Sekepe sa Graphite C/C Carrier Bakeng sa Silicon Wafer PECVD

Sekepe sa graphite se sebelisoang ho PECVD ea mohala oa tlhahiso ea lisele tsa letsatsi

Tlhahiso ea lisele tsa letsatsi e hloka lits'ebetso tse tšeletseng tse kholo: ho daea, ho hasanya, ho fata, ho penta, ho hatisa ka skrine le ho sinter. Ha ho etsoa lisele tsa letsatsi, ts'ebetso ea ho penta ka tube ea PECVD e sebelisa sekepe sa graphite e le 'mele o sebetsang. Ts'ebetso ea ho penta e sebelisa plasma e ntlafalitsoeng ke mouoane oa lik'hemik'hale ho beha filimi ea silicon nitride ka pele ho wafer ea silicon ho fokotsa khanya ea letsatsi le bokaholimo ba wafer ea silicon.

Likarolo tsa sekepe sa rona sa graphite sa PECVD:
1). E amohetsoe ho felisa theknoloji ea "lilense tsa mebala", ho netefatsa hore ha e na "lilense tsa coloe" nakong ea ts'ebetso ea nako e telele.
2). E entsoe ka thepa ea graphite e tsoang kantle ho naha e nang le bohloeki bo phahameng, litšila tse tlase le matla a phahameng.
3). Ho sebedisa ceramic ya 99.9% bakeng sa kopano ya ceramic e nang le tshebetso e matla e hanelang mafome le e sa senyeheng.
4). Ho sebelisa lisebelisoa tsa ho sebetsana le ho nepahala ho netefatsa ho nepahala ha karolo ka 'ngoe.

Tlhaloso

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ke kgwebo ya theknoloji e phahameng e shebaneng le tlhahiso le thekiso ya thepa e tsoetseng pele ya maemo a hodimo, thepa le theknoloji ho kenyeletswa graphite, silicon carbide, ceramics, kalafo ya bokahodimo jwalo ka SiC coating, TaC coating, khalase carbon coating, pyrolytic carbon coating, jj., dihlahiswa tsena di sebediswa haholo ho photovoltaic, semiconductor, new eneji, metallurgy, jj.

Sehlopha sa rona sa botekgeniki se tsoa litsing tse holimo tsa lipatlisiso tsa lehae, 'me se ntlafalitse mahlale a mangata a nang le patente ho netefatsa ts'ebetso le boleng ba sehlahisoa, se ka boela sa fa bareki litharollo tsa thepa ea profeshenale.