-
ហេតុអ្វីបានជា SiC Cantilever Paddle មានសារៈសំខាន់សម្រាប់ដំណើរការឡចំហាយ LPCVD ទំនើប
នៅពេលដែលការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកវិវឌ្ឍឆ្ពោះទៅរកធរណីមាត្រឧបករណ៍តូចៗ អត្រាទិន្នផលវ៉ាហ្វឺរខ្ពស់ជាងមុន និងស្តង់ដារគ្រប់គ្រងការបំពុលកាន់តែតឹងរ៉ឹង ឧបករណ៍ដំណើរការកម្ដៅកំពុងប្រឈមមុខនឹងបញ្ហាប្រឈមផ្នែកវិស្វកម្មដែលមិនធ្លាប់មានពីមុនមក។ ដំណើរការដូចជា LPCVD អុកស៊ីតកម្មកម្ដៅ ការសាយភាយសារធាតុជំនួយ ...អានបន្ថែម -
តើបំពង់សាយភាយ SiC ជាអ្វី? មុខងារ សម្ភារៈ និងកម្មវិធីដំណើរការឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
នៅក្នុងការផលិតបន្ទះឈីបពាក់កណ្តាលសៀគ្វី ដំណើរការកម្ដៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ជំហានផលិតបន្ទះឈីបបន្ទះដូចជា អុកស៊ីតកម្ម ការសាយភាយ ការដុត និងការដាក់ស្រទាប់ LPCVD។ ដំណើរការទាំងនេះជាធម្មតាត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងប្រព័ន្ធឡចំហាយពាក់កណ្តាលសៀគ្វីដែលដំណើរការរវាង 800°C និង 1200°C ដែលសីតុណ្ហភាព...អានបន្ថែម -
តើក្រាហ្វីតដែលមានរន្ធញើសជាអ្វី? លក្ខណៈសម្បត្តិ កម្មវិធី និងគុណសម្បត្តិរបស់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
សេចក្តីផ្តើម៖ ហេតុអ្វីបានជាក្រាហ្វីតដែលមានរន្ធញើសមានសារៈសំខាន់ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក នៅពេលដែលការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកផ្លាស់ប្តូរទៅរកណូតកម្រិតខ្ពស់ និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកសមាសធាតុ (ដូចជា SiC) តម្រូវការសម្ភារៈកាន់តែតឹងរ៉ឹង។ ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត និងការបញ្ចេញឧស្ម័នដែលមានភាពជាក់លាក់...អានបន្ថែម -
តើអ្វីទៅជាកម្មវិធីនៃក្រាហ្វីតដែលមានសរសៃក្នុងដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ?
ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដំណើរការនៅចំនុចប្រសព្វនៃភាពជាក់លាក់ខ្លាំង និងបរិស្ថានខ្លាំង។ ដំណើរការដូចជា epitaxy ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ និងការដុតនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាប្រចាំលើសពី 1000°C ដែលសូម្បីតែការប្រែប្រួលកម្ដៅតិចតួចក៏អាចបកប្រែទៅជាការប្រែប្រួលដែលអាចវាស់វែងបាននៃកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត...អានបន្ថែម -
តើបន្ទះបាយប៉ូឡាក្រាហ្វីតដំណើរការយ៉ាងដូចម្តេចនៅក្នុងកោសិកាឥន្ធនៈ?
I. តួនាទីស្នូលនៃបន្ទះបាយប៉ូឡាក្រាហ្វីតក្នុងការរីកចម្រើននៃឧស្សាហកម្ម ដោយផ្អែកលើគោលដៅ "កាបូនពីរ" និងការអភិវឌ្ឍយ៉ាងឆាប់រហ័សនៃសេដ្ឋកិច្ចអ៊ីដ្រូសែន កោសិកាឥន្ធនៈ (ជាពិសេសកោសិកាឥន្ធនៈ PEM) កំពុងផ្លាស់ប្តូរពីដំណាក់កាលបង្ហាញទៅជាការអនុវត្តទ្រង់ទ្រាយធំ។ ពីអ្នកដំណើរ...អានបន្ថែម -
តើអ្វីទៅជាកម្មវិធីនៃជាតិក្រាហ្វីតក្នុងបច្ចេកវិទ្យាកោសិកាឥន្ធនៈ?
នៅក្នុងប្រព័ន្ធថាមពលអេឡិចត្រូគីមីដែលមានការវិវត្តឥតឈប់ឈរ សរសៃក្រាហ្វីតលេចធ្លោជាសម្ភារៈដែលមានមូលដ្ឋានលើកាបូនដែលអាចបត់បែនបាន ដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិរចនាសម្ព័ន្ធ អគ្គិសនី និងគីមីតែមួយគត់។ ខណៈពេលដែលមិនមែនស្ថាបត្យកម្មកោសិកាឥន្ធនៈទាំងអស់សុទ្ធតែប្រើប្រាស់សរសៃក្រាហ្វីតជាសកលនោះទេ តួនាទីរបស់វា - ជាពិសេសនៅក្នុងកោសិកាឥន្ធនៈទំនើប ...អានបន្ថែម -
គ្រឿងបរិក្ខារក្រាហ្វីតសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ សមាសធាតុដំណើរការសំខាន់ៗក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
នៅក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ សម្ភារៈ និងសមាសធាតុសំខាន់ៗជាច្រើនកំណត់ស្ថេរភាពដំណើរការ និងទិន្នផលផលិតផល។ ទោះបីជាគ្រឿងបរិក្ខារក្រាហ្វីតស៊ីមីកុងដុកទ័រមិនទទួលបានការចាប់អារម្មណ៍ច្រើនដូចបន្ទះសៀគ្វី ឬគោលដៅក៏ដោយ ពួកវាតែងតែដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ការរលាក...អានបន្ថែម -
ហេតុអ្វីបានជាចិញ្ចៀនផ្តោតថ្នាំកូត CVD សម្រាប់ការឆ្លាក់មានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការឆ្លាក់ស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់?
ចិញ្ចៀនផ្តោតថ្នាំកូត CVD ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការឆ្លាក់ស៊ីមីកុងដុកទ័រទំនើប ដោយធ្វើឱ្យព្រំដែនប្លាស្មាមានស្ថេរភាព និងធានាបាននូវការចែកចាយអ៊ីយ៉ុងឯកសណ្ឋាននៅទូទាំងបន្ទះ wafer។ អត្ថបទនេះពន្យល់ពីមូលហេតុដែលវាមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ណូតកម្រិតខ្ពស់ ដោយបញ្ជាក់ពីផលប៉ះពាល់របស់វាទៅលើឯកសណ្ឋាននៃការឆ្លាក់ ការគ្រប់គ្រង CD ការបំពុល...អានបន្ថែម -
ស្នូលនៃឡចំហាយលូតលាស់គ្រីស្តាល់តែមួយ៖ ការបង្ហាញអាថ៌កំបាំងនៃវាលកម្ដៅក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់
ស្នូលនៃឡដុតគ្រីស្តាល់តែមួយគឺជាឧបករណ៍សំខាន់ក្នុងការផលិតគ្រីស្តាល់ ហើយការរចនាវាលកម្ដៅរបស់វាប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើភាពបរិសុទ្ធ និងគុណភាពនៃគ្រីស្តាល់។ ក្នុងនាមជាសមាសធាតុកណ្តាលនៃឡដុត វាលកម្ដៅក្រាហ្វីតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ផ្តល់នូវចរន្តកម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ខ្ពស់...អានបន្ថែម