Trong ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện tử,Chất mang SiC (Silicon Carbide)Đóng vai trò quan trọng trong quá trình xử lý các tấm wafer siêu mỏng. Tấm wafer được đặt trên giá đỡ SiC xốp và được cố định chắc chắn bằng lực hút chân không, cho phép tích hợp liền mạch vào các bước quan trọng như:
● Tẩy lông bằng sáp: Phủ một lớp bảo vệ.
● Làm mỏng: Giảm độ dày của tấm wafer.
● Tẩy sáp: Loại bỏ lớp bảo vệ.
● Vệ sinh: Đảm bảo bề mặt sạch sẽ như mới.
● Cắt (Chia nhỏ): Tách tấm wafer thành các mảnh riêng lẻ.
Các tấm mang SiC giúp đơn giản hóa các bước phức tạp này, góp phần đáng kể vào hiệu quả và chất lượng của dây chuyền sản xuất.
Các tính năng chính mà thiết bị mang SiC của bạn phải có
Khi lựa chọn chất mang SiC, một số đặc điểm nhất định là vô cùng quan trọng để đảm bảo hiệu suất tối ưu và tối đa hóa lợi tức đầu tư. Chúng tôi hiểu rằng các chuyên gia kỹ thuật và quản lý mua hàng ưu tiên những đặc tính cụ thể có tác động trực tiếp đến hiệu quả quy trình và chất lượng sản phẩm.
1. Khả năng dẫn nhiệt vượt trội
Vật liệu mang SiC cao cấp có khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời. Đặc tính này rất quan trọng đối với:
●Rút ngắn thời gian đánh sáp và tẩy sáp: Quá trình truyền nhiệt hiệu quả giúp tăng tốc các quá trình nhiệt này, giảm đáng kể thời gian chu kỳ tổng thể.
●Tăng tốc độ sản xuất: Quá trình xử lý nhanh hơn trực tiếp dẫn đến sản lượng wafer cao hơn.
●Tăng hiệu quả sản xuất: Quản lý nhiệt tối ưu góp phần tạo nên quy trình sản xuất hiệu quả và năng suất hơn.
2. Kích thước lỗ xốp nhỏ và phân bố đồng đều:
Hiệu quả của quá trình hút chân không phụ thuộc rất nhiều vào cấu trúc lỗ xốp của vật liệu mang. Vật liệu mang SiC lý tưởng có các đặc điểm sau:
●Kích thước lỗ nhỏ: Ngăn ngừa hư hại cho các tấm bán dẫn mỏng manh và đảm bảo phân bố chân không đồng đều.
●Lỗ xốp phân bố đều: Đảm bảo sự hấp phụ đồng đều trên mọi vùng cục bộ của toàn bộ tấm wafer, ngăn ngừa hiện tượng cong vênh, biến dạng hoặc dịch chuyển trong quá trình xử lý.
3. Khả năng chống axit và kiềm vượt trội:
Do quá trình xử lý tấm bán dẫn sử dụng nhiều hóa chất, chất mang SiC của bạn phải chịu được môi trường ăn mòn. Khả năng chống axit và kiềm cao đảm bảo:
● Độ bền và tuổi thọ: Giá đỡ duy trì được tính toàn vẹn cấu trúc và hiệu suất hoạt động trong thời gian dài.
●Giảm nguy cơ ô nhiễm: Khả năng chống phân hủy hóa học giúp giảm thiểu khả năng tạp chất ngấm vào tấm bán dẫn.
Tại sao nên chọn VET Energy cho các tấm mang SiC của bạn?
Tại VET Energy, chúng tôi cam kết cung cấp các tấm mang SiC không chỉ đáp ứng mà còn vượt qua những yêu cầu khắt khe của ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện tử. Sự tập trung vào chất lượng, khả năng tùy chỉnh và giao hàng đáng tin cậy là điều tạo nên sự khác biệt của chúng tôi.
●Nhiều kích thước và thông số kỹ thuật khác nhauCác khay chứa SiC của chúng tôi có thể được tùy chỉnh để hoàn toàn phù hợp với kích thước wafer và yêu cầu thiết bị cụ thể của bạn.
●Bề mặt hoàn thiện nhẵn mịnĐược đánh bóng tỉ mỉ để tránh trầy xước hoặc hư hại cho các miếng wafer mỏng manh, bảo vệ sản phẩm quý giá của bạn.
●Giao hàng nhanhChúng tôi tự hào về quy trình sản xuất và hậu cần hiệu quả, đảm bảo đơn hàng của bạn được giao nhanh chóng để duy trì hoạt động kinh doanh suôn sẻ.
| Bệnh tim mạch SiC Các tính chất vật lý cơ bản của SiC CVDlớp phủ | |
| Tài sản | Giá trị điển hình |
| Cấu trúc tinh thể | Đa tinh thể pha β FCC, chủ yếu định hướng (111). |
| Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
| Độ cứng | Độ cứng Vickers 2500 (với tải trọng 500g) |
| Kích thước hạt | 2~10μm |
| Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| Dung lượng nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
| Nhiệt độ thăng hoa | 2700℃ |
| Sức mạnh uốn cong | 415 MPa RT 4 điểm |
| Mô đun Young | Uốn cong 4 điểm, 430 GPa, 1300℃ |
| Độ dẫn nhiệt | 300W·m-1·K-1 |
| Hệ số giãn nở nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất các vật liệu cao cấp tiên tiến như than chì, cacbua silic, thạch anh, cũng như các công đoạn xử lý vật liệu như phủ SiC, phủ TaC, phủ cacbon thủy tinh, phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Sở hữu nhà máy và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;
Chúng tôi hoan nghênh quý khách đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!
-
PEMFC được sử dụng làm cụm pin nhiên liệu hydro cho...
-
Bộ pin nhiên liệu hydro PEMFC 60W-12V cho phòng thí nghiệm...
-
Bộ pin nhiên liệu hydro lưỡng cực bằng kim loại di động...
-
Máy phát điện xe đạp điện 1000W sử dụng nhiên liệu hydro...
-
Vòng graphite độ tinh khiết cao dùng cho graphite đơn tinh thể...
-
Mâm cặp chân không gốm xốp tiên tiến



