Sekepe sa Quartz se Hloekileng Haholo bakeng sa ho Sebetsa ka Wafer

Sekepe sa Quartz Waferke sesebelisoa sa bohlokoa sa ho jara thepa tlhahisong ea semiconductor, tlhahiso ea lisele tsa photovoltaic le lipatlisiso le nts'etsopele e tsoetseng pele ea thepa, e etselitsoeng phetiso e tsitsitseng ea wafer le ho beha litsamaisong tsa mocheso o phahameng. Sehlahisoa sena se entsoe ka silica e kopantsoeng e hloekileng haholo (SiO2), e nang le khanyetso e ntle ea mocheso, botsitso ba lik'hemik'hale le litšobotsi tsa tšilafalo ea tšepe e tlase haholo, e loketseng sebōpi sa ho hasana, sebōpi sa oxidation, PECVD/LPCVD le lisebelisoa tse ling, tse sebelisoang haholo ho penteng ea wafer, ho kenngoa ha ion, ho kenngoa ha mocheso o phahameng le mekhoa e meng ea mantlha.

Melemo ea Bohlokoa ea sekepe sa quartz sa VET Energy:

• Thepa ea bohloeki bo phahameng haholo
  Bohloeki ≥99.99%: Dikahare tsa tshilafalo (Na, K, Fe, jj.) <5ppm, ho qoba tshilafalo ya wafer le ho netefatsa chai ya chip.
  Pula e tlase le ho monya metsi: bokaholimo bo bentšitsoe haholo (Ra≤0.4μm) ho fokotsa ho khomarela ha likaroloana le masala a khase.
• Botsitso ba mocheso o phahameng
  Moeli oa mocheso: Mocheso oa nako e telele oa ho sebetsa oa 1100℃, tlhoro ea nako e khuts'oane ea 1300℃, ha ho na phetoho, ha ho na pula ea kristale.
  Koefficient e tlase ea katoloso ea mocheso (5.5x10-7/℃), khanyetso e ntle ea ho ts'oaroa ke mocheso, e ikamahanyang le ho phahama ka potlako ha mocheso le ts'ebetso ea ho oa (mohlala, RTP rapid annealing).
• Moralo o nepahetseng oa meaho
  Ho nepahala ha sebaka±0.1mm: ho bapisa di-wafer tsa 2”ho isa ho 12”, phoso ya ho lekana ha sebaka <0.05mm, ho netefatsa hore di-wafer ha di na phetolo.
  Bokgoni bo phahameng ba ho jara: Moroalo o moholo wa di-wafer tse 50 (ho ya ka di-wafer tse 12”) ka sekepeng se le seng, o tshehetsang phetiso e tsitsitseng ya di-wafer tse tshesane (≥100um).
• Ho se sebetse ha lik'hemik'hale
  Ho hanyetsa mafome: E hanela asiti (ntle le HF), ho bola ha alkali le organic solvent, e tsamaellana le ts'ebetso ea ho hloekisa ea CMP.
  Ho tiea ha khase ho babatsehang: Sekhahla sa ho dutla ha metsi <5x10-10 Pa.m3/s, se loketse tikoloho ea vacuum le e sireletsang khase.
• Bophelo bo bolelele le ho bolokeha
  Nako ea bophelo e ka ba ≥ lipotoloho tse 5000 (maemo a tloaelehileng a mosebetsi), bokaholimo bo ka hloekisoa le ho sebelisoa khafetsa, ho fokotsa litšenyehelo ka kakaretso.
  Moralo oa modular: o tšehetsa ho nkeloa sebaka ka karolo e itseng (mohlala, leino le le leng la sekepe), ho fokotsa nako ea ho sebetsa.

Re fana ka libaka tse bonaletsang le tse nang le serame ho latela litlhoko tsa bareki:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ke kgwebo ya theknoloji e phahameng e shebaneng le tlhahiso le thekiso ya thepa e tsoetseng pele ya maemo a hodimo, thepa le theknoloji ho kenyeletswa graphite, silicon carbide, ceramics, kalafo ya bokahodimo jwalo ka SiC coating, TaC coating, khalase carbon coating, pyrolytic carbon coating, jj., dihlahiswa tsena di sebediswa haholo ho photovoltaic, semiconductor, new eneji, metallurgy, jj.

Sehlopha sa rona sa botekgeniki se tsoa litsing tse holimo tsa lipatlisiso tsa lehae, 'me se ntlafalitse mahlale a mangata a nang le patente ho netefatsa ts'ebetso le boleng ba sehlahisoa, se ka boela sa fa bareki litharollo tsa thepa ea profeshenale.