ទូកក្វាតស៍វ៉ាហ្វើរគឺជាឧបករណ៍ដឹកជញ្ជូនដ៏សំខាន់មួយក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ការផលិតកោសិកា photovoltaic និងការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍សម្ភារៈទំនើបៗ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ការផ្ទេរ និងការកំណត់ទីតាំងបន្ទះសៀគ្វីដែលមានស្ថេរភាពក្នុងដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ផលិតផលនេះត្រូវបានផលិតពីស៊ីលីការលាយដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ខ្លាំង (SiO2) ដែលមានភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពល្អឥតខ្ចោះ ស្ថេរភាពគីមី និងលក្ខណៈនៃការបំពុលលោហៈទាបបំផុត សមស្របសម្រាប់ឡចំហាយសាយភាយ ឡចំហាយអុកស៊ីតកម្ម PECVD/LPCVD និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀត ដែលត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងថ្នាំកូតបន្ទះសៀគ្វី ការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង ការដុតនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងដំណើរការស្នូលផ្សេងទៀត។
គុណសម្បត្តិស្នូលនៃទូករ៉ែថ្មខៀវរបស់ VET Energy៖
- សម្ភារៈសុទ្ធខ្ពស់ខ្លាំង
ភាពបរិសុទ្ធ ≥99.99%៖ មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ (Na, K, Fe ជាដើម) <5ppm ជៀសវាងការចម្លងរោគនៃបន្ទះសៀគ្វី និងធានាទិន្នផលបន្ទះឈីប។
ទឹកភ្លៀង និងការស្រូបយកទាប៖ ផ្ទៃត្រូវបានប៉ូលាយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះ (Ra≤0.4μm) ដើម្បីកាត់បន្ថយការស្អិតជាប់នៃភាគល្អិត និងសំណល់ឧស្ម័ន។ - ស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់
ដែនកំណត់សីតុណ្ហភាព៖ សីតុណ្ហភាពការងាររយៈពេលវែង 1100 ℃ កំពូលរយៈពេលខ្លី 1300 ℃ គ្មានការខូចទ្រង់ទ្រាយ គ្មានទឹកភ្លៀងគ្រីស្តាល់។
មេគុណពង្រីកកម្ដៅទាប (5.5x10-7/℃) ធន់នឹងការឆក់កម្ដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ អាចសម្របខ្លួនទៅនឹងដំណើរការឡើងចុះសីតុណ្ហភាពយ៉ាងឆាប់រហ័ស (ឧទាហរណ៍ ការដុតកម្ដៅរហ័ស RTP)។ - ការរចនារចនាសម្ព័ន្ធច្បាស់លាស់
ភាពជាក់លាក់នៃរន្ធ ± 0.1 ម.ម: ផ្គូផ្គងបន្ទះ wafers ទំហំ 2” ដល់ 12” កំហុសឯកសណ្ឋានគម្លាត <0.05 ម.ម ធានាថាបន្ទះ wafers មិនមានអុហ្វសិត។
សមត្ថភាពផ្ទុកខ្ពស់៖ ផ្ទុកអតិបរមាចំនួន 50 បន្ទះ (ទាក់ទងនឹងបន្ទះទំហំ 12 អ៊ីញ) ក្នុងទូកតែមួយ ដែលគាំទ្រដល់ការផ្ទេរបន្ទះស្តើងៗ (≥100um) ប្រកបដោយស្ថេរភាព។ - ភាពអសកម្មគីមី
ភាពធន់នឹងការច្រេះ៖ ធន់នឹងអាស៊ីត (លើកលែងតែ HF) អាល់កាឡាំង និងសារធាតុរំលាយសរីរាង្គ ឆបគ្នាជាមួយដំណើរការសម្អាត CMP។
ភាពតឹងណែនឧស្ម័នល្អឥតខ្ចោះ៖ អត្រាលេចធ្លាយ <5x10-10 Pa.m3/s សមស្របសម្រាប់បរិយាកាសសុញ្ញកាស និងឧស្ម័នការពារ។ - អាយុកាលវែង និង ភាពងាយស្រួលថែទាំ
អាយុកាលប្រើប្រាស់ ≥ 5000 វដ្ត (លក្ខខណ្ឌការងារធម្មតា) ផ្ទៃអាចត្រូវបានសម្អាត និងប្រើប្រាស់ម្តងហើយម្តងទៀត ដែលកាត់បន្ថយថ្លៃដើមសរុប។
ការរចនាម៉ូឌុល៖ គាំទ្រការជំនួសដោយផ្នែក (ឧទាហរណ៍ ធ្មេញទូកតែមួយ) កាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ។
យើងខ្ញុំផ្តល់ជូនទាំងផ្ទៃថ្លា និងផ្ទៃសាយសត្វ តាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន៖
ក្រុមហ៊ុន Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd គឺជាសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់មួយដែលផ្តោតលើការផលិត និងការលក់វត្ថុធាតុដើមទំនើបៗ សម្ភារៈ និងបច្ចេកវិទ្យារួមមាន ក្រាហ្វីត ស៊ីលីកុនកាប៊ីត សេរ៉ាមិច ការព្យាបាលលើផ្ទៃដូចជាថ្នាំកូត SiC ថ្នាំកូត TaC ថ្នាំកូតកាបូនកញ្ចក់ ថ្នាំកូតកាបូន pyrolytic ជាដើម ផលិតផលទាំងនេះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យ photovoltaic អេឡិចត្រូនិកពាក់កណ្តាលខ្លួន ថាមពលថ្មី លោហធាតុ។ល។
ក្រុមបច្ចេកទេសរបស់យើងមកពីស្ថាប័នស្រាវជ្រាវក្នុងស្រុកកំពូលៗ ហើយបានបង្កើតបច្ចេកវិទ្យាដែលមានប៉ាតង់ច្រើន ដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការ និងគុណភាពផលិតផល ហើយក៏អាចផ្តល់ជូនអតិថិជននូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈផងដែរ។
