តម្រូវការសម្ភារៈក្រាហ្វីតរបស់ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកគឺខ្ពស់ជាពិសេស ទំហំភាគល្អិតល្អិតៗនៃក្រាហ្វីតមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ កម្លាំងខ្ពស់ ការបាត់បង់តូច និងគុណសម្បត្តិផ្សេងទៀតដូចជា៖ ផ្សិតផលិតផលក្រាហ្វីតដែលបានដុត។ដោយសារតែឧបករណ៍ក្រាហ្វីតដែលប្រើក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ (រួមទាំងឧបករណ៍កម្តៅ និងផ្សិតស៊ីនធឺររបស់វា) ត្រូវបានទាមទារឱ្យទប់ទល់នឹងដំណើរការកំដៅ និងត្រជាក់ម្តងហើយម្តងទៀត ដើម្បីពន្យារអាយុកាលសេវាកម្មរបស់ឧបករណ៍ក្រាហ្វីត ជាធម្មតាវាត្រូវបានទាមទារឱ្យសម្ភារៈក្រាហ្វីតដែលប្រើមានដំណើរការមានស្ថេរភាព និងមុខងារធន់នឹងកំដៅ។
01 គ្រឿងបន្ថែមក្រាហ្វីតសម្រាប់ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ
ដំណើរការទាំងអស់ដែលប្រើសម្រាប់ដាំគ្រីស្តាល់ស៊ីមីកុងដុកទ័រកំពុងដំណើរការក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបរិស្ថានច្រេះ។ តំបន់ក្តៅនៃឡដាំគ្រីស្តាល់ជាធម្មតាត្រូវបានបំពាក់ដោយសមាសធាតុក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ធន់នឹងកំដៅ និងធន់នឹងការច្រេះ ដូចជាឧបករណ៍កម្តៅ ចង្ក្រានដែក ស៊ីឡាំងអ៊ីសូឡង់ ស៊ីឡាំងណែនាំ អេឡិចត្រូត ឧបករណ៍កាន់ចង្ក្រានដែក គ្រាប់អេឡិចត្រូតជាដើម។
យើងអាចផលិតគ្រឿងបន្លាស់ក្រាហ្វីតទាំងអស់នៃឧបករណ៍ផលិតគ្រីស្តាល់ ដែលអាចត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ជាលក្ខណៈបុគ្គល ឬជាសំណុំ ឬគ្រឿងបន្លាស់ក្រាហ្វីតតាមតម្រូវការនៃទំហំផ្សេងៗគ្នាតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន។ ទំហំនៃផលិតផលអាចត្រូវបានវាស់វែងនៅនឹងកន្លែង ហើយមាតិកាផេះនៃផលិតផលសម្រេចអាចតិចជាង។លើសពី 5ppm។
02 គ្រឿងបន្ថែមក្រាហ្វីតសម្រាប់អេពីតាក់ស៊ីស៊ីមីកុងដុកទ័រ
ដំណើរការ Epitaxial សំដៅទៅលើការលូតលាស់នៃស្រទាប់សម្ភារៈគ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានការរៀបចំបន្ទះឈើដូចគ្នានឹងស្រទាប់ខាងក្រោមនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ។ នៅក្នុងដំណើរការ epitaxial បន្ទះ wafer ត្រូវបានផ្ទុកនៅលើថាសក្រាហ្វីត។ ដំណើរការ និងគុណភាពនៃថាសក្រាហ្វីតដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងគុណភាពនៃស្រទាប់ epitaxial នៃបន្ទះ wafer។ នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្ម epitaxial ក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ខ្លាំង និងមូលដ្ឋានក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ជាមួយនឹងថ្នាំកូត SIC គឺត្រូវបានទាមទារ។
មូលដ្ឋានក្រាហ្វីតរបស់ក្រុមហ៊ុនយើងសម្រាប់អេពីតាក់ស៊ីស៊ីមីកុងដុកទ័រមានកម្មវិធីជាច្រើន អាចផ្គូផ្គងឧបករណ៍ភាគច្រើនដែលប្រើជាទូទៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម ហើយមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន អាយុកាលសេវាកម្មល្អឥតខ្ចោះ ធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់ និងស្ថេរភាពកម្ដៅ។
