Terei ea ho kenya ea VET Energy PECVD ke sesebelisoa sa ho kenya ka nepo se etselitsoeng ts'ebetso ea PECVD (plasma e ntlafalitsoeng ke mouoane oa lik'hemik'hale). Terei ena ea graphite ea boleng bo holimo e entsoe ka thepa ea graphite e hloekileng haholo, e nang le bongata bo phahameng. E na le khanyetso e ntle ea mocheso o phahameng, khanyetso ea mafome, botsitso ba litekanyo le litšobotsi tse ling. E ka fana ka sethala se tsitsitseng sa sesebelisoa bakeng sa ts'ebetso ea PECVD le ho netefatsa hore ho na le ho tšoana le ho batalla ha sesebelisoa sa ho kenya filimi.
Literei tsa ho kenya tsa VET Energy PECVD li sebelisoa haholo masimong a semiconductor, photovoltaic, LED le a mang. Mohlala:
▪ Semiconductor: Ts'ebetso ea PECVD bakeng sa thepa ea semiconductor joalo ka li-wafer tsa silicon le li-wafer tsa epitaxial.
▪ Photovoltaic: Ts'ebetso ea PECVD bakeng sa lifilimi tse tšesaane tsa sele ea letsatsi.
▪ LED: Ts'ebetso ea PECVD bakeng sa li-chip tsa LED.
Melemo ea Sehlahisoa
▪Ntlafatsa boleng ba filimi:Netefatsa hore filimi e kenngoa ka mokhoa o ts'oanang 'me u ntlafatse boleng ba filimi.
▪Eketsa nako ea lisebelisoa:E hanyetsa mafome hantle haholo, e eketsa bophelo ba ts'ebeletso ea lisebelisoa tsa PECVD.
▪Fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso:Literei tsa graphite tsa boleng bo holimo li ka fokotsa sekhahla sa lithōle le ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso.
Thepa ea graphite e tsoang ho SGL:
| Paramethara e tloaelehileng: R6510 | |||
| Index | Tekanyetso ea teko | Boleng | Yuniti |
| Boholo bo tloaelehileng ba lijo-thollo | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bongata ba bongata | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Maro a bulehileng | DIN66133 | 10 | % |
| Boholo ba masoba a mahareng | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Ho kenella ha metsi | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Thatafalo ea Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Ho hanyetsa motlakase ka ho khetheha | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Matla a ho tenyetseha | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Matla a khatello | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulus ea Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Katoloso ea mocheso (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Ho tsamaisa mocheso (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
E etselitsoe ka ho khetheha tlhahiso ea lisele tsa letsatsi tse sebetsang hantle haholo, e tšehetsang ts'ebetso ea wafer ea boholo bo boholo ba G12. Moralo o ntlafalitsoeng oa carrier o eketsa tlhahiso haholo, o nolofalletsang sekhahla se phahameng sa chai le litšenyehelo tse tlase tsa tlhahiso.
| Ntho | Mofuta | Sejari sa wafer sa nomoro |
| Sekepe sa PEVCD Grephite - Letoto la 156 | Sekepe sa grephite sa 156-13 | 144 |
| Sekepe sa grephite sa 156-19 | 216 | |
| Sekepe sa grephite sa 156-21 | 240 | |
| Sekepe sa graphite sa 156-23 | 308 | |
| Sekepe sa PEVCD Grephite - Letoto la 125 | Sekepe sa grephite sa 125-15 | 196 |
| Sekepe sa grephite sa 125-19 | 252 | |
| Sekepe sa 125-21 sa grphite | 280 |
-
Tšehetso ea Wafer ea Graphite ea PECVD
-
Bophelo ba Tšebeletso e Telele Isostatic Tobetsa Graphite H ...
-
Mocheso o phahameng oa graphite poleiti le ...
-
Phepelo ea fektheri ea graphite pampiri ea boleng bo holimo pyro ...
-
Thapo ea graphite ea k'habone
-
Graphite magnetic pompo Sliding behang qhoaele-res ...