Karolo e ka tlase ea Graphite e koahetsoeng ka Silicon Carbide bakeng sa Semiconductor, MOCVD Susceptor

Tlhaloso e Khutšoanyane:

VET Energy SiC Coated Susceptor ke sehlahisoa se sebetsang hantle se etselitsoeng ho fana ka ts'ebetso e tsitsitseng le e tšepahalang ka nako e telele. E na le khanyetso e ntle haholo ea mocheso le ho tšoana ha mocheso, bohloeki bo phahameng, khanyetso ea khoholeho ea mobu, e leng se etsang hore e be tharollo e phethahetseng bakeng sa lits'ebetso tsa ts'ebetso ea wafer.

Sebaka sa Tšimoloho:Zhejiang, China (Bohareng)

Sebopeho sa Lik'hemik'hale:Graphite e koahetsoeng ka SiC

Matla a ho tenyetseha:470Mpa

Ho tsamaisa mocheso:300 W/mK

Boleng:E phethahetse

Mosebetsi:CVD-SiC

Kopo:Semiconductor / Photovoltaic

Botenya:3.21 g/cc

Katoloso ea mocheso:4 10-6/K

Molora: <5ppm

Mohlala:E fumaneha

Khoutu ea HS:6903100000

Romella imeile ho rona Khoasolla e le PDF

Qaqiso ea Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

VET Energy SiC Coated Susceptorke tharollo e sebetsang hantle e entsoeng ka hloko ho fana ka ts'ebetso e tšepahalang le e tsitsitseng nakong eohle ea bophelo bo bolelele, ho fihlela litlhoko tse thata tsa tlhahiso ea semiconductor. E na le khanyetso e ikhethang ea mocheso, ho tšoana ho phahameng ha mocheso, le bohloeki bo phahameng, sehlahisoa sena se loketse bajari ba li-wafer tsa MOCVD le lits'ebetso tse ling tsa ts'ebetso ea li-wafer tse hlokang botsitso le ho nepahala. Khanyetso ea eona e matla ea khoholeho ea mobu e etsa hore e be khetho ea boleng bo holimo bakeng sa libaka tseo ho tšoarella le ho mamella lik'hemik'hale ho leng bohlokoa ho tsona.

Ea ronaSesepa sa Graphite se koahetsoeng ka SiCE eme e le karolo ea bohlokoa ts'ebetsong ea tlhahiso ea semiconductor, e sebelisa theknoloji e ikhethileng ea patente ea VET Energy ho fihlela bohloeki bo phahameng haholo, ho tšoana ho phahameng ha ho roala, le botsitso bo tsotehang ba mocheso. Ho roala ho ntlafatsa substrate ea graphite ka khanyetso e phahameng ea lik'hemik'hale le bophelo bo bolelele ba ts'ebeletso. Boinehelo ba VET Energy ho boleng bo hlahisitse susceptor e koahetsoeng ka SiC e fihlelang litlhoko tse ntseng li fetoha tsa 'maraka oa carrier oa graphite wafer, e beha maemo a holimo bakeng sa susceptors ea graphite e koahetsoeng ka SiC e sebelisoang hoMekhoa ea MOCVD.

Likarolo tsa Bohlokoa tsa SiC Coated Susceptors:

1. Khanyetso ea ho Kena ha Oxidation ka Mocheso o Phahameng:E mamella mocheso ho fihlela ho 1700℃, e leng se etsang hore e lokele maemo a feteletseng a ts'ebetso.

2. Ho Hloeka ho Hoholo le ho Tšoana ha Thermal:E netefatsa liphetho tse tsitsitseng, tsa bohlokoa bakeng saLi-susceptor tsa MOCVDle lits'ebetso tse ling tse nepahetseng.

3. Khanyetso e Hlollang ea Ts'enyeho:E mamella asiti, alkali, letsoai le lintho tse ling tse fapaneng tse sebetsang ka tlhaho.

4. Thatafalo e Ntlafalitsoeng ea Bokaholimo:Bokaholimo bo kopaneng bo nang le dikarolwana tse nyane tse fanang ka ho tšoarella le ho phela nako e telele.

5. Bophelo bo Atolositsoeng ba Tšebeletso:E entsoe bakeng sa ts'ebetso e tsitsitseng, e sebetsa hantle ho feta li-susceptor tse tloaelehileng tse koahetsoeng ka silicon carbide maemong a thata a ts'ebetso.

Jwalo ka moetsi ya etellang pele, VET Energy e ikgethile ka graphite lelihlahisoa tsa silicon carbideka dikgetho tse fapaneng tsa ho roala, ho kenyeletsoaSekoahelo sa SiC, Sekoahelo sa TaC, sekoahelo sa khabone se kang khalase, le pente ea carbon e nang le pyrolytic. Re motlotlo ho sebeletsa liindasteri tsa semiconductor le photovoltaic, re fana ka li-susceptor tsa graphite tse koahetsoeng ka silicon carbide tse fihlelang litlhoko tse itseng tsa ts'ebetso.

Sehlopha sa rona sa botekgeniki, se nang le boiphihlelo bo tsoang litsi tse holimo tsa lipatlisiso tsa lehae, se inehetse ho nts'etsapele litharollo tsa thepa bakeng sa litlhoko tse ntseng li fetoha tsaSesebelisi sa graphite se koahetsoeng ka SiC'maraka. Ka ts'ebetso ea rona e nang le patente, VET Energy e hlahisitse theknoloji e ikhethang e ntlafatsang haholo matla a tlamo pakeng tsa sekoahelo sa silicon carbide le substrate, e fokotsang kotsi ea ho arohana le ho ntlafatsa ts'epo ea nako e telele.

Likopo le Melemo ea Ts'ebetso ea Semiconductor

TheSekoahelo sa SiC bakeng sa MOCVDe nolofalletsasesebelisoa sa graphitedikarolo ho boloka botsitso tlasa maemo a mocheso o phahameng le a senyang, e leng sa bohlokwa bakeng sa tlhahiso e nepahetseng ya semiconductor. Dikarolo tsena tsa graphite tse manehilweng ka SiC di ananelwa haholo-holo ditshebetsong tse hlokang di-susceptor tse manehilweng ka silicon carbide bakeng sabajari ba graphite wafer, tse hlokang botsitso bo phahameng ba mocheso, bohloeki le ho hanyetsa khoholeho ea lik'hemik'hale.

Ka mekhoa ea rona e tsoetseng pele ea ho roala silicon carbide, VET Energy e ntse e tsoela pele ho tšehetsa 'maraka oa carrier oa graphite wafer ka ho fana ka ts'ebetso e ikhethileng le e phahameng.Li-susceptor tsa graphite tse koahetsoeng ka SiCtse sebetsanang le liphephetso tse ikhethileng indastering, ho tloha lits'ebetsong tsa MOCVD ho isa lits'ebetsong tse hloekileng haholo lefapheng la semiconductor.