03 គ្រឿងបន្ថែមក្រាហ្វីតសម្រាប់ការបញ្ចូលអ៊ីយ៉ុង
ការដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងសំដៅទៅលើដំណើរការនៃការបង្កើនល្បឿនធ្នឹមប្លាស្មានៃបូរ៉ុន ផូស្វ័រ និងអាសេនិចទៅជាថាមពលជាក់លាក់មួយ ហើយបន្ទាប់មកចាក់វាចូលទៅក្នុងស្រទាប់ផ្ទៃនៃសម្ភារៈបន្ទះសៀគ្វីដើម្បីផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈនៃស្រទាប់ផ្ទៃ។ សមាសធាតុនៃឧបករណ៍ដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងត្រូវតែផលិតពីវត្ថុធាតុដើមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ចរន្តកំដៅ ការច្រេះតិចដែលបណ្តាលមកពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង និងមាតិកាមិនបរិសុទ្ធទាប។ ក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំពេញតាមតម្រូវការកម្មវិធី ហើយអាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់បំពង់ហោះហើរ រន្ធផ្សេងៗ អេឡិចត្រូត គម្របអេឡិចត្រូត បំពង់ ឧបករណ៍បញ្ចប់ធ្នឹម។ល។ នៃឧបករណ៍ដាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុង។
យើងមិនត្រឹមតែអាចផ្គត់ផ្គង់គម្របការពារក្រាហ្វីតសម្រាប់ម៉ាស៊ីនបញ្ចូលអ៊ីយ៉ុងជាច្រើនប្រភេទប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងអាចផ្គត់ផ្គង់អេឡិចត្រូតក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងប្រភពអ៊ីយ៉ុងដែលមានភាពធន់នឹងការច្រេះខ្ពស់នៃលក្ខណៈបច្ចេកទេសផ្សេងៗគ្នាផងដែរ។ ម៉ូដែលដែលអាចអនុវត្តបាន៖ Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM និងឧបករណ៍ផ្សេងៗទៀត។ លើសពីនេះ យើងក៏អាចផ្គត់ផ្គង់ផលិតផលសេរ៉ាមិច ទុងស្តែន ម៉ូលីបដិន អាលុយមីញ៉ូម និងគ្រឿងបន្លាស់ស្រោបដែលត្រូវគ្នាផងដែរ។
04 សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ក្រាហ្វីត និងផ្សេងៗទៀត
សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់កម្ដៅដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ រួមមាន ក្រណាត់ក្រាហ្វីតរឹង ក្រណាត់ទន់ បន្ទះក្រាហ្វីត ក្រដាសក្រាហ្វីត និងខ្សែពួរក្រាហ្វីត។
វត្ថុធាតុដើមរបស់យើងទាំងអស់គឺជាក្រាហ្វីតដែលនាំចូល ដែលអាចត្រូវបានកាត់តាមទំហំជាក់លាក់នៃតម្រូវការរបស់អតិថិជន ឬលក់ទាំងមូល។
ថាសកាបូន-កាបូនត្រូវបានប្រើជាឧបករណ៍ផ្ទុកសម្រាប់ថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តនៅក្នុងដំណើរការផលិតកោសិកាស៊ីលីកុនម៉ូណូគ្រីស្តាលីន និងស៊ីលីកុនប៉ូលីគ្រីស្តាលីន។ គោលការណ៍ធ្វើការគឺ៖ បញ្ចូលបន្ទះឈីបស៊ីលីកុនចូលទៅក្នុងថាស CFC ហើយបញ្ជូនវាទៅក្នុងបំពង់ឡដើម្បីដំណើរការថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្ត។
