CVDpaninga SiCkei te hanga ano i nga tepe o nga tikanga hanga semiconductor i runga i te tere miharo. Ko tenei hangarau whakakikorua te ahua ngawari kua noho hei otinga matua mo nga wero matua e toru o te poke matūriki, te waikura teitei me te horo plasma i roto i te hanga maramara. Ko nga kaihanga taputapu semiconductor o te ao kua whakarārangihia hei hangarau paerewa mo nga taputapu whakatipuranga. Na, he aha te mea i hanga ai tenei paninga hei "pakaru e kore e kitea" o te hanga maramara? Ka tino tātarihia e tenei tuhinga ona maataapono hangarau, nga tono matua me nga waahanga hou.
Ⅰ. Te whakamaramatanga o te paninga CVD SiC
Ko te paninga CVD SiC e tohu ana ki te paparanga whakamarumaru o te carbide silicon (SiC) kua whakatakotoria ki runga i te tïpako na roto i te mahinga kohu matū (CVD). Ko te Silicon carbide he puhui o te silicon me te waro, e mohiotia ana mo te tino pakeke, te kaha o te waiariki, te koretake matū me te aukati teitei o te pāmahana. Ka taea e te hangarau CVD te hanga i tetahi paparanga SiC tino parakore, kiato me te riterite te matotoru, ka tino rite ki nga ahuahanga matatini. Ma tenei ka tino pai nga paninga CVD SiC mo nga tono tono kaore e taea te whakatutuki e nga taonga tawhito me etahi atu tikanga whakakikorua.
Ⅱ. Tikanga tukanga CVD
Ko te whakangao kohu matū (CVD) he tikanga whakangao maha e whakamahia ana ki te whakaputa i nga rauemi totoka o te kounga teitei, teitei te mahi. Ko te maataapono matua o te CVD ko te tauhohenga o nga kaitapa hau i runga i te mata o te tïpako kua wera hei hanga i te paninga totoka.
Anei he wehewehenga ngawari o te tukanga SiC CVD:
Hoahoa maapono tukanga CVD
1. Te whakataki o mua: Ko nga haurehu kawa, te nuinga o nga haurehu-a-siliconi (hei tauira, methyltrichlorosilane – WhM, silane ranei – SiH₄) me nga hauwao-kei roto (hei tauira, propane – C₃H₈), ka whakauruhia ki roto i te ruma tauhohenga.
2. Te tuku hau: Ka rere enei hau i runga i te taputapu wera.
3. Adsorption: Ko nga ngota ngota o mua ka uru ki te mata o te tïpako wera.
4. Tauhohenga mata: I te teitei o te mahana, ka tauhohenga matū nga ngota ngota kua whakaemihia, ka puta ko te pirau o te parapara me te hanga o te kiriata SiC totoka. Ka tukuna nga hua i roto i te ahua o te hau.
5. Te whakaheke me te whakapau: Ko nga hua o te hau karehue mai i te mata ka pau mai i te ruuma. Ko te whakahaere tika i te pāmahana, te pehanga, te rere o te hau me te kukū o mua he mea nui ki te whakatutuki i nga ahuatanga kiriata e hiahiatia ana, tae atu ki te matotoru, te parakore, te tioata me te piri.
Ⅲ. Nga Whakamahinga o te CVD SiC Coatings i roto i nga Tukatuka Semiconductor
Ko nga paninga CVD SiC he mea nui ki te hanga semiconductor na te mea ko o raatau huinga ahurei o nga rawa e tutuki tika ana ki nga tikanga tino me nga whakaritenga maa o te taiao whakangao. Ka whakarei ake i te parenga ki te waikura plasma, te whakaeke matū, me te whakatipu matūriki, he mea nui enei katoa ki te whakanui ake i te hua angiangi me te wa mahi taputapu.
