SiC 코팅 흑연 서셉터는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 구성 요소입니다. 당사는 특허 기술을 사용하여 매우 높은 순도, 양호한 코팅 균일성, 탁월한 사용 수명, 높은 내화학성 및 열 안정성 특성을 갖춘 서셉터를 제작합니다.
우리 제품의 특징:
1. 최대 1700℃ 고온 산화 저항성.
2. 높은 순도 및 열 균일성
3. 우수한 내식성: 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.
4. 경도가 높고, 표면이 치밀하며, 입자가 미세합니다.
5. 더 긴 서비스 수명과 더 내구성이 뛰어납니다.
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 晶体结构 / 결정 구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10㎛ |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화 온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굽힘 강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 굽힘, 1300℃ |
| 导熭系数 / 테르마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등 다양한 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 실리콘 카바이드 제품의 실제 제조업체로, 반도체 및 태양광 산업을 위한 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다.
당사의 기술팀은 국내 최고의 연구기관 출신으로, 귀하에게 보다 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.
당사는 더욱 진보된 소재를 제공하기 위해 끊임없이 첨단 공정을 개발하고 있으며, 코팅과 기질 사이의 결합을 더욱 단단하게 하고 분리 가능성을 낮추는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.
우리 공장을 방문해 주셔서 진심으로 환영합니다. 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다!
