VET Energy e shebane le R&D le tlhahiso ea masale a graphite a koahetsoeng ka CVD tantalum carbide (TaC) a sebetsang hantle, 'me e ikemiselitse ho fana ka litharollo tsa mantlha tsa thepa e ka sebelisoang bakeng sa liindasteri tsa semiconductor, photovoltaic le tsa mocheso o phahameng. Theknoloji ea rona ea chemical vapor deposition (CVD) e iketselitseng e etsa seaparo se teteaneng le se tšoanang sa tantalum carbide holim'a substrate ea graphite ka lits'ebetso tse nepahetseng, e ntlafatsa haholo khanyetso ea mocheso o phahameng oa sehlahisoa (>3000℃), khanyetso ea mafome le khanyetso ea mocheso, e atolosa bophelo ba ts'ebeletso ka makhetlo a fetang 3, le ho fokotsa litšenyehelo tse felletseng tsa bareki.
Melemo ea rona ea botekgeniki:
1. Khanyetso ea ho oxidation ea mocheso o phahameng
Sepakapakeng sa moea sa 1200℃, sekhahla sa keketseho ea boima ba oxidation ke ≤0.05mg/cm²/h, e leng nako e fetang makhetlo a mararo ea ho hanyetsa oxidation ea graphite e tloaelehileng, 'me e loketse maemo a potoloho ea ho futhumatsa le ho pholisa ea maqhubu a phahameng.
2. Ho hanyetsa ts'enyeho ea silicon/tšepe e qhibilihisitsoeng
Sekoahelo sa TaC ha se sebetse hantle haholo ho litšepe tse kang silicon e metsi (1600℃), aluminium/koporo e qhibilihisitsoeng, jj., e qoba ho hloleha ha sebopeho sa masale a tataiso a setso ka lebaka la ho kenella ha tšepe, haholo-holo e loketse li-semiconductor tsa motlakase le tlhahiso ea li-semiconductor tsa moloko oa boraro.
3. Tšilafalo ea likaroloana tse tlase haholo
Ts'ebetso ea CVD e fihlella bongata ba ho koahela ba >99.5% le ho teteana ha bokaholimo ba Ra≤0.2μm, e fokotsang kotsi ea ho tšoloha ha likaroloana mohloling le ho fihlela litlhoko tse thata tsa bohloeki ba moetsi oa wafer oa lisenthimithara tse 12.
4. Taolo e nepahetseng ea boholo
Ka ho amohela ho sebetsa ka ho nepahala ha CNC, boholo ba mamello ea graphite substrate ke ± 0.01mm, 'me phetoho ka kakaretso kamora ho penta ke <± 5μm, e loketseng ho kenngoa likamoreng tsa lisebelisoa tse nepahetseng haholo.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Thepa ea 'mele ea TaC sekoahelo | |
| 密度/ Botenya | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Ho ntša metsi ka ho khetheha | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Koefficient ea katoloso ea mocheso | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Boima (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Khanyetso | 1 × 10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Botsitso ba mocheso | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Liphetoho tsa boholo ba graphite | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Botenya ba ho roala | ≥30um boleng bo tloaelehileng (35um ± 10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ke kgwebo ya theknoloji e phahameng e shebaneng le ntshetsopele le tlhahiso ya thepa e tsoetseng pele ya maemo a hodimo, thepa le theknoloji ho kenyeletswa graphite, silicon carbide, ceramics, kalafo ya bokahodimo jwalo ka SiC coating, TaC coating, khalase carbon coating, pyrolytic carbon coating, jj., dihlahiswa tsena di sebediswa haholo ho photovoltaic, semiconductor, new eneji, metallurgy, jj.
Sehlopha sa rona sa botekgeniki se tsoa litsing tse holimo tsa lipatlisiso tsa lehae, 'me se ntlafalitse mahlale a mangata a nang le patente ho netefatsa ts'ebetso le boleng ba sehlahisoa, se ka boela sa fa bareki litharollo tsa thepa ea profeshenale.
-
Khalase e sa keneleng mocheso e nang le khabone e chesang
-
Sesepa se koahetsoeng sa Tantalum carbide bakeng sa sephaphatha
-
Customized Glass Carbon Fruit Bakeng sa Laboratori ...
-
Sekepe sa Crystal se entsoeng ka Silicon Carbide se Nchafalitsoeng Bakeng sa ...
-
Lesale la tataiso la graphite le koahetsoeng ka TaC
-
Karolo e ka Holimo le e ka Tlase ea Graphite Karolo ea Khoeli ea Si ...