otú a melite arụmọrụ ntụgharị. N'otu oge ahụ, hydrogen dị na fim ahụ na-eme ka elu sel batrị ahụ dịgide, na-ebelata ọnụego njikọta elu nke njikọ emitter, na-ebelata ọkụ ojii, na-eme ka voltaji sekit mepere emepe dịkwuo elu, ma na-eme ka arụmọrụ mgbanwe fotoelectric ka mma. Mbelata ọkụ ozugbo dị elu na usoro ọkụ na-agbaji ụfọdụ njikọ Si-H na NH, H ewepụtara na-emekwa ka passivation nke batrị ahụ sikwuo ike.
Ebe ọ bụ na ihe ndị e ji silicon nke dị na fotovoltaic nwere ọtụtụ ihe na-adịghị ọcha na ntụpọ, ogologo ndụ nke ndị na-ebu obere ihe na ogologo mgbasa na silicon na-ebelata, nke na-eme ka batrị ahụ belata arụmọrụ mgbanwe. H nwere ike imeghachi omume na ntụpọ ma ọ bụ ihe na-adịghị ọcha na silicon, si otú a na-ebufe eriri ike dị na bandgap ahụ n'ime band valence ma ọ bụ band conduction.
1. Ụkpụrụ PECVD
Sistemụ PECVD bụ usoro jenerato ejiỤgbọ mmiri graphite PECVD na ihe na-akpali plasma ugboro ugboro. A na-etinye ihe na-emepụta plasma ozugbo n'etiti efere mkpuchi ahụ iji meghachi omume n'okpuru obere nrụgide na okpomọkụ dị elu. Gas ndị na-arụ ọrụ ejiri bụ silane SiH4 na ammonia NH3. Gas ndị a na-arụ ọrụ na silicon nitride echekwara na wafer silicon. Enwere ike nweta ihe ngosi dị iche iche na-agbanwe agbanwe site na ịgbanwe nha nke silane na ammonia. N'oge usoro ntinye, a na-emepụta nnukwu atọm hydrogen na ion hydrogen, na-eme ka hydrogen passivation nke wafer dị mma nke ukwuu. N'ime oghere na okpomọkụ gburugburu nke ogo 480 Celsius, a na-ekpuchi oyi akwa nke SixNy n'elu wafer silicon site na iduzi.Ụgbọ mmiri graphite PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Agba nke ihe nkiri Si3N4 na-agbanwe ka ọkpụrụkpụ ya na-aga n'ihu. N'ozuzu, ọkpụrụkpụ kacha mma dị n'etiti 75 na 80 nm, nke na-acha anụnụ anụnụ gbara ọchịchịrị. Ndekọ ntụgharị nke ihe nkiri Si3N4 kacha mma n'etiti 2.0 na 2.5. A na-ejikarị mmanya atụ ihe ngosi ntụgharị ya.
Mmetụta dị mma nke elu, arụmọrụ dị irè nke mgbochi ntụgharị uche (mkpụmkpụ nke ntụgharị uche), usoro okpomọkụ dị ala (na-ebelata ọnụ ahịa nke ọma), na ions H emepụtara na-eme ka elu silicon wafer dịgide.
3. Ihe ndị a na-ahụkarị n'ụlọ ọrụ mkpuchi
Ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri ahụ:
Oge a na-etinye ihe dị iche iche dị iche iche maka ọkpụrụkpụ ihe nkiri dị iche iche. Oge a na-etinye ihe kwesịrị ịbawanye ma ọ bụ belata dịka agba nke ihe mkpuchi ahụ si dị. Ọ bụrụ na ihe nkiri ahụ dị ọcha, a ga-ebelata oge a na-etinye ihe. Ọ bụrụ na ọ na-acha ọbara ọbara, a ga-amụba ya nke ọma. A ga-enyocha ụgbọ mmiri ọ bụla nke ihe nkiri ahụ nke ọma, a gaghị ekwe ka ngwaahịa ndị nwere nkwarụ banye n'ime usoro na-esote. Dịka ọmụmaatụ, ọ bụrụ na ihe mkpuchi ahụ adịghị mma, dị ka ntụpọ agba na akara mmiri, a ga-ahọrọ ihe na-acha ọcha elu, ọdịiche agba, na ntụpọ ọcha na ahịrị mmepụta n'oge. Ihe na-eme ka ihe na-acha ọcha elu bụ ihe na-akpatakarị site na ihe nkiri silicon nitride dị arọ, nke enwere ike ịgbanwe site na ịgbanwe oge a na-etinye ihe nkiri ahụ; ihe nkiri ọdịiche agba bụ isi ihe kpatara ya bụ mkpọchi ụzọ gas, ntapu tube quartz, ọdịda microwave, wdg.; obere ntụpọ ojii na-akpatakarị ntụpọ ọcha na usoro gara aga. Nlekota nke ntụgharị uche, ndeksi ntụgharị uche, wdg, nchekwa nke gas pụrụ iche, wdg.
Ọcha ntụpọ n'elu:
PECVD bụ usoro dị oke mkpa na mkpụrụ ndụ anyanwụ ma bụrụkwa ihe ngosi dị mkpa nke arụmọrụ nke mkpụrụ ndụ anyanwụ nke ụlọ ọrụ. Usoro PECVD na-arụsi ọrụ ike, a ga-enyochakwa otu mkpụrụ ndụ ọ bụla. E nwere ọtụtụ ọkpọkọ ọkụ mkpuchi, tube ọ bụla na-enwekarị ọtụtụ narị mkpụrụ ndụ (dabere na akụrụngwa). Mgbe agbanwechara paramita usoro ahụ, usoro nkwenye ahụ dị ogologo. Teknụzụ mkpuchi bụ teknụzụ nke ụlọ ọrụ fotovoltaic dum na-etinye oke mkpa na ya. Enwere ike imeziwanye arụmọrụ nke mkpụrụ ndụ anyanwụ site na imeziwanye teknụzụ mkpuchi. N'ọdịnihu, teknụzụ elu sel anyanwụ nwere ike ịghọ ihe ọhụrụ na arụmọrụ nke mkpụrụ ndụ anyanwụ.
Oge ozi: Disemba-23-2024