Ko enei e whai ake nei etahi waahanga whakakikorua CVD SiC noa me o raatau ahuatanga tono:
1. Rūma Etching Plasma me te Mowhiti Arotahi
Hua: CVD SiC whakakikoruatia rangatahi, kaukau, susceptors, me mowhiti arotahi.
Taupānga: I roto i te etching plasma, ka whakamahia te plasma tino kaha ki te tango i nga rawa mai i nga angiangi. Ko nga mea kaore i pania, he iti ake ranei te roa ka paheke, ka pa ki te matūriki me te wa roa. Ko nga paninga CVD SiC he tino pai te atete ki nga matū plasma pukuriri (hei tauira, fluorine, chlorine, bromine plasmas), whakaroa i te ora o nga waahanga ruma matua, me te whakaiti i te whakatipu matūriki, e piki tika ai te hua angiangi.
2.PECVD me nga ruma HDPCVD
Hua: CVD SiC whakakikorua ruma hohenga me nga hiko.
Nga tono: Ko te whakahekenga matū matū whakakaha ake (PECVD) me te plasma kiato teitei CVD (HDPCVD) ka whakamahia hei whakatakoto i nga kiriata angiangi (hei tauira, nga paparanga dielectric, nga papa haangai). Ko enei mahinga ka uru ki nga taiao plasma kino. Ko nga paninga CVD SiC e tiaki ana i nga pakitara o te ruma me nga hiko mai i te horo, me te whakarite kia rite te kounga o te kiriata me te whakaiti i nga hapa.
3. Nga taputapu whakauru katote
Hua: CVD SiC kua whakakikoruatia nga waahanga beamline (hei tauira, nga kohao, nga kapu Faraday).
Nga tono: Ko te whakaurunga katote ka whakauru i nga katote dopant ki roto i nga taputapu semiconductor. Ka taea e nga kurupae katote kaha teitei te pupuhi me te horo o nga waahanga kua kitea. Ko te pakeke me te tino parakore o te CVD SiC ka whakaiti i te whakangao matūriki mai i nga waahanga beamline, hei aukati i te poke o nga wafers i roto i tenei mahi doping tino nui.
4. Nga wahanga reactor epitaxial
Hua: CVD SiC whakakikoruatia susceptors me hau tohatoha.
Nga tono: Ko te tipu epitaxial (EPI) ka uru ki te whakatipu i nga paparanga kiriataarangi tino ota ki runga i te tïpako i te pāmahana teitei. Ko nga kaiawhina kua whakakikoruatia a CVD SiC e tuku ana i te tino pai o te waiariki me te koretake matū i te teitei o te mahana, me te whakarite i te whakamahana rite me te aukati i te poke o te kaitukino, he mea nui ki te whakatutuki i nga paparanga epitaxial-kounga teitei.
I te mea ka iti haere nga ahuahanga maramara me te kaha o te tono, ka piki haere tonu te tono mo nga kaiwhakarato whakakikorua CVD SiC kounga teitei me nga kaihanga whakakikorua CVD.
IV. He aha nga wero o te tukanga whakakikorua CVD SiC?
Ahakoa nga painga nui o te paninga CVD SiC, kei te raru tonu tana hangahanga me tana tono ki etahi wero tukanga. Ko te whakaoti i enei wero te mea matua ki te whakatutuki i nga mahi pumau me te whai hua-utu.
Nga wero:
1. Te piri ki te tïpako
Ka taea e SiC te whakawero ki te eke ki te piri kaha me te riterite ki nga momo taputapu tïpako (hei tauira, graphite, silicon, ceramic) na te rereke o nga whakarea roha wera me te kaha o te mata. Ko te pai o te piri ka arahi ki te delamination i te wa o te paihikara waiariki, te ahotea miihini ranei.
Rongoā:
Te whakarite mata: Te horoi tino me te maimoatanga mata (hei tauira, te tarai, te maimoatanga plasma) o te tïpako hei tango i nga poke me te hanga i te mata tino pai mo te honohono.
