แผ่นถาดและฝาครอบกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์

คำอธิบายสั้น ๆ :

แผ่นและฝาครอบกราไฟต์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ VET Energy เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ยาวนาน ทนความร้อนได้ดีเยี่ยมและสม่ำเสมอ บริสุทธิ์สูง ทนต่อการสึกกร่อน ทำให้เป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานการประมวลผลเวเฟอร์

 


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

วีอีที เอนเนอร์จีถาดกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์แผ่นและฝาครอบได้รับการออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพระดับสูงสุด ให้การทำงานที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอตลอดการใช้งานที่ยาวนาน ทำให้เป็นตัวเลือกที่จำเป็นสำหรับการใช้งานการประมวลผลเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ แผ่นและฝาครอบประสิทธิภาพสูงนี้แผ่นกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์มีคุณสมบัติทนความร้อนได้ดีเยี่ยม มีความสม่ำเสมอของความร้อนสูง และมีเสถียรภาพทางเคมีที่โดดเด่น โดยเฉพาะในสภาวะที่มีอุณหภูมิสูง โครงสร้างที่มีความบริสุทธิ์สูงควบคู่ไปกับความทนทานต่อการกัดกร่อนขั้นสูง ทำให้จำเป็นสำหรับสภาพแวดล้อมที่ต้องการความแม่นยำสูง เช่นตัวรับ MOCVD.

7

คุณสมบัติหลักของถาด แผ่น และฝาปิดกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์

1. ทนทานต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง:ทนอุณหภูมิได้สูงถึง 1,700℃ ช่วยให้ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือในสภาวะที่รุนแรง

2. ความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอของความร้อน:ความบริสุทธิ์สูงอย่างสม่ำเสมอและการกระจายความร้อนสม่ำเสมอเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการใช้งาน MOCVD

3. ความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยม:ทนทานต่อกรด ด่าง เกลือ และสารอินทรีย์ต่างๆ ช่วยให้มีเสถียรภาพในระยะยาวในสภาพแวดล้อมที่หลากหลาย

4. ความแข็งสูงและพื้นผิวที่กะทัดรัด:มีคุณสมบัติพื้นผิวหนาแน่นด้วยอนุภาคละเอียด ซึ่งช่วยเพิ่มความทนทานโดยรวมและต้านทานการสึกหรอ

5. อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น:ออกแบบมาเพื่ออายุการใช้งานยาวนาน เหนือกว่าผลิตภัณฑ์ทั่วไปตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ในสภาพแวดล้อมการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่รุนแรง

 

โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / ค่าทั่วไป

晶体结构 / โครงสร้างผลึก

เฟส β ของ FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 ก./ซม.³

硬度 / ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / ขนาดเมล็ดพืช

2~10ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี

99.99995%

热容 / ความจุความร้อน

640 จ·กก.-1·เค-1

升华温度 / อุณหภูมิการระเหิด

2700℃

抗弯强度 / ความแข็งแรงในการดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

430 Gpa 4pt โค้ง 1300℃

导热系数 / เทอร์มาการนำไฟฟ้า

300 วัตต์·ม.-1·เค-1

热膨胀系数 / การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (CTE)

4.5×10-6K-1

ความเชี่ยวชาญของ VET Energy ในด้านโซลูชันกราไฟต์และซิลิกอนคาร์ไบด์ที่กำหนดเอง

ในฐานะผู้ผลิตที่เชื่อถือได้ VET Energy มีความเชี่ยวชาญด้านการออกแบบตัวรับกราไฟต์และโซลูชันการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ เราเสนอผลิตภัณฑ์ต่างๆ มากมายที่ออกแบบมาสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และโฟโตวอลตาอิค รวมถึงส่วนประกอบกราไฟท์เคลือบ SiCเช่น ถาด จาน และฝาครอบ ผลิตภัณฑ์ของเรายังมีตัวเลือกการเคลือบที่หลากหลาย เช่นการเคลือบ SiC สำหรับ MOCVD, การเคลือบ TaC, เคลือบคาร์บอนแก้วและการเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเราจะตอบสนองความต้องการที่แตกต่างกันของอุตสาหกรรมเทคโนโลยีชั้นสูง

ทีมงานด้านเทคนิคที่มีประสบการณ์ของเรา ซึ่งประกอบด้วยผู้เชี่ยวชาญจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ มอบโซลูชันวัสดุที่ครอบคลุมให้กับลูกค้า เราปรับปรุงกระบวนการขั้นสูงของเราอย่างต่อเนื่อง ซึ่งรวมถึงเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะซึ่งช่วยเพิ่มการยึดเกาะระหว่างการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์และพื้นผิวกราไฟต์ ช่วยลดความเสี่ยงในการหลุดออกและยืดอายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์ต่อไป

การประยุกต์ใช้และประโยชน์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

การการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์สำหรับ MOCVDทำให้ตัวรับกราไฟต์เหล่านี้มีประสิทธิภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน ไม่ว่าจะใช้เป็นตัวพาเวเฟอร์กราไฟต์หรือส่วนประกอบ MOCVD อื่นๆ ตัวรับที่เคลือบด้วยซิลิกอนคาร์ไบด์เหล่านี้แสดงให้เห็นถึงความทนทานและประสิทธิภาพที่เหนือกว่า สำหรับผู้ที่มองหาโซลูชันที่เชื่อถือได้ในตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiCถาด แผ่น และฝาครอบกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ของ VET Energy นำเสนอตัวเลือกที่แข็งแกร่งและอเนกประสงค์ที่ตอบสนองความต้องการอันเข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

โดยการเน้นในด้านวิทยาศาสตร์วัสดุขั้นสูง VET Energy มุ่งมั่นที่จะนำเสนอโซลูชันกราไฟต์เคลือบ SiC ประสิทธิภาพสูงที่เป็นแรงผลักดันนวัตกรรมในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์และรับรองประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในทุกแอปพลิเคชันที่เกี่ยวข้องกับ MOCVD

1

2

VET Energy เป็นผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์ที่กำหนดเองโดยมีการเคลือบหลายประเภท เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC การเคลือบคาร์บอนแก้ว การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนที่กำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และโฟโตวอลตาอิคส์ได้

ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยในประเทศชั้นนำ และสามารถมอบโซลูชันวัสดุระดับมืออาชีพให้กับคุณได้

เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อให้ได้วัสดุขั้นสูงมากขึ้น และได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรเฉพาะซึ่งสามารถทำให้การยึดติดระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวแน่นหนาขึ้นและหลุดออกน้อยลง

ยินดีต้อนรับคุณเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันต่อดีกว่า!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 

 

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • สินค้าที่เกี่ยวข้อง

    แชทออนไลน์ผ่าน WhatsApp!