SiC 코팅 흑연 서셉터는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 부품입니다. 당사는 특허 기술을 활용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 뛰어난 수명은 물론 높은 내화학성 및 열 안정성을 갖춘 서셉터를 생산합니다.
당사 제품의 특징:
1. 최대 1700℃의 고온 산화 저항성.
2. 높은 순도 및 열적 균일성
3. 뛰어난 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 강함.
4. 높은 경도, 치밀한 표면, 미세한 입자.
5. 더 긴 수명과 뛰어난 내구성
| 심혈관계 질환 SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 晶体结构 결정 구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21 g/cm³ |
| 정도 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 곡물 크기 | 2~10μm |
| 정도 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 승화 온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 굽힘 강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃ |
| 导熭系数 / 써마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등 다양한 코팅이 적용된 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품의 실제 제조업체로서 반도체 및 태양광 산업에 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다.
저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로 구성되어 있어 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공해 드릴 수 있습니다.
당사는 더욱 우수한 소재를 제공하기 위해 첨단 공정을 지속적으로 개발해 왔으며, 코팅과 기판 사이의 접착력을 강화하고 박리 가능성을 줄이는 독자적인 특허 기술을 개발했습니다.
저희 공장 방문을 진심으로 환영합니다! 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다.
