แผ่นรองรับประจุไฟฟ้ากราไฟต์เคลือบ SiC เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เราใช้เทคโนโลยีที่จดสิทธิบัตรของเราในการผลิตแผ่นรองรับประจุไฟฟ้าที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก มีความสม่ำเสมอในการเคลือบที่ดีเยี่ยม และมีอายุการใช้งานยาวนาน รวมถึงมีคุณสมบัติทนต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนสูง
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:
1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1700℃
2. ความบริสุทธิ์สูงและการกระจายความร้อนสม่ำเสมอ
3. ทนทานต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และสารเคมีอินทรีย์
4. มีความแข็งสูง ผิวเรียบเนียน อนุภาคละเอียด
5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น
| โรคหลอดเลือดหัวใจ SiC薄膜基本物理性能 คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ | |
| 性质 / คุณสมบัติ | 典型数值 / มูลค่าทั่วไป |
| 晶体结构 / โครงสร้างผลึก | เฟส FCC β多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / ความหนาแน่น | 3.21 กรัม/ซม³ |
| 硬度 / ความแข็ง | 2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม) |
| 晶粒大小 / ขนาดเมล็ด | 2~10 ไมโครเมตร |
| 纯度 / ความบริสุทธิ์ทางเคมี | 99.99995% |
| 热容 / ความจุความร้อน | 640 จูล·กก.-1·K-1 |
| 升华温度 อุณหภูมิการระเหิด | 2700℃ |
| 抗弯强度 / ความแข็งแรงดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
| 杨氏模量 โมดูลัสของยัง | 430 GPa ดัด 4 จุด 1300℃ |
| 导热系数 / เทอร์มาลการนำไฟฟ้า | 300 วัตต์·เมตร-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy เป็นผู้ผลิตตัวจริงของผลิตภัณฑ์กราไฟต์และซิลิคอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเอง พร้อมการเคลือบผิวที่หลากหลาย เช่น การเคลือบ SiC, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแก้ว, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เป็นต้น และสามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และพลังงานแสงอาทิตย์ได้
ทีมงานด้านเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถนำเสนอโซลูชันด้านวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากยิ่งขึ้นให้แก่คุณได้
เราพัฒนาปรับปรุงกระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุที่ล้ำหน้ายิ่งขึ้น และได้คิดค้นเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวแน่นหนาขึ้นและหลุดลอกยากขึ้น
ยินดีต้อนรับท่านเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเราอย่างอบอุ่น มาพูดคุยกันเพิ่มเติมเถอะ!
