แหวนกราไฟต์เคลือบ TaC

VET Energy มุ่งเน้นการวิจัยและพัฒนาและการผลิตวงแหวนกราไฟต์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ประสิทธิภาพสูงด้วยเทคโนโลยี CVD และมุ่งมั่นที่จะจัดหาโซลูชันวัสดุสิ้นเปลืองหลักสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โซลาร์เซลล์ และอุตสาหกรรมอุณหภูมิสูง เทคโนโลยีการตกตะกอนไอสารเคมี (CVD) ที่เราพัฒนาขึ้นเองนั้น สร้างชั้นเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่หนาแน่นและสม่ำเสมอบนพื้นผิวของวัสดุตั้งต้นกราไฟต์ผ่านกระบวนการที่แม่นยำ ช่วยเพิ่มความทนทานต่ออุณหภูมิสูง (>3000℃) ความทนทานต่อการกัดกร่อน และความทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันของผลิตภัณฑ์อย่างมีนัยสำคัญ ยืดอายุการใช้งานได้มากกว่า 3 เท่า และลดต้นทุนโดยรวมของลูกค้า

ข้อได้เปรียบด้านเทคโนโลยีของเรา:
1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง
ในบรรยากาศอากาศที่อุณหภูมิ 1200℃ อัตราการเพิ่มน้ำหนักจากการออกซิเดชันจะอยู่ที่ ≤0.05 มก./ซม.²/ชม. ซึ่งมากกว่าอายุการใช้งานต้านทานการออกซิเดชันของกราไฟต์ทั่วไปถึง 3 เท่า และเหมาะสมสำหรับสภาวะวงจรการทำความร้อน-ทำความเย็นความถี่สูง
2. ความต้านทานต่อการกัดกร่อนของซิลิคอนหลอมเหลว/โลหะ
สารเคลือบ TaC มีคุณสมบัติเฉื่อยต่อโลหะสูงมาก เช่น ซิลิคอนเหลว (1600℃) อะลูมิเนียม/ทองแดงหลอมเหลว เป็นต้น ซึ่งช่วยป้องกันความเสียหายทางโครงสร้างของวงแหวนนำทางแบบดั้งเดิมเนื่องจากการแทรกซึมของโลหะ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับเซมิคอนดักเตอร์กำลังและกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม
3. การปนเปื้อนของอนุภาคในระดับต่ำมาก
กระบวนการ CVD ช่วยให้ได้ความหนาแน่นของสารเคลือบมากกว่า 99.5% และความหยาบผิว Ra≤0.2μm ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการหลุดร่วงของอนุภาคจากแหล่งกำเนิด และตรงตามข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดของการผลิตเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว
4. การควบคุมขนาดที่แม่นยำ
ด้วยการใช้เครื่องจักร CNC ที่มีความแม่นยำสูง ความคลาดเคลื่อนของขนาดพื้นผิวแกรไฟต์อยู่ที่ ±0.01 มม. และการเสียรูปโดยรวมหลังการเคลือบมีค่าน้อยกว่า ±5 ไมโครเมตร ซึ่งเหมาะสมสำหรับการติดตั้งในห้องอุปกรณ์ที่มีความแม่นยำสูง