เรือเวเฟอร์ควอตซ์เป็นเครื่องมือสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ และการวิจัยและพัฒนาวัสดุขั้นสูง ออกแบบมาเพื่อการถ่ายโอนและวางตำแหน่งเวเฟอร์อย่างเสถียรในกระบวนการอุณหภูมิสูง ผลิตภัณฑ์นี้ทำจากซิลิกาหลอมเหลว (SiO2) บริสุทธิ์สูงพิเศษ มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิได้ดีเยี่ยม มีเสถียรภาพทางเคมี และมีการปนเปื้อนของโลหะต่ำมาก เหมาะสำหรับเตาเผาแบบแพร่กระจาย เตาเผาออกซิเดชัน PECVD/LPCVD และอุปกรณ์อื่นๆ ใช้กันอย่างแพร่หลายในการเคลือบเวเฟอร์ การฝังไอออน การอบอ่อนที่อุณหภูมิสูง และกระบวนการหลักอื่นๆ
ข้อดีหลักของเรือควอตซ์ของ VET Energy:
- วัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก
ความบริสุทธิ์ ≥99.99%: ปริมาณสิ่งเจือปน (Na, K, Fe ฯลฯ) <5 ppm เพื่อป้องกันการปนเปื้อนของเวเฟอร์และรับประกันผลผลิตของชิป
ปริมาณการตกตะกอนและการดูดซับต่ำ: พื้นผิวได้รับการขัดเงาอย่างดีเยี่ยม (Ra≤0.4μm) เพื่อลดการเกาะติดของอนุภาคและก๊าซตกค้าง - เสถียรภาพที่อุณหภูมิสูง
ขีดจำกัดอุณหภูมิ: อุณหภูมิใช้งานต่อเนื่องยาวนาน 1100℃, อุณหภูมิสูงสุดระยะสั้น 1300℃ ไม่เกิดการเสียรูป และไม่เกิดการตกผลึก
มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ (5.5x10-7/℃) ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันได้ดีเยี่ยม ปรับตัวได้ดีกับกระบวนการเพิ่มและลดอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว (เช่น การอบอ่อนอย่างรวดเร็วแบบ RTP) - การออกแบบโครงสร้างที่แม่นยำ
ความแม่นยำของร่อง ±0.1 มม.: เหมาะสำหรับเวเฟอร์ขนาด 2 นิ้วถึง 12 นิ้ว ความคลาดเคลื่อนของระยะห่างสม่ำเสมอ <0.05 มม. ทำให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์ไม่มีการเยื้องศูนย์
ความสามารถในการรับน้ำหนักสูง: สามารถบรรจุเวเฟอร์ได้สูงสุด 50 แผ่น (สำหรับเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว) ในถาดเดียว รองรับการถ่ายโอนเวเฟอร์บาง (≥100 ไมโครเมตร) ได้อย่างเสถียร - ความเฉื่อยทางเคมี
ความต้านทานการกัดกร่อน: ทนต่อกรด (ยกเว้น HF) ด่าง และตัวทำละลายอินทรีย์ เข้ากันได้กับกระบวนการทำความสะอาด CMP
ความแน่นหนาของก๊าซดีเยี่ยม: อัตราการรั่วไหล <5x10-10 Pa.m3/s เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมสุญญากาศและก๊าซป้องกัน - อายุการใช้งานยาวนานและบำรุงรักษาง่าย
อายุการใช้งาน ≥ 5000 รอบ (ภายใต้สภาวะการทำงานปกติ) สามารถทำความสะอาดและใช้งานพื้นผิวซ้ำได้ ช่วยลดต้นทุนโดยรวม
การออกแบบแบบแยกส่วน: รองรับการเปลี่ยนชิ้นส่วนบางส่วน (เช่น ฟันเฟืองเรือเพียงซี่เดียว) ช่วยลดเวลาหยุดทำงาน
เรามีบริการทั้งพื้นผิวโปร่งใสและพื้นผิวฝ้าตามความต้องการของลูกค้า:
บริษัท Ningbo VET Energy Technology จำกัด เป็นบริษัทเทคโนโลยีขั้นสูงที่มุ่งเน้นการผลิตและจำหน่ายวัสดุขั้นสูงระดับไฮเอนด์ ซึ่งวัสดุและเทคโนโลยีเหล่านี้ได้แก่ กราไฟต์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ เซรามิกส์ และการปรับสภาพพื้นผิว เช่น การเคลือบ SiC การเคลือบ TaC การเคลือบคาร์บอนแก้ว การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เป็นต้น ผลิตภัณฑ์เหล่านี้ถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในด้านพลังงานแสงอาทิตย์ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โลหะวิทยา และอื่นๆ
ทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำของประเทศ และได้พัฒนาเทคโนโลยีที่จดสิทธิบัตรไว้มากมาย เพื่อรับประกันประสิทธิภาพและคุณภาพของผลิตภัณฑ์ อีกทั้งยังสามารถให้คำปรึกษาด้านวัสดุอย่างมืออาชีพแก่ลูกค้าได้อีกด้วย