Kaiwhangai: Whakatakotoria he papa angiangi, he mea whakahiato, he paparanga parepare ranei (hei tauira, te waro pyrolytic, TaC – he rite ki te paninga CVD TaC i roto i nga tono motuhake) hei whakaiti i te rerekee o te roha wera me te whakatairanga i te piri.
Arotau i nga tawhā whakatakoto: Āta whakahaere i te pāmahana waipara, te pēhanga, me te ōwehenga hau ki te arotau i te nucleation me te tipu o nga kiriata SiC me te whakatairanga i te hononga atanga kaha.
2. Te Ahotea Kiriata me te Ngatata
I te wa e tuku ana, i te whakamahanatanga ranei o muri mai, ka tupu pea nga taumahatanga i roto i nga kiriata SiC, ka pakaru, ka pakaru ranei, ina koa i runga i nga ahuahanga nui, uaua ranei.
Rongoā:
Mana Pawera: Kia tika te whakahaere i nga reiti whakamahana me te whakamatao ki te whakaiti i te wiri wera me te ahotea.
Whakakikorua Rōnaki: Whakamahia nga tikanga whakakikorua paparanga maha, rōnaki ranei hei whakarereke i te hanganga rawa, i te hanganga ranei hei whakamau i te ahotea.
I muri-Deposition Annealing: Whakanuia nga waahanga kua whakakikoruatia hei whakakore i te ahotea me te whakapai ake i te pono o te kiriata.
3. Whakariterite me te Whakaritenga i runga i nga Matahanga Matatini
Ko te whakatakoto i nga paninga riterite te matotoru me te rite ki runga i nga waahanga he ahua uaua, owehenga ahua teitei, he hongere o roto ranei ka uaua pea na te iti o te whakamaaramatanga o mua me nga huringa tauhohenga.
Rongoā:
Arotautanga Hoahoa Reactor: Hoahoa nga reactors CVD me nga hihiri o te rere hau me te riterite o te pāmahana ki te whakarite kia rite te tohatoha o mua.
Whakatikatika Tawhā Tukanga: Whakapaipaihia te pehanga waipara, te rere o te rere, me te kukū o mua ki te whakarei ake i te tiritiri o te hau ki roto i nga ahuatanga uaua.
Te whakatakotoranga maha-waahanga: Whakamahia nga hikoi waipara haere tonu, nga taputapu hurihuri ranei kia pai te paninga o nga mata katoa.
V. FAQ
Q1: He aha te rereketanga matua i waenga i te CVD SiC me te PVD SiC i roto i nga tono semiconductor?
A: Ko nga paninga CVD he hanganga karaihe pourangi me te ma o> 99.99%, e tika ana mo nga taiao plasma; Ko nga whakakikorua PVD ko te nuinga o te amorphous / nanocrystalline me te ma o <99.9%, te nuinga o te whakamahi mo nga whakakai whakapaipai.
Q2: He aha te pāmahana teitei ka taea e te paninga te tu?
A: Ko te manawanui mo te wa poto o te 1650°C (pēnei i te tukanga annealing), te rohe whakamahi mo te wa roa o te 1450°C, ka nui ake i tenei pāmahana ka puta he waahanga whakawhiti mai i te β-SiC ki te α-SiC.
Q3: Awhe matotoru paninga angamaheni?
A: Ko nga waahanga Semiconductor te nuinga o te 80-150μm, a ka taea e nga miihini rererangi EBC nga whakakikorua ki te 300-500μm.
Q4: He aha nga mea matua e pa ana ki te utu?
A: Maamaa o mua (40%), kohi hiko taputapu (30%), mate hua (20%). Ko te utu o nga whakakikorua teitei ka eke ki te $5,000/kg.
Q5: He aha nga kaiwhakarato nui o te ao?
A: Europe me te United States: CoorsTek, Mersen, Ionbond; Ahia: Semixlab, Veteksemicon, Kallex (Taiwan), Scientech (Taiwan)
Wā tuku: Hune-09-2025