แผ่นรองพื้น/ตัวรองรับกราไฟต์เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

คำอธิบายโดยย่อ:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อมอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ในระยะเวลาอันยาวนาน มีคุณสมบัติทนความร้อนและกระจายความร้อนได้ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน จึงเป็นโซลูชันที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในกระบวนการผลิตเวเฟอร์

 


  • แหล่งกำเนิด:เจ้อเจียง, จีน (แผ่นดินใหญ่)
  • หมายเลขรุ่น:เรือ 3004
  • องค์ประกอบทางเคมี:กราไฟต์เคลือบ SiC
  • ความแข็งแรงดัดงอ:470 เมกะปาสคาล
  • ค่าการนำความร้อน:300 วัตต์/เมตรเคลวิน
  • คุณภาพ:สมบูรณ์แบบ
  • การทำงาน:ซีวีดี-ซิลิกา
  • แอปพลิเคชัน:เซมิคอนดักเตอร์ / โฟโตโวลตาอิก
  • ความหนาแน่น:3.21 กรัม/ซีซี
  • การขยายตัวเนื่องจากความร้อน:4 10-6/K
  • เถ้า: <5ppm
  • ตัวอย่าง:มีจำหน่าย
  • รหัส HS:6903100000
  • รายละเอียดสินค้า

    แท็กสินค้า

    แผ่นรองรับประจุไฟฟ้ากราไฟต์เคลือบ SiC เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เราใช้เทคโนโลยีที่จดสิทธิบัตรของเราในการผลิตแผ่นรองรับประจุไฟฟ้าที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก มีความสม่ำเสมอในการเคลือบที่ดีเยี่ยม และมีอายุการใช้งานยาวนาน รวมถึงมีคุณสมบัติทนต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง

    6

    คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:

    1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1700℃
    2. ความบริสุทธิ์สูงและการกระจายความร้อนสม่ำเสมอ
    3. ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และสารเคมีอินทรีย์

    4. มีความแข็งสูง ผิวเรียบเนียน อนุภาคละเอียด
    5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น

    โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能

    คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

    性质 / คุณสมบัติ

    典型数值 / มูลค่าทั่วไป

    晶体结构 / โครงสร้างผลึก

    เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

    密度 / ความหนาแน่น

    3.21 กรัม/ซม³

    硬度 / ความแข็ง

    2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

    晶粒大小 / ขนาดเมล็ด

    2~10 ไมโครเมตร

    纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี

    99.99995%

    热容 / ความจุความร้อน

    640 จูล·กก.-1·K-1

    升华温度 อุณหภูมิการระเหิด

    2700℃

    抗弯强度 / ความแข็งแรงดัดงอ

    415 MPa RT 4 จุด

    杨氏模量 โมดูลัสของยัง

    430 GPa ดัด 4 จุด 1300℃

    导热系数 / เทอร์มาการนำไฟฟ้า

    300 วัตต์·เมตร-1·K-1

    热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน (CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy เป็นผู้ผลิตตัวจริงของผลิตภัณฑ์กราไฟต์และซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเอง พร้อมการเคลือบผิวที่หลากหลาย เช่น การเคลือบ SiC, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแก้ว, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เป็นต้น และสามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และพลังงานแสงอาทิตย์ได้

    ทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถนำเสนอโซลูชันด้านวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากยิ่งขึ้นให้แก่คุณได้

    เราพัฒนาปรับปรุงกระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุที่ล้ำหน้ายิ่งขึ้น และได้คิดค้นเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวแน่นหนาขึ้นและหลุดลอกยากขึ้น

    ยินดีต้อนรับท่านเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราอย่างอบอุ่น มาพูดคุยกันเพิ่มเติมเถอะ!

    生产设备

     

    公司客户

     

     


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

    แชทออนไลน์ผ่าน WhatsApp!