ถาดและฝาปิดเคลือบกราไฟต์ซิลิคอนคาร์ไบด์

คำอธิบายโดยย่อ:

แผ่นกราไฟต์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของ VET Energy เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ในระยะยาว มีคุณสมบัติทนความร้อนและกระจายความร้อนได้ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในกระบวนการผลิตเวเฟอร์

 

 


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

วีที เอนเนอร์จีถาดกราไฟต์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์แผ่นรองและฝาครอบได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้ประสิทธิภาพระดับสูงสุด มอบการทำงานที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอในการใช้งานระยะยาว ทำให้เป็นตัวเลือกที่จำเป็นสำหรับงานประมวลผลเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ประสิทธิภาพสูงนี้แผ่นกราไฟต์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีคุณสมบัติเด่นด้านความทนทานต่อความร้อนสูง ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่เหนือกว่า และความเสถียรทางเคมีที่ยอดเยี่ยม โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาวะอุณหภูมิสูง โครงสร้างที่มีความบริสุทธิ์สูง ผสานกับความทนทานต่อการกัดกร่อนขั้นสูง ทำให้เป็นวัสดุที่ขาดไม่ได้สำหรับสภาพแวดล้อมที่ต้องการความทนทานสูง เช่นตัวรับ MOCVD.

7

คุณสมบัติหลักของถาด จาน และฝาปิดกราไฟต์เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์

1. ความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง:ทนต่ออุณหภูมิได้สูงถึง 1700℃ ทำให้สามารถทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือในสภาวะที่รุนแรง

2. ความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอทางความร้อน:ความบริสุทธิ์สูงที่สม่ำเสมอและการกระจายความร้อนที่ทั่วถึงเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการใช้งาน MOCVD

3. ทนทานต่อการกัดกร่อนเป็นพิเศษ:ทนทานต่อกรด ด่าง เกลือ และสารเคมีอินทรีย์ต่างๆ ทำให้มีเสถียรภาพในระยะยาวในสภาพแวดล้อมที่หลากหลาย

4. ความแข็งสูงและพื้นผิวแน่น:มีพื้นผิวหนาแน่นด้วยอนุภาคละเอียด ช่วยเพิ่มความทนทานและต้านทานการสึกหรอโดยรวม

5. อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น:ออกแบบมาเพื่ออายุการใช้งานที่ยาวนาน มีประสิทธิภาพเหนือกว่าแบบทั่วไปตัวรองรับกราไฟต์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ในสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่รุนแรง

 

โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / มูลค่าทั่วไป

晶体结构 / โครงสร้างผลึก

เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 กรัม/ซม³

硬度 / ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / ขนาดเมล็ด

2~10 ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี

99.99995%

热容 / ความจุความร้อน

640 จูล·กก.-1·K-1

升华温度 อุณหภูมิการระเหิด

2700℃

抗弯强度 / ความแข็งแรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 โมดูลัสของยัง

430 GPa ดัด 4 จุด 1300℃

导热系数 / เทอร์มาการนำไฟฟ้า

300 วัตต์·เมตร-1·K-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน (CTE)

4.5×10-6K-1

ความเชี่ยวชาญของ VET Energy ในด้านโซลูชันกราไฟต์และซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเอง

ในฐานะผู้ผลิตที่ได้รับความไว้วางใจ VET Energy เชี่ยวชาญในการออกแบบตัวรองรับกราไฟต์และสารเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ตามสั่ง เรามีผลิตภัณฑ์หลากหลายที่ปรับแต่งให้เหมาะสมสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และพลังงานแสงอาทิตย์ รวมถึง...ส่วนประกอบกราไฟต์เคลือบ SiCเช่น ถาด จาน และฝาปิด นอกจากนี้ ผลิตภัณฑ์ของเรายังมีตัวเลือกการเคลือบผิวที่หลากหลาย เช่นการเคลือบ SiC สำหรับ MOCVD, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแก้วและการเคลือบด้วยคาร์บอนไพโรไลติก เพื่อให้มั่นใจว่าเราสามารถตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของอุตสาหกรรมไฮเทคได้

ทีมงานด้านเทคนิคที่มีประสบการณ์ของเรา ซึ่งประกอบด้วยผู้เชี่ยวชาญจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ ให้บริการโซลูชันด้านวัสดุที่ครอบคลุมแก่ลูกค้า เราปรับปรุงกระบวนการขั้นสูงของเราอย่างต่อเนื่อง รวมถึงเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะของเรา ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการยึดเกาะระหว่างสารเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์และพื้นผิวแกรไฟต์ ลดความเสี่ยงในการหลุดลอก และยืดอายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์ให้ยาวนานยิ่งขึ้น

การประยุกต์ใช้และประโยชน์ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เดอะการเคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับ MOCVDทำให้ตัวรองรับกราไฟต์เหล่านี้มีประสิทธิภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน ไม่ว่าจะใช้เป็นตัวรองรับแผ่นเวเฟอร์กราไฟต์หรือส่วนประกอบ MOCVD อื่นๆ ตัวรองรับที่เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์เหล่านี้แสดงให้เห็นถึงความทนทานและประสิทธิภาพที่เหนือกว่า สำหรับผู้ที่กำลังมองหาโซลูชันที่เชื่อถือได้ในด้านนี้ตัวรองรับกราไฟต์เคลือบ SiCในตลาด ผลิตภัณฑ์ถาด จาน และฝาปิดกราไฟต์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของ VET Energy นำเสนอทางเลือกที่แข็งแกร่งและใช้งานได้หลากหลาย ซึ่งตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ด้วยการมุ่งเน้นไปที่วิทยาศาสตร์วัสดุขั้นสูง VET Energy มุ่งมั่นที่จะส่งมอบโซลูชันกราไฟต์เคลือบ SiC ประสิทธิภาพสูง ซึ่งขับเคลื่อนนวัตกรรมในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และรับประกันประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในแอปพลิเคชันที่เกี่ยวข้องกับ MOCVD ทั้งหมด

1

2

VET Energy เป็นผู้ผลิตตัวจริงของผลิตภัณฑ์กราไฟต์และซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเอง พร้อมการเคลือบผิวที่หลากหลาย เช่น การเคลือบ SiC, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแก้ว, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เป็นต้น และสามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และพลังงานแสงอาทิตย์ได้

ทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถนำเสนอโซลูชันด้านวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากยิ่งขึ้นให้แก่คุณได้

เราพัฒนาปรับปรุงกระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุที่ล้ำหน้ายิ่งขึ้น และได้คิดค้นเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวแน่นหนาขึ้นและหลุดลอกยากขึ้น

ยินดีต้อนรับท่านเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราอย่างอบอุ่น มาพูดคุยกันเพิ่มเติมเถอะ!

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

    แชทออนไลน์ผ่าน WhatsApp!