குவார்ட்ஸ் வேஃபர் படகுகுறைக்கடத்தி உற்பத்தி, ஒளிமின்னழுத்த மின்கல உற்பத்தி மற்றும் மேம்பட்ட மூலப்பொருள் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு ஆகியவற்றில் ஒரு முக்கிய தாங்கிக் கருவியாக விளங்கும் இது, உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் வேஃபரை நிலையாக இடமாற்றம் செய்வதற்கும் நிலைநிறுத்துவதற்கும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்தத் தயாரிப்பு, மிக அதிகத் தூய்மையான உருகிய சிலிக்காவால் (SiO2) ஆனது. இது சிறந்த வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் மிகக் குறைந்த உலோக மாசுபடுதல் போன்ற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. பரவல் உலை, ஆக்சிஜனேற்ற உலை, PECVD/LPCVD மற்றும் பிற உபகரணங்களுக்கு ஏற்ற இது, வேஃபர் பூச்சு, அயனிப் பதியவைப்பு, உயர் வெப்பநிலை பதப்படுத்துதல் மற்றும் பிற கோர் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
VET எனர்ஜியின் குவார்ட்ஸ் படகின் முக்கிய நன்மைகள்:
- மிக அதிக தூய்மையான பொருள்
தூய்மை ≥99.99%: அசுத்தங்களின் (சோடியம், பொட்டாசியம், இரும்பு போன்றவை) அளவு <5 ppm ஆக இருப்பதால், வேஃபர் மாசுபடுவது தவிர்க்கப்பட்டு, சில்லு உற்பத்திக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கப்படுகிறது.
குறைந்த வீழ்படிவு மற்றும் உறிஞ்சுதல்: துகள் ஒட்டுதலையும் வாயு எச்சத்தையும் குறைப்பதற்காக மேற்பரப்பு மிக நேர்த்தியாக மெருகூட்டப்பட்டுள்ளது (Ra≤0.4μm). - உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை
வெப்பநிலை வரம்பு: நீண்ட கால இயக்க வெப்பநிலை 1100℃, குறுகிய கால உச்ச வெப்பநிலை 1300℃, உருமாற்றம் இல்லை, படிக வீழ்படிவு இல்லை.
குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (5.5x10-7/℃), சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத்திறன், விரைவான வெப்பநிலை உயர்வு மற்றும் வீழ்ச்சி செயல்முறைக்கு ஏற்றது (எ.கா. RTP விரைவு பதப்படுத்துதல்). - துல்லியமான கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு
ஸ்லாட் துல்லியம் ±0.1 மிமீ: 2” முதல் 12” வரையிலான வேஃபர்களைப் பொருத்துதல், இடைவெளி சீரான தன்மைப் பிழை <0.05 மிமீ, வேஃபர்களில் இடப்பெயர்ச்சி இல்லை என்பதை உறுதி செய்தல்.
அதிக சுமை தாங்கும் திறன்: ஒரே கலனில் அதிகபட்சமாக 50 வேஃபர்களை (12” வேஃபர்கள் அளவில்) ஏற்றிச் செல்லும் திறன், மேலும் மெல்லிய வேஃபர்களை (≥100um) நிலையாகக் கொண்டு செல்வதை ஆதரிக்கிறது. - வேதியியல் மந்தத்தன்மை
அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்: அமிலம் (HF தவிர), காரம் மற்றும் கரிம கரைப்பான் அரிப்பை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது, CMP சுத்திகரிப்பு செயல்முறைக்கு ஏற்றது.
சிறந்த வாயு புகாத்தன்மை: கசிவு விகிதம் <5x10⁻¹⁰ Pa.m³/s, வெற்றிடம் மற்றும் பாதுகாப்பு வாயு சூழல்களுக்கு ஏற்றது. - நீண்ட ஆயுள் மற்றும் பராமரிப்புத்திறன்
ஆயுட்காலம் ≥ 5000 சுழற்சிகள் (சாதாரண வேலைச் சூழலில்), மேற்பரப்பை மீண்டும் மீண்டும் சுத்தம் செய்து பயன்படுத்தலாம், இது ஒட்டுமொத்த செலவைக் குறைக்கிறது.
மாடுலர் வடிவமைப்பு: பகுதி மாற்றீட்டை (எ.கா. ஒற்றைப் படகுப் பல்) ஆதரித்து, வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது.
வாடிக்கையாளரின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, ஒளிபுகும் மற்றும் மங்கலான மேற்பரப்புகள் இரண்டையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம்:
நிங்போ VET எனர்ஜி டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட் என்பது உயர்தர மேம்பட்ட பொருட்களின் உற்பத்தி மற்றும் விற்பனையில் கவனம் செலுத்தும் ஒரு உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாகும். கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு, செராமிக்ஸ், SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கிளாஸி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற மேற்பரப்பு சிகிச்சைகள் உள்ளிட்ட பொருட்கள் மற்றும் தொழில்நுட்பங்கள், ஒளிமின்னழுத்தம், குறைக்கடத்தி, புதிய ஆற்றல், உலோகவியல் போன்றவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு, உள்நாட்டின் முன்னணி ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களைச் சேர்ந்தவர்களைக் கொண்டது. இவர்கள், தயாரிப்பின் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்வதற்காகப் பல காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பங்களை உருவாக்கியுள்ளனர். மேலும், வாடிக்கையாளர்களுக்குத் தொழில்முறை மூலப்பொருள் தீர்வுகளையும் வழங்க முடியும்